āļāļīāļĨāļīāļāļāļ
Linas JuozÄnasāđāļāđāļāļāļąāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļ: āļāļēāļāļļāļŠāļĩāđāļŦāļāđāļēāļāļĩāđāļāļĒāļđāđāđāļāļ·āđāļāļāļŦāļĨāļąāļāļŦāļīāļ āđāļāđāļ§ āđāļŠāļ āđāļĨāļ°āļāļĢāļĢāļāļ°
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļ·āđāļāļĄāđāļĒāļāļŠāļāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāđāļāļĒāļāļĢāļēāļāļāđāļāđāļĢāļ·āđāļāļāļ§āļąāļŠāļāļļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļ āđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļĨāļ āļĄāļąāļāļāļĒāļđāđāđāļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļāļāļāļīāđāļāļāđāļāđāļāļĻāļđāļāļĒāđāļāļĨāļēāļ āđāļāđāļ āđāļāļĢāļĄāđāļ§āļīāļĢāđāļ āđāļāđ āđāļāđāļ āđāļĨāļ°āļŠāļĩāđāļŦāļāđāļēāđāļĒāļāļāļĩāđāļŠāļĢāđāļēāļāļāļ§āļāļāļāđ āđāļāļĨāļāđāļŠāļāļēāļĢāđ āļāļīāļāđāļŦāļāļĩāļĒāļ§ āđāļĄāļāļē āđāļāļĢāļāļāļāļĩāļ āđāļāļĄāļāļīāđāļāļĨ āđāļĨāļ°āđāļĢāđāļāļēāļāļļāļāļ·āđāļāđ āļāļĩāļāļĄāļēāļāļĄāļēāļĒ āđāļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļēāļāļļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ āļāļ°āļāļāļĄāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļāļāļĩāđāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāļŠāļēāļĢāļāļķāđāļāļāļąāļ§āļāļģāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāļāļĒāđāļēāļāđāļĄāđāļāļĒāļģ āļāļķāđāļāļāļ§āļēāļĄāļāļģāđāļāļāđāļēāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāđāļāđāļāđāļ§āļĒāļāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāļĢāļāļ āļāļāļŠāļāļāļĢāļąāļŠ āđāļĨāļ°āļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļāđāļāļĩāļĒāļāđāļĨāđāļāļāđāļāļĒ āļāļļāļāļāđāļēāļāļāļāļĄāļąāļāđāļĄāđāđāļāđāļāļĒāļđāđāļāļĩāđāļāļ§āļēāļĄāļāļļāļāļĄāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāđāļāļāđāļĨāļŦāļ°āļŦāļĢāļ·āļāļŠāļĩāļāļāļāļāļąāļāļĄāļāļĩ āđāļāđāļāļĩāđāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļ: āļāļąāļāļāļ°āđāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđāļŠāļĩāđāļāļąāļāļāļ° āļāļāļāđāļāļāđāļāļĩāđāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢ āļāđāļāļāļ§āđāļēāļāļāļĨāļąāļāļāļēāļāļāļĩāđāļāļĢāļąāļāđāļāđ āđāļĨāļ°āļĢāļ°āļāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļĩāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļ§āļēāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļąāļāļāļąāļāļĨāđāļēāļāļāļīāđāļāļāļāļāļīāļ§āļāļĨāļķāļāļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļē
āļāđāļāđāļāđāļāļāļĢāļīāļāļāđāļ§āļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļēāļāļļāđāļāđāļāļŠāļēāļĢāļāļķāđāļāļāļąāļ§āļāļģāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļąāļāļāļ°āđāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđ āđāļĄāđāđāļāđāđāļĨāļŦāļ°āđāļāļāļāļąāđāļāđāļāļīāļĄ āļāļīāļ§āļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļēāļāļāļāļĄāļąāļāļāļēāļāļāļđāđāļŦāļĄāļ·āļāļāđāļĨāļŦāļ° āđāļāđāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāđāļāļāđāļē āļāļēāļĢāđāļāļāļŦāļąāļāđāļāļāđāļāļĢāļēāļ° āļāļēāļĢāļāļđāļāļāļĨāļ·āļāđāļŠāļ āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĨāļķāļāļŠāļĩāđāļŦāļāđāļē āļāļģāđāļŦāđāļĄāļąāļāļāļĒāļđāđāđāļāļŦāļĄāļ§āļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĩāđāđāļāļāļāđāļēāļ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāđāļāļīāļāļāļķāđāļāļāļēāļĄāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāđāļāļāļāļąāđāļāļŦāļĄāļāļāļ°āļāļđāļāļāļđāļāļāļąāļāļāļēāļāđāļāļĄāļĩāļāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāđāļĨāļ°āļāļēāļāļļāļāļ·āđāļāđ āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļēāļāļļāļāļāļēāļāđāļŦāļāđāļāļĩāđāđāļāđāđāļāđāļāļĢāļ§āļāļĢāļ§āļĄāļĄāļąāļāļāļ°āļāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļĨāļąāđāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļĨāļđāļāđāļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢ
| āļāļģāļĻāļąāļāļāđ | āļāļ§āļēāļĄāļŦāļĄāļēāļĒ | āļāļ§āļēāļĄāđāļāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāļŠāļģāļāļąāļ |
|---|---|---|
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļ | āļāļēāļāļļāđāļāļĄāļĩ Si āđāļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļēāļāļļ āļāļŠāļĄ āļāļĨāļķāļ āļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāļĨāđāļ āļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđāļĄāļĩāļāļĨāļķāļ | āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļđāļāļāļēāļāļļāđāļĄāđāđāļāđāļāļ§āļāļāļāđāđāļĨāļ°āđāļĄāđāđāļāđāđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđāļāļīāļĨāļīāđāļāļāļāļĩāđāļĒāļ·āļāļŦāļĒāļļāđāļāđāļāđ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļē | āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļāļāđāļāļāđ SiOâ āļāļĩāđāļāļāđāļāļĢāļđāļāļāļ§āļāļāļāđ āļāļĢāļīāđāļāđāļĄāļāđ āļāļĢāļīāļŠāđāļāļāļēāļĨāđāļĨāļāđ āđāļāđāļāļāđ āļŠāļāļīāļāđāļāđāļ§āļāđ āđāļāļāļāļĨ āđāļāđāļ§ āđāļĨāļ°āļĢāļđāļāđāļāļāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļ | āļāļīāļĨāļīāļāļēāļĄāļĩāļāļāļāļāļīāđāļāļāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāđāļāļāļāđāļēāļāļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļđāļāļāļēāļāļļāļāļĒāđāļēāļāļĄāļēāļ |
| āļāļīāļĨāļīāđāļāļ | āļāļĨāļļāđāļĄāđāļĢāđāđāļĨāļ°āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļāļēāļāđāļŦāļāđāļāļĩāđāļŠāļĢāđāļēāļāļāļēāļāđāļāļāļĢāļ°āļŪāļĩāļāļĢāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļ-āļāļāļāļāļīāđāļāļāļāļĩāđāđāļāļ·āđāļāļĄāđāļĒāļāļāļąāļāđāļĨāļŦāļ°āđāļĨāļ°āđāļāļāļāļāļāļ§āļāļāļ·āđāļāđ | āđāļāļĨāļāđāļŠāļāļēāļĢāđ āđāļĄāļāļē āļāļīāļāđāļŦāļāļĩāļĒāļ§ āđāļāļĢāļāļāļāļĩāļ āđāļāļĄāļāļīāđāļāļĨ āđāļāļĨāļīāļ§āļĩāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāđāļāļāđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāđāļāļ āđāļĄāđāđāļāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļđāļāļāļēāļāļļ |
| āļāļīāļĨāļīāđāļāļ | āļāļĨāļļāđāļĄāļ§āļąāļŠāļāļļāđāļāļĨāļīāļāļīāļĨāļāļāđāļāļāļŠāļąāļāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĨāļ°āļāļāļāļāļīāđāļāļāļŠāļĨāļąāļāļāļąāļāđāļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđ | āļāļīāļĨāļīāđāļāļāļāļēāļāļĄāļĩāļĨāļąāļāļĐāļāļ°āļĒāļēāļ āđāļŦāļĨāļ§ āđāļĢāļāļīāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļ§ āđāļāđāđāļĄāđāđāļāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļđāļāļāļēāļāļļ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđ | SiC āđāļāļĢāļēāļĄāļīāļāļāļąāļāļāļ°āđāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđāđāļāđāļāļāļĩāđāđāļāļīāļāļāļķāđāļāļāļēāļĄāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāđāļāļĢāļđāļāđāļĄāļāļīāļŠāļāļēāđāļāļāđāļāļĩāđāļŦāļēāļĒāļēāļāđāļĨāļ°āļāļĨāļīāļāđāļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļēāļāđāļāļāļāļīāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļāļīāļ | āļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļ āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļ āđāļĨāļ°āļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļāļēāļāđāļŠāļāđāļāļāļāđāļēāļāļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļđāļāļāļēāļāļļ |
| āđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ | āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļ āđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāđāļāđāļāđāļ āļāđāļāļ āļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āđāļāđāļāđāļ§āļĨāđāļāļāļīāļ | āļāļ·āđāļāļāļĩāđāļŦāļĄāļēāļĒāļāļķāļāđāļĄāļĨāđāļāļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāļĨāđāļ āđāļĄāđāđāļāđāđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§ | āļāļĨāļķāļāļāđāļāđāļāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĻāļāļēāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļāļāļąāđāļ§āļāļĢāļīāļĄāļēāļāļĢāļāļĩāđāđāļāđāļāļēāļāđāļāđ | āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļ§āļāļāļĢāļĢāļ§āļĄāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāđāļĢāļīāđāļĄāļāđāļāļāļēāļāđāļāđāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāļĩāđāļāļĨāļđāļāļāļĒāđāļēāļāļĢāļ°āļĄāļąāļāļĢāļ°āļ§āļąāļ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāđāļāļ | āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāđāļĄāđāđāļāđāļāļāļĨāļķāļāļāļķāđāļāļāļđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāđāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļ āļĄāļąāļāđāļāļīāļĄāđāļŪāđāļāļĢāđāļāļāđāļāļ·āđāļāļĨāļāļāđāļāļāļāļāļĢāđāļāļāļāļēāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ | āļāļēāļāļāļēāļĢāļāļąāļāđāļĢāļĩāļĒāļāļāļĨāļķāļāđāļāļāđāļāļāļĢ-āļĨāļđāļāļāļēāļĻāļāđāđāļāļĢāļ°āļĒāļ°āļĒāļēāļ§āđāļŦāļĄāļ·āļāļāļāļĨāļķāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ |
āļāļąāļāļĨāļąāļāļĐāļāđ āļāļēāļĢāļāļąāđāļāļāļ·āđāļ āđāļĨāļ°āļāļāļāđāļāļāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāļāļēāļāļļāļāļąāļāđāļĢāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļāļāļēāļāļļ āđāļĄāđāđāļāđāļāļ·āđāļāļāļąāđāļ§āđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļŠāļēāļĢāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļļāļāļāļāļīāļ āļāļ§āļēāļĄāđāļāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāļŠāļģāļāļąāļāđāļāļĢāļēāļ°āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļđāļāļāļēāļāļļāļāļ°āļĄāļĩāļŠāļĩāđāļāđāļĄ āļāļķāļ āđāļāļĢāļēāļ° āđāļāđāļāļŠāļēāļĢāļāļķāđāļāļāļąāļ§āļāļģ āđāļĨāļ°āļĄāļĩāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĨāļķāļāđāļāļāđāļāļāļĢ-āļĨāļđāļāļāļēāļĻāļāđ āļāļāļ°āļāļĩāđāļāļ§āļāļāļāđāđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļāļāđāļāļāđāļāļĩāđāđāļāļĢāđāļāđāļŠāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĢāđāļāđāļŠāļ āđāļĨāļ°āļāļīāļĨāļīāđāļāļāđāļāđāļāđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđāļŠāļąāļāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđ
āļāļ·āđāļāļĄāļēāļāļēāļāļāļģāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļāļāļąāļāļŦāļīāļāđāļāđāļĨāļ°āļŦāļīāļāđāļāđāļ āļāļąāļāđāļāļĄāļĩāļĒāļļāļāđāļĢāļāļāļĢāļ°āļŦāļāļąāļāļ§āđāļēāļāļīāļĨāļīāļāļēāļāđāļēāļāļ°āļĄāļĩāļāļēāļāļļāļāļĩāđāđāļĄāđāļĢāļđāđāļāļąāļāļāļēāļāļāđāļāļāļāļĩāđāļāļ°āļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļĒāļāļĄāļąāļāļāļāļāļĄāļēāđāļāđ āļĢāļđāļāđāļāļāļ āļēāļĐāļēāļāļąāļāļāļĪāļĐāļŠāļĄāļąāļĒāđāļŦāļĄāđ silicon āļāļđāļāļāļģāļĄāļēāđāļāđāļāđāļāļāļāļĩāđāļāļ°āļĄāļĩāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāđāļāļĩāļĒāļāļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļĻāļķāļāļĐāļēāļāļēāļāļāļēāļĒāļ āļēāļāļāļĒāđāļēāļāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāđāļāļĒāļāļđāļāļĢāļēāļĒāļāļēāļāļāļēāļāļāļļāļāļāļēāļāļēāļāļŦāļēāļĒāļēāļāđāļĨāļ°āļŠāļ āļēāļāđāļ§āļāļĨāđāļāļĄāļāļāđāļĨāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāļĨāļāļāļĒāđāļēāļāļĄāļēāļ āđāļāđāļāļēāļĢāđāļāļīāļāļāļķāđāļāđāļāđāļāļāļĩāđāļĄāļąāļāđāļāđāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļļāļĨāļ āļēāļāđāļĨāļ°āļāđāļāļāļāļēāļĢāļāļēāļĢāļĒāļ·āļāļĒāļąāļāļāļēāļāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđ āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļāļēāļāļĄāļ·āļāļāļĩāđāļāļīāļāļāđāļēāļĒāļ§āđāļē âāļāļīāļĨāļīāļāļāļâ āļĄāļąāļāđāļāđāļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ: āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĨāļŦāļ°āļ§āļīāļāļĒāļē āđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āļāļĨāļķāļāļāļĩāđāđāļāļīāļāđāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļŦāļĨāļāļĄ āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ āļŦāļĢāļ·āļāļāļīāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāđāļĨāđāļ§
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ
āļāļĨāļķāļāđāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđāļāļĩāđāļāļĢāļ°āļāļāļāļāđāļ§āļĒāļāļ°āļāļāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļēāļāļąāđāļ āļĒāļāđāļ§āđāļāļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļ āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļ āļāļąāđāļāļāļāļāđāļāļāđāļāļīāļ§ āđāļĨāļ°āļāļąāđāļāļāđāļēāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢ
āļāļīāļĨāļīāļāļē
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļāļāđāļāļāđāđāļāļĢāļđāļāļāļĨāļķāļ āđāļāđāļ§ āđāļāļāļēāđāļĨāļāđ āļŦāļĢāļ·āļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļāļŠāļđāļ āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāļāļāļāļĄāļąāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāđāļŠāļāđāļĨāļ°āđāļāļĄāļĩāļāļĩāđāđāļāļāļāđāļēāļāļāļĒāđāļēāļāļŠāļīāđāļāđāļāļīāļ
āđāļĢāđāļāļīāļĨāļīāđāļāļ
āđāļĢāđāļāļĩāđāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļāļĢāļ°āļŪāļĩāļāļĢāļąāļĨāļāļīāļĨāļīāļāļāļâāļāļāļāļāļīāđāļāļāļĢāļ§āļĄāļāļąāļāļāļ°āļĨāļđāļĄāļīāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļĄāļāļāļĩāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļŦāļĨāđāļ āđāļāļĨāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļāđāļāļŠāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļĨāļ°āļāļēāļāļļāļāļ·āđāļāđ
āđāļĨāļŦāļ°āļāļŠāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļ
āđāļāļāļĢāđāđāļĢāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĨāļ°āđāļĨāļŦāļ°āļāļŠāļĄāļāļĨāļđāļĄāļīāđāļāļĩāļĒāļĄâāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļĢāļīāļĄāļēāļāļĄāļēāļāđāļāđāļĄāļĩāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāđāļāđāļāļ§āļąāļŠāļāļļāđāļĨāļŦāļ°āļŦāļĨāļēāļĒāđāļāļŠāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļŠāļēāļĢāļāļķāđāļāļāļąāļ§āļāļģāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ
āļāļīāļĨāļīāđāļāļ
āđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđāļāļĩāđāļāļĨāļīāļāļāļķāđāļāļāļķāđāļāļāļ§āļēāļĄāļĒāļ·āļāļŦāļĒāļļāđāļ āļāļēāļĢāļāļīāļāļāļāļķāļ āļāļ§āļēāļĄāļāļāļāļąāļ§āļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ āđāļĨāļ°āļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āđāļāļīāļāļāļēāļāđāļāļĢāļāļāļĢāļ°āļāļđāļ SiâO āļāļĩāđāļĄāļĩāļŦāļĄāļđāđāļāđāļēāļāļāđāļēāļāļāļīāļāļāļĢāļĩāļĒāđ
āļāļģāļĻāļąāļāļāđāļāļāļāļāļđāđāļĢāļ§āļāļĢāļ§āļĄ
āļāļģāļāļāļīāļāļēāļĒāļāļ§āļĢāļĢāļ°āļāļļāļ§āđāļēāļŠāļēāļĢāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļāđāļāđāļāļĢāļāđāļĨāļŦāļ°āļ§āļīāļāļĒāļē āđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§ āļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļĨāļķāļ āļ§āļąāļŠāļāļļāđāļāđāļāđāļāļĨāļ·āļāļ āļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāđāļēāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāđāļĨāđāļ§āļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ
āļŠāļāļēāļāļąāļāļĒāļāļĢāļĢāļĄāļāļ°āļāļāļĄ: āļāļģāđāļĄāļŠāļĩāđāļāļąāļāļāļ°āļāļķāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļļāļāļāļĒāđāļēāļ
āļāļĩāđāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļāļāļāļāļī āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāļāļ°āļĄāļĩāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļāđāļāļāļĢāļĨāļđāļāļāļēāļĻāļāđ āļāļ°āļāļāļĄāđāļāđāļĨāļ°āļāļ°āļāļāļĄāđāļāļ·āđāļāļĄāļāđāļāļāļąāļāđāļāļ·āđāļāļāļāđāļēāļāļŠāļĩāđāļāļ°āļāļāļĄāļāļĩāđāļāļĒāļđāđāđāļāļĄāļļāļĄāļāļāļāđāļāļāļĢāļ°āļŪāļĩāļāļĢāļąāļĨ āđāļāļĢāļ·āļāļāđāļēāļĒāđāļāļāđāļāļīāļāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāļīāļĻāļāļēāļāļāļĩāđāļāļāļīāļāļēāļĒāļāļ§āļēāļĄāđāļāļĢāļēāļ°āļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āļāļēāļĢāđāļĒāļāļāļąāļ§ āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļāļāļāļāļŠāļēāļĢāļāļķāđāļāļāļąāļ§āļāļģ āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļāđāļēāļāļāđāļģ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļĒāļēāļĒāļāļąāļ§āļāļĩāđāļāļīāļāļāļāļāļīāđāļĄāļ·āđāļāđāļāđāļāļāļąāļ§
āļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļŠāļēāļāđāļāļāđāļāļāļĢāļ°āļŪāļĩāļāļĢāļąāļĨ
āļāļ°āļāļāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļĨāļ°āļāļ°āļāļāļĄāļŠāļĢāđāļēāļāļāļąāļāļāļ°āđāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđāļāļĩāđāđāļāđāļāđāļĢāļāļŠāļĩāđāļāļąāļāļāļ°āđāļāļĒāļĄāļĩāļĄāļļāļĄāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄāđāļāļĨāđāđāļāļĩāļĒāļ 109.5° āļĢāļđāļāļāļĢāļāđāļĢāļāļēāļāļāļīāļāļāļĩāđāļāđāļģāđāļāļāļĨāļķāļāđāļāļŠāļēāļĄāļĄāļīāļāļī
āđāļāļĢāļāļāļēāļāđāļēāļĒāđāļāļāļĢāļĨāļđāļāļāļēāļĻāļāđ
āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļāļīāļāļēāļĒāđāļāđāļ§āđāļēāđāļāđāļāļŠāļāļāđāļāļĢāļāļāļēāļāđāļēāļĒāļĨāļđāļāļāļēāļĻāļāđāļŦāļāđāļēāļāļĨāļēāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļāļąāļāļāļąāļāđāļĨāļ°āđāļĨāļ·āđāļāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāļŠāļąāļĄāļāļąāļāļāđāļāļąāļ
āļāļēāļĢāđāļāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŦāļąāļ
āļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļĒāļāļāļēāļĄāļĢāļ°āļāļēāļ {111} āđāļĻāļĐāļāļīāđāļāļŠāđāļ§āļāļĒāļąāļāđāļŠāļāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āđāļāđāļāđāļāļāļāļāļāļāļāļĒāļāļąāļĨ āđāļāļĒāđāļāļāļēāļ°āđāļāļāļĢāļīāđāļ§āļāļāļĩāđāļĢāļāļĒāđāļāļāđāļĄāđāđāļāđāļāđāļāļāļēāļĄāļĢāļ°āļāļēāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļ
āļāļēāļĢāļāļĒāļēāļĒāļāļąāļ§āđāļĄāļ·āđāļāđāļāđāļāļāļąāļ§
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļŦāļĨāļ§āļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļāļāđāļāđāļāļāļĩāđāļĄāļĩāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļāļĢāļ°āļŪāļĩāļāļĢāļąāļĨāđāļāļāđāļāļīāļ āļāļąāļāļāļąāđāļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļķāļāļāļĒāļēāļĒāļāļąāļ§āđāļĄāļ·āđāļāđāļāđāļāļāļąāļ§âāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļĩāđāļāļīāļāļāļāļāļīāļāļĩāđāļāļāđāļāđāđāļāļāđāļģāđāļĨāļ°āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļāļīāļ
āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļāļŠāļđāļ
āļ āļēāļĒāđāļāđāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļāļŠāļđāļ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāđāļāđāļāļŠāļāļĩāđāļŦāļāļēāđāļāđāļāļāļķāđāļāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļĨāļąāļāļĐāļāļ°āđāļāđāļāđāļĨāļŦāļ° āđāļŠāļāļāđāļŦāđāđāļŦāđāļāļ§āđāļēāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāđāļāļāđāļēāļāļķāđāļāļāļĒāļđāđāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļąāļāđāļĢāļĩāļĒāļāļāļ°āļāļāļĄāļĢāļ§āļĄāļāļķāļāļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāđāļ§āļĒ
āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāđāļāđāļāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāđāļāļāđāļāđāļāļāđāļ§āļĒ ÂēâļSi āļĄāļĩāļāļĢāļīāļĄāļēāļāļāđāļāļĒāļāļ§āđāļē ÂēâđSi āđāļĨāļ° Âģâ°Si āļāļēāļĢāļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāđāļāđāļāđāļāļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāđāļāđāļĄāđāļāđāļĨāļĒāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļ§āļāļāļāļąāļĄāļāļēāļāļāļĢāļ°āđāļ āļ
āļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§
āļāļīāļĻāļāļēāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāđāļāđāļāļ·āđāļāļāļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļēāļĢāļāļāļŠāđāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļāđāđāļāđ āļāļēāļĢāđāļĒāļāļāļąāļ§āļāļ§āļāļāļļāļĄ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĩāđāļāļģāļāđāļģāđāļāđ
āđāļāļĨāļĩāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāđāļĨāļāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļ
āđāļĄāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĻāļāļēāļāļāđāļēāļāļāļąāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāļĨāđāļāļĄāļēāļāļĢāļĢāļāļāļāļąāļāļāļĩāđāļāļāļāļāļķāđāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļąāļāļāļąāļāļāļĢāļ°āļāļļ āļāļĢāļ°āļāļēāļĒāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ° āļĢāļ§āļĄāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāđāļāļāļŦāļąāļāđāļāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāđāļāļ
āđāļĄāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāļāļąāļāđāļĢāļĩāļĒāļāļĢāļ°āļĒāļ°āļĒāļēāļ§ āļāđāļāļāđāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāļāļģāļāļ§āļāļĄāļēāļāļĄāļąāļāļāļđāļāļāđāļāļāļāļąāļāļāđāļ§āļĒāđāļŪāđāļāļĢāđāļāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļļāļāđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļēāđāļ
āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļĢāđāļāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāļŠāļĢāđāļēāļāļĢāļđāļāļĢāļļāļ āļŠāļēāļĒ āđāļāļĨāđ āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļāļāļāļīāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāđāļāļāļāđāļēāļāļāļēāļāļāļĨāļķāļāļāļāļēāļāđāļŦāļāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļĨāļ: āļŠāļĩāđāļŦāļāđāļē āļāļēāļĢāļāļļāļāļĢāđāļāļ āļāļ°āļāļāļ āđāļĨāļ°āļāļĩāļ§āļīāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļāļāļēāļāļļāļĨāļģāļāļąāļāļāļĩāđāļŠāļāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļĄāļēāļāļāļĩāđāļŠāļļāļāđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļĨāļāļāļēāļĄāļĄāļ§āļĨ āđāļāđāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāļāļ°āļāļąāļāļāļąāļ§āļāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļ āļŦāļāđāļ§āļĒāļŠāļĩāđāļŦāļāđāļē SiOâ āđāļāđāļāļŦāļāļķāđāļāđāļāļŦāļāđāļ§āļĒāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĩāđāļŠāļģāļāļąāļāļāļĩāđāļŠāļļāļāđāļāđāļĢāđāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ āđāļāļ·āđāļāļĄāļāđāļāļāļąāļāļŦāļĨāļēāļĒāļ§āļīāļāļĩāđāļāļ·āđāļāļŠāļĢāđāļēāļāļŦāļīāļāļāļēāļāđāļĄāļāđāļāļīāļĨāļāļķāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļ§āļĩāļ
| āļāļēāļĢāļāļąāļāđāļĢāļĩāļĒāļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļ | āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāđāļāļ·āđāļāļĄāļāđāļāļŠāļĩāđāļŦāļāđāļē | āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļąāļ§āđāļāļ |
|---|---|---|
| āļŠāļĩāđāļŦāļāđāļēāđāļĒāļ | āđāļāđāļĨāļ°āļŦāļāđāļ§āļĒ SiOâ āđāļĒāļāļāļēāļāļāļąāļāđāļĨāļ°āđāļāļ·āđāļāļĄāļāđāļāļāđāļēāļāđāļāļāđāļāļāļāļāļāļ·āđāļ | āđāļāļĨāļīāļ§āļĩāļ āļāļēāļĢāđāđāļāļ āđāļāļāļĢāđāđāļāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļĨāļ°āđāļĢāđāļŦāļĨāļēāļĒāļāļāļīāļāđāļāđāļĄāļāđāļāļīāļĨāļŦāļĢāļ·āļāđāļĢāđāđāļāļĢāļŠāļ āļēāļ |
| āļāļĨāļļāđāļĄāļāļđāđāđāļĨāļ°āļ§āļ | āļŠāļĩāđāļŦāļāđāļēāļĢāđāļ§āļĄāļāļąāļāļāļ°āļāļāļĄāļāļāļāļāļīāđāļāļāļāļĩāđāđāļĨāļ·āļāļāđāļāļ·āđāļāļŠāļĢāđāļēāļāļŦāļāđāļ§āļĒāļāļđāđāļŦāļĢāļ·āļāļ§āļāļāļīāļ | āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĨāļļāđāļĄāđāļāļāļīāđāļāļāđ āđāļāļĢāļīāļĨ āļāļąāļ§āļĢāđāļĄāļēāļĨāļĩāļ āđāļĨāļ°āđāļĢāđāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļ |
| āļŠāļēāļĒāđāļāļĩāđāļĒāļ§ | āđāļāđāļĨāļ°āļŠāļĩāđāļŦāļāđāļēāļĢāđāļ§āļĄāļāļąāļāļŠāļāļāļāļ°āļāļāļĄāļāļāļāļāļīāđāļāļāļāļēāļĄāļŠāļēāļĒāļĒāļēāļ§ | āđāļāļĢāļāļāļāļĩāļ āđāļāđāļ āļāļāļāđāļāļāđ āđāļāļāļāļāđāļāļāđ āđāļĨāļ°āđāļāļāļŠāđāļāđāļāļāđ |
| āļŠāļēāļĒāļāļđāđ | āļŠāļāļāļŠāļēāļĒāļŠāļĩāđāļŦāļāđāļēāļĢāļ§āļĄāļāļąāļāđāļāđāļāļĢāļīāļāļāļīāđāļāļāļ§āđāļēāļāđāļāđāļāļĢāļ°āļĒāļ° | āđāļāļĄāļāļīāđāļāļĨ āđāļāđāļ āļŪāļāļĢāđāļāđāļāļĨāļāļāđāđāļĨāļ°āđāļāļĢāļĄāđāļāļĨāļĩāļāđ |
| āđāļāđāļ | āđāļāđāļĨāļ°āļŠāļĩāđāļŦāļāđāļēāļĢāđāļ§āļĄāļāļąāļāļŠāļēāļĄāļāļ°āļāļāļĄāļāļāļāļāļīāđāļāļāđāļāļāļąāđāļāļāļ§āđāļēāļ | āđāļĄāļāļē āđāļĢāđāļāļīāļāđāļŦāļāļĩāļĒāļ§ āđāļāļĨāļāđ āđāļāļāļĢāđāđāļāļāđāļāļāđ āđāļĨāļ°āļāļĨāļāđāļĢāļāđ |
| āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĢāļāļ | āļĄāļļāļĄāļŠāļĩāđāļŦāļāđāļēāđāļāđāļĨāļ°āļĄāļļāļĄāļāļąāđāļāļŠāļĩāđāđāļāđāļēāļĢāđāļ§āļĄāđāļāđāļāļĢāļāļāđāļēāļĒāļŠāļēāļĄāļĄāļīāļāļī | āđāļāļĨāļāđāļŠāļāļēāļĢāđ āđāļāļĨāļāđāļŠāļāļēāđāļāļāļīāļāļŠāđ āļāļĩāđāļāđāļĨāļāđ āļāļ§āļāļāļāđ āđāļĨāļ°āđāļāđāļ§āļāļīāļĨāļīāļāļē |
āļŦāļīāļāļāļąāļāļāļĩ
āļāļĢāļīāļĄāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļāļīāđāļĄāļāļąāļ§āļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļēāļāđāļ§āļĒāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļ·āļāļāļāļāđāļĄāļāļĄāļē āļāļĨāļļāđāļĄāđāļĢāđ āļĢāļđāļāđāļāļāļāļēāļĢāļāļ°āļāļļ āđāļĨāļ°āļ§āđāļēāļāļ§āļāļāļāđ āđāļāļĨāļāđāļŠāļāļēāļĢāđ āđāļāļĢāļāļāļāļĩāļ āđāļāļĨāļīāļ§āļĩāļ āļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĨāļāđāļŠāļāļēāđāļāļāļīāļāļŠāđāļāļ°āļāļāļāļĨāļķāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ
āļāļēāļĢāļāļļāļāļĢāđāļāļāđāļĨāļ°āļāļīāļ
āļāļēāļĢāļāļļāļāļĢāđāļāļāļāļāļāļāļīāļĨāļīāđāļāļāļāļĨāđāļāļĒāļāļĢāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļĩāđāļĨāļ°āļĨāļēāļĒāđāļāđāđāļĨāļ°āļāđāļāļāļąāļ§āđāļāđāļāđāļĢāđāļāļīāļāđāļŦāļāļĩāļĒāļ§āđāļāļāļāļ°āļāļĩāđāđāļāđāļāļēāļĢāđāļāļāļāđāļāļāļāļāđāļāļāđāđāļāļāļĢāļĢāļĒāļēāļāļēāļĻāđāļāļāđāļ§āļāđāļ§āļĨāļēāļāļēāļāļāļĢāļāļĩāļ§āļīāļāļĒāļē
āļāļĢāļēāļĒāđāļĨāļ°āļāļ°āļāļāļ
āļāļ§āļāļāļāđāļāļāļāđāļāļāļēāļĢāļāļļāļāļĢāđāļāļāļŦāļĨāļēāļĒāļĢāļāļāđāļĨāļ°āļŠāļ°āļŠāļĄāđāļāļāļĢāļēāļĒ āļŦāļīāļāļāļĢāļēāļĒ āļāļ°āļāļāļāļāļēāļĒāļŦāļēāļ āđāļāļīāļāļāļĢāļēāļĒ āđāļĨāļ°āļĢāļ°āļāļāđāļĄāđāļāđāļģ
āļāļīāļĨāļīāļāļēāļāļĩāļ§āļ āļēāļ
āđāļāļāļ°āļāļāļĄāļŠāđ āđāļĢāđāļāļĩāļĒāļĨāļĨāļēāđāļĢāļĩāļĒāļ āļāļāļāļāđāļģāļŦāļĨāļēāļĒāļāļāļīāļ āđāļĨāļ°āļāļīāđāļāļĨāļīāļāļāļāļāļāļ·āļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļēāļāļĩāđāļĄāļĩāļāđāļģāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāļĢāđāļēāļāļāļĩāđāļŠāļāļąāļāļāļēāļāļāđāļģāļŦāļĢāļ·āļāļāļīāļ
āļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāđāļāđāļĨāļāļāļąāđāļāļĨāļķāļ
āđāļāđāļĄāļāđāļāļīāļĨ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĒāļđāđāđāļāļāļīāļĨāļīāđāļāļāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļāļŠāļđāļ āļāļĩāđāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļāļŠāļđāļāļāļķāđāļ āļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļŠāļēāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļŦāļāļēāđāļāđāļāļāļ°āđāļŠāļāļĩāļĒāļĢ
āļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāļāļīāļĨāļīāļāļē
āđāļāļāļāļĨāļāļĩāļ§āļ āļēāļāđāļĨāļ°āđāļāđāļ§āļ āļđāđāļāļēāđāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļąāļ§āđāļāđāļāđāļāļāļāļĨ-CT āđāļāļĨāđāļāđāļāļāļĩ āļŦāļĢāļ·āļāļāļ§āļāļāļāđ āļāļģāđāļŦāđāļĢāļđāļāļĢāļļāļāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļĢāļāļāļāļāļŦāļīāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļ
āļŠāļĄāļāļąāļāļīāļāļēāļāļāļēāļĒāļ āļēāļ āļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ āđāļāļĄāļĩ āđāļĨāļ°āļāļāļāļāļīāļāļŠāđ
āļāđāļēāļĄāļēāļāļĢāļāļēāļāđāļāļāļāđāļēāļāļāļąāļāļāļēāļĄāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļī āļāļēāļĢāļ§āļēāļāđāļāļ§āļāļĨāļķāļ āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļāļāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļ āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāļāļāļāļāļēāļŦāļ° āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļĄāļĨāđāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļģāļāļąāļāļāļīāļ§ āļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āđāļāļĢāļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāļāļķāļāļāļģāļāđāļģāđāļāđāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāđāļāļāđāļĨāļŦāļ°āļāļĩāđāļĄāļĩāđāļŦāļĨāđāļ āļāļĨāļđāļĄāļīāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļāļĨāđāļāļĩāļĒāļĄ āļāļēāļĢāđāļāļāļ āđāļĨāļ°āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļ·āđāļāđ
| āļŠāļĄāļāļąāļāļī | āļāđāļēāļŦāļĢāļ·āļāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļąāđāļ§āđāļ | āļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāđāļāļāļēāļāļāļāļīāļāļąāļāļī |
|---|---|---|
| āļŦāļĄāļēāļĒāđāļĨāļāļāļ°āļāļāļĄ | 14. | āļ§āļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļ§āđāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāļāļĨāļđāļĄāļīāđāļāļĩāļĒāļĄāđāļĨāļ°āļāļāļŠāļāļāļĢāļąāļŠāđāļāļāđāļ§āļāļāļĩāđ 3 āđāļĨāļ°āđāļāļāļĨāļļāđāļĄāļāļēāļĢāđāļāļāļ |
| āļāđāļģāļŦāļāļąāļāļāļ°āļāļāļĄāļĄāļēāļāļĢāļāļēāļ | 28.085. | āļŠāļ°āļāđāļāļāļŠāđāļ§āļāļāļŠāļĄāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļāļāļāđāļāđāļāđāļāļāļāļĩāđāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāļŠāļēāļĄāļāļāļīāļ |
| āļĢāļ°āļāļāļāļĨāļķāļ | āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļĨāļđāļāļāļēāļĻāļāđāđāļāļāđāļāļāļĢ; āļāļĨāļļāđāļĄāļāļ§āļāļēāļĻ Fd3Ė m | āļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļēāļĢāđāļāļ āļāļĨāđāļāđāļĄāđāļŠāļĄāļĄāļēāļāļĢ āđāļāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļ§āļēāļāđāļāļ§āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ |
| āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļ | āļāļĢāļ°āļĄāļēāļ 2.329 āļ./āļāļĄ.Âģ āđāļāļĨāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŦāđāļāļ | āđāļāļēāļāļ§āđāļēāđāļāļĨāļĩāļāļē āđāļŪāļĄāļēāđāļāļāđ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđ āđāļĨāļ°āļ§āļąāļŠāļāļļāđāļĨāļŦāļ°āļāļĩāđāļāļđāļāļĨāđāļēāļĒāļāļąāļāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđ |
| āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļ | āļāļĢāļ°āļĄāļēāļ 6.5â7 āļāļēāļĄāļĄāļēāļāļĢ Mohs | āļāļāļāđāļāđāļŦāļĨāđāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāđāļāđāļĒāļąāļāļāļāđāļāļĢāļēāļ°āļāđāļāļāļ§āļāļāļāđ āļāļāļĢāļąāļāļāļąāļĄ āđāļāļāļĢ āđāļĨāļ°āļāļļāđāļāļāļąāļāđāļāļēāļāļĩāđāđāļāđāļ |
| āļāļēāļĢāđāļāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŦāļąāļ | āđāļāļāļāđāļēāļĒāļāļēāļĄāđāļāļ§ {111}; āđāļāļāđāļāļāđāļāļĨāļ·āļāļāļŦāļāļĒāļāļķāļāđāļĄāđāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļāđāļāļāļĩāđāļāļ·āđāļ | āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļēāļāđāļĨāļ°āđāļĻāļĐāđāļŦāļĨāļĄāļāļĄāļāļēāļāđāļāļāļāļąāļāļāļĩāđāļĄāļ·āđāļāļāļđāļāļāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļāļāļĩāđāļāļāļ |
| āļāļļāļāļŦāļĨāļāļĄāđāļŦāļĨāļ§ | āļāļĢāļ°āļĄāļēāļ 1414 °C | āļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāđāļāļāļŦāļĨāļāļĄāđāļŦāļĨāļ§āđāļāđāļāđāļāđāļāđāđāļāļāļāļ°āļāļĩāđāļāđāļāļāļāļēāļĢāļĢāļ°āļāļāļāļĨāļīāļāļāļĨāļķāļāļāļĩāđāļāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāđāļĨāļ°āļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđ |
| āļāļļāļāđāļāļ·āļāļ | āļāļĢāļ°āļĄāļēāļ 3265 °C | āđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļāļāļąāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļĩāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŠāļđāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļēāļĢāļāļāđāļāļ·āđāļāļāđāļāļĢāļ°āļĒāļ°āđāļ |
| āļāļēāļĢāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ | āļāļĢāļ°āļĄāļēāļ 148 W/m·K āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļāđāļāļĨāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŦāđāļāļ | āļŠāļđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āļāļāļāđāļāđāļāļāļĩāđāļāļĨāđāļēāļĒāđāļāļĢāļēāļĄāļīāļ āđāļĄāđāļ§āđāļēāļāļ°āļāđāļģāļāļ§āđāļēāļāļāļāđāļāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļīāļ |
| āļāļēāļĢāļāļĒāļēāļĒāļāļąāļ§āļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ | āļāđāļģāđāļĨāļ°āļāļģāļāļąāļāļāļīāļĻāļāļēāļāđāļāļĒāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļĨāļđāļāļāļēāļĻāļāđ | āļĄāļĩāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāđāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģ āđāļĄāđāļ§āđāļēāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļāļāļāļāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļĒāļąāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļģāđāļŦāđāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļāļāđāļāđ |
| āļāđāļāļāļ§āđāļēāļāļāļĨāļąāļāļāļēāļ | āđāļāļāļāđāļāļĄ āļāļĢāļ°āļĄāļēāļ 1.12 eV āļāļĩāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŦāđāļāļ | āđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĨāļāļāļĨāļąāļāļāļēāļāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđ āđāļāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āļŠāļīāļāļāļīāļ āļēāļāđāļāļāļēāļĢāļāļĨāđāļāļĒāđāļŠāļāļāđāļāļĒāļāļ§āđāļēāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāļāđāļāļāļ§āđāļēāļāđāļāļĒāļāļĢāļ |
| āļāļāļāļāļīāļāļŠāđāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļŦāđāļāđāļāđ | āļāļđāļāļāļąāļāđāļŠāļāļāļĒāđāļēāļāđāļĢāļāđāļĨāļ°āļāļđāđāļŦāļĄāļ·āļāļāļāļķāļāđāļŠāļāđāļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļĢāļīāļĄāļēāļāļĢāļāļąāđāļ§āđāļ | āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļēāļāļ°āļĄāļĩāļĨāļąāļāļĐāļāļ°āļŠāļĩāđāļāļēāđāļāđāļĄ āļŠāļĩāđāļāļēāļāđāļģāļāļēāļĨ āļŦāļĢāļ·āļāđāļāļ·āļāļāļāļģāđāļāđāļāļąāđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāļāļīāļ§ |
| āļāļāļāļāļīāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļ | āļāļąāļāļāļĩāļŦāļąāļāđāļŦāļŠāļđāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŠāđāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļāđāļēāļāļāļēāļāļŠāđāļ§āļāļāļāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāđāļāļĨāđāđāļĨāļ°āļāļĨāļēāļ | āļĢāļāļāļĢāļąāļāđāļĨāļāļŠāđāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļ, āļŦāļāđāļēāļāđāļēāļ, āđāļāđāļāđāļāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āđāļāđāļāļāļīāļāļŠāđāđāļāļāļāļđāļĢāļāļēāļāļēāļĢ |
| āļāļāļāđāļāļāđāļāļīāļ§āļāļ·āđāļāđāļĄāļ·āļāļ | āļāļīāļĨāđāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļāđāļāļāđāļāļēāļ āđ āđāļāļīāļāļāļķāđāļāđāļāļāđāļāļāļēāļāļēāļĻ; āļāļāļāđāļāļāđāļāļļāļāļ āļēāļāļŠāļđāļāļāļĩāđāļŦāļāļēāļāļ§āđāļēāļāļ°āļāļđāļāļāļĨāļđāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ | āļāđāļ§āļĒāļāļāļāđāļāļāļāļīāļ§āđāļĨāļ°āđāļŦāđāļāļīāļ§āļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļļāļāļāđāļēāļāļēāļāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩ |
| āļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāđāļāļĄāļĩ | āļĄāļąāđāļāļāļāđāļāļāđāļģāđāļĨāļ°āļāļāļāđāļāļāļĢāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļāļīāļāļāļĩāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŦāđāļāļāđāļāļ·āđāļāļāļāļēāļāļāļāļāđāļāļāđāļāļāļāļīāļ§; āļāļđāļāļāļģāļĨāļēāļĒāđāļāļĒāļŠāļēāļĢāļāļąāļāļāļĢāđāļāļāđāļāļāļēāļ°āđāļĨāļ°āļāđāļēāļāđāļāđāļĄāļāđāļ | āļāļēāļĢāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļēāļāđāļāļāđāļēāļāļĄāļąāļāđāļĄāđāļāļģāđāļāđāļāđāļĨāļ°āļāļēāļāļāļģāļĨāļēāļĒāļāļąāđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāļāļģāđāļĨāļŦāļ° |
āļāļīāļŠāļīāļāļŠāđāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđ: āļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°, āļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļ, āļĢāļāļĒāļāđāļ āđāļĨāļ°āļāļīāļ§āļŠāļąāļĄāļāļąāļŠ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļĄāļĩāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āļāļĢāļ°āļāļļāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāđāļāđāļāđāļāļĒāļĄāļēāļāļāļĩāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŦāđāļāļāđāļĄāļ·āđāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļąāļāđāļĨāļŦāļ° āļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļāļāļāļĄāļąāļāđāļĢāļīāđāļĄāļāđāļāđāļĄāļ·āđāļāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļī, āđāļŠāļ, āļŠāļāļēāļĄāđāļāļāđāļē āđāļĨāļ°āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļĩāđāđāļĨāļ·āļāļāļāļĒāđāļēāļāļĢāļ°āļĄāļąāļāļĢāļ°āļ§āļąāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļģāļāļ§āļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāđāļĨāļ°āđāļŪāļĨ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđ
āļāļĨāļąāļāļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāļāļēāļāļāļĢāļąāđāļāļĒāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļāđāļēāļĄāļāđāļāļāļ§āđāļēāļāđāļāļ āļāļģāđāļŦāđāđāļāļīāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāļ§āđāļēāļāļāļĩāđāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāđāļāđāđāļĢāļĩāļĒāļāļ§āđāļēāđāļŪāļĨ āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāđāļĨāļ°āđāļŪāļĨāļĄāļĩāļāļģāļāļ§āļāđāļāđāļēāļāļąāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļīāļ n
āļāļ°āļāļāļĄāļāļđāđāļāļĢāļīāļāļēāļ āđāļāđāļ āļāļāļŠāļāļāļĢāļąāļŠ, āļāļēāļĢāđāđāļāļāļīāļ āļŦāļĢāļ·āļāđāļāļāļāļīāđāļĄāļāļĩ āđāļŦāđāļāļĢāļ°āļāļļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļāļĩāđāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļĨāļķāļāđāļāđāļāđāļēāļĒāļāļ§āđāļēāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āđāļāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļīāļ p
āļāļ°āļāļāļĄāļāļđāđāļĢāļąāļ āđāļāļĒāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāļāļ·āļāđāļāļĢāļāļ āļŠāļĢāđāļēāļāđāļŪāļĨāļāļĩāđāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāđāļāđāļāļķāđāļāļāļģāļŦāļāđāļēāļāļĩāđāđāļāđāļāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āļāļĢāļ°āļāļļāļāļ§āļāļ āļēāļĒāđāļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđ
āļĢāļāļĒāļāđāļ pân
āļāļĩāđāļāļĢāļīāđāļ§āļāļāļĩāđāļāļāļāļąāļāļāļāļāļāļ·āđāļāļāļĩāđāļāļāļīāļ p āđāļĨāļ° n āļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļēāļĒāļāļĢāļ°āļāļļāļŠāļĢāđāļēāļāļŠāļāļēāļĄāđāļāļāđāļēāļ āļēāļĒāđāļ āđāļāđāļāļ, āđāļāđāļāđāļāđāļāļ, āļāļĢāļēāļāļāļīāļŠāđāļāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āđāļāļĨāļĨāđāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđāļāļķāđāļāļāļĒāļđāđāļāļąāļāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļāļāļĢāļāļĒāļāđāļāļāļĩāđ
āļāļīāļ§āļŠāļąāļĄāļāļąāļŠ MOS
āļāļąāđāļāļāļāļāđāļāļāđāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļīāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāđāļĒāļāļāļīāđāļĨāđāļāđāļāļĢāļāđāļāļāļāļāļāļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āļŠāļāļēāļĄāđāļāļāđāļēāļāļ°āļŠāļĢāđāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļģāļĨāļēāļĒāļāđāļāļāļāļēāļāļāļģāđāļāļāđāļēāļāļĩāđāļāļīāļ§āļŠāļąāļĄāļāļąāļŠ
āļāđāļāļāļāļāļĢāđāļāļāđāļĨāļ°āļāļąāļāļāļąāļ
āļāļģāđāļŦāļāđāļāļ§āđāļēāļ, āļāļēāļĢāđāļĨāļ·āđāļāļāļāļģāđāļŦāļāđāļ, āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļ, āļĢāļāļĒāļāđāļāđāļĄāđāļāļāļĨāļķāļ, āļāļąāļāļāļ°āļāļĩāđāđāļĄāđāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđ āđāļĨāļ°āļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāļāļāđāļāļ·āđāļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļąāļāļāļąāļāļāļĢāļ°āļāļļāļŦāļĢāļ·āļāļāļģāđāļŦāđāļāļēāļĒāļļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļāļāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āļŠāļąāđāļāļĨāļ
| āļŠāļāļēāļāļ°āļāļāļāļ§āļąāļŠāļāļļ | āļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āļŦāļĨāļąāļ | āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļ | āļāļāļāļēāļāļāļąāđāļ§āđāļ |
|---|---|---|---|
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđ | āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāđāļĨāļ°āđāļŪāļĨāļāļĩāđāđāļāļīāļāļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāļĄāļĩāļāļģāļāļ§āļāđāļāđāļēāļāļąāļ | āļāļĨāļķāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļāđāļāļĒāđāļĄāđāļĄāļĩāļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āļāļļāđāļāļāđāļēāđāļāļĒāđāļāļāļāļē | āļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāđāļēāļāļāļīāļ, āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĢāļ§āļāļāļąāļ āđāļĨāļ°āļāļļāļāđāļĢāļīāđāļĄāļāđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāļāļāđāļāļāļāļļāļāļāļĢāļāđ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļīāļ n | āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļ | āļāļēāļĢāđāļāļīāļĄāļŠāļēāļĢāļāļĢāļīāļāļēāļāđāļāļĒāđāļāļāļāļē āļĄāļąāļāđāļāđāļāļāļŠāļāļāļĢāļąāļŠ, āļāļēāļĢāđāđāļāļāļīāļ āļŦāļĢāļ·āļāđāļāļāļāļīāđāļĄāļāļĩ | āļāļĢāļīāđāļ§āļāļāļĢāļēāļāļāļīāļŠāđāļāļāļĢāđ, āļāļļāļāļāļīāļāļāđāļ, āđāļāđāļāļ, āđāļāđāļāđāļāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļĨāļĨāđāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļīāļ p | āđāļŪāļĨ | āļāļēāļĢāđāļāļīāļĄāļŠāļēāļĢāļĢāļąāļāđāļāļĒāđāļāļāļāļē āđāļāļĒāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāđāļāđāđāļāļĢāļāļ | āļ§āļąāļŠāļāļļāļĢāļāļāļĢāļąāļ, āļāļĢāļīāđāļ§āļāļāļĢāļēāļāļāļīāļŠāđāļāļāļĢāđ, āļĢāļāļĒāļāđāļ, āđāļāđāļāđāļāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđāđāļāđāļāđāļ§āļĨāļāļēāļāļīāļ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāļāļđāļāļāļāđāļāļĒ | āļāļģāļŦāļāļāđāļāļĒāļŠāļĄāļāļļāļĨāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāļāļ°āļāļāļĄāļāļđāđāļāļĢāļīāļāļēāļāđāļĨāļ°āļāļđāđāļĢāļąāļ | āļĄāļĩāļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļāļāļąāđāļāļŠāļāļāļāļĢāļ°āđāļ āļāļāļĒāļđāđ āļāļąāđāļāđāļāļĒāđāļāļāļāļēāļŦāļĢāļ·āļāļāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļāđāļāļ·āđāļāļ | āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāđāļāļāđāļēāļāļĒāđāļēāļāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāđāļāđāđāļāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāđāļāļāļāļēāļĢ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāđāļāļīāļĄāđāļāļāļāļĒāđāļēāļāļĢāļļāļāđāļĢāļ | āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļŪāļĨāļŠāļđāļāļĄāļēāļ | āļāļēāļĢāļāļąāļ āļāļēāļĢāđāļāļĢāđ āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāļāđāļāļāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāļŦāļāļąāļ | āļāļēāļĢāļāļīāļāļāđāļāđāļĨāļ°āļāļĢāļīāđāļ§āļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāļāđāļģāđāļĨāļ°āļāļģāļāļēāļāļāļēāļāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļĄāļ·āļāļāļāļąāļ§āļāļģāđāļāļāđāļē |
āļāļēāļāļāļ§āļāļāļāđāļŠāļđāđāļāļĨāļķāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ
āļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļāļĨāļģāļāļąāļāļāļāļāļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļēāļāđāļāļĄāļĩāđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĩāđāđāļāļīāđāļĄāļāļķāđāļ āļāļ§āļāļāļāđāļāļđāļāļĨāļāđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļāđāļĨāļŦāļ° āļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāđāļēāļāļŠāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļāļāļĢāļ°āđāļŦāļĒ āļŠāļ°āļŠāļĄāđāļāđāļāđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āļāļāļāļĨāļķāļāđāļāđāļāđāļāđāļ āļāļąāļāđāļāđāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āļāļēāļāļāļąāđāļāļĨāļ§āļāļĨāļēāļĒāļāđāļēāļāļāļąāđāļāļāļāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļĩāđāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļĒāđāļēāļāđāļāđāļĄāļāļ§āļāļŦāļĨāļēāļĒāļĢāđāļāļĒāļāļąāđāļāļāļāļ
- āļāļēāļĢāļĨāļāļāđāļ§āļĒāļāļēāļĢāđāđāļāđāļāļāļĢāđāļĄāļīāļāļāļ§āļāļāļāđāļŦāļĢāļ·āļāļāļ§āļāļāđāļāļāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļāļāļģāļāļāļīāļāļīāļĢāļīāļĒāļēāļāļąāļāļāļēāļĢāđāļāļāļāđāļāđāļāļēāļāļēāļĢāđāļāļāļĄ āļāļāļīāļāļīāļĢāļīāļĒāļēāļĢāļ§āļĄāđāļāļĒāļĒāđāļāļāļ·āļ SiOâ + 2C â Si + 2CO
- āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļāđāļĨāļŦāļ°āļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđāļāļēāļāđāļāļēāļĄāļąāļāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļ°āļĄāļēāļ 98â99% āđāļāļĒāļĄāļĩāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļĩāđāļĒāļąāļāļĄāļēāļāđāļāļīāļāđāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāļāļąāđāļāļŠāļđāļ
- āļāļēāļĢāđāļāļĨāļāļāļēāļāđāļāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļģāļāļāļīāļāļīāļĢāļīāļĒāļēāđāļāļ·āđāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĨāļāđāļĢāļāļīāļĨāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļīāđāļĨāļāļāļĩāđāļĢāļ°āđāļŦāļĒāđāļāđ āļāļģāđāļŦāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļĨāļąāđāļāļāđāļģāđāļĨāļ°āļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāļēāļāđāļāļĄāļĩāđāļāđ
- āļāļēāļĢāļŠāļ°āļŠāļĄāđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāđāļēāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļĨāļēāļĒāļāļąāļ§āļāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāļĢāđāļāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĢāļ°āļāļāļāļĨāļđāļāļīāđāļāļāđ āļŠāļĢāđāļēāļāđāļāđāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđāļāļāļĩāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļĄāļēāļ
- āļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāļāļāļāļāļĨāļķāļāļāļēāļĢāļāļķāļāđāļāļ Czochralski āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāļāļĨāļąāđāļāđāļāļāđāļāļāļĨāļāļĒāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđ āļāļēāļĢāļŦāļĨāđāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļāļąāļ§āđāļāļāļĄāļĩāļāļīāļĻāļāļēāļāļŠāļĢāđāļēāļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļĨāļķāļ
- āļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļđāļāļāļąāļāļāļīāļĻāļāļēāļ āļāļąāļ āļāļąāļāļāļāļ āļāļąāļāļāļīāļ§ āļāļąāļ āđāļĨāļ°āļāļąāļāđāļāļēāļāđāļāļāđāļĢāļīāđāļĄāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļļāļāļāļĢāļāđ
āļāļ§āļāļāļāđāļāļđāļāļĨāļāļāļĩāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŠāļđāļ
āđāļāļĄāļĩāđāļāđāļāļēāđāļāļāđāļēāļāļģāļāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāļāđāļēāļāļāļāļīāļāļīāļĢāļīāļĒāļēāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāđāļāļāļāđāļĨāļ°āļāļĨāļīāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļŦāļĨāļāļĄāđāļŦāļĨāļ§āļāļĩāđāļĄāļĩāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāđāļāđāļĒāļąāļāļāļāļĄāļĩāļāļĒāļđāđāđāļāļĢāļ°āļāļąāļāļĄāļēāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļđāļāđāļāļĨāļāđāļāđāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāđāļāđ
āļŠāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļāļāļĢāļ°āđāļŦāļĒāļāļģāđāļŦāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļĒāļāđāļāļĢāļāļ āļāļāļŠāļāļāļĢāļąāļŠ āđāļĨāļŦāļ° āļŠāļēāļĢāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļēāļĢāđāļāļāļ āđāļĨāļ°āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļ·āđāļ āđ āļāđāļēāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļēāļāđāļāļĄāļĩāđāļāđ
āļĄāļĩāļāļēāļĢāļŠāļ°āļŠāļĄāđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļāļĄāļēāļ
āļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļĢāļ°āļāļąāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļāđāļēāļāļđāļāļāļģāđāļŦāđāļŠāļģāđāļĢāđāļāđāļāļĢāļēāļ°āđāļāđāļĨāļ°āļāļąāđāļāļāļāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļ°āļāļāļīāđāļŠāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļĒāļāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļĩāđāļāļēāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļēāļĒāļļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļāļāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāđāļāļāđāļē
āļĄāļĩāļāļēāļĢāļāļģāļŦāļāļāļāļīāļĻāļāļēāļāļāļāļāļāļĨāļķāļ
āļāļĨāļķāļāđāļĄāļĨāđāļāļāļģāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāđāļāļ·āđāļāđāļŦāđāđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāđāļāļīāļāļāļķāđāļāļĢāļąāļāļĐāļēāļāļīāļĻāļāļēāļāļāļĩāđāđāļĨāļ·āļāļāđāļ§āđāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļāļāļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđ
āđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ
āļāļēāļĢāđāļĨāļ·āđāļāļĒāļāđāļ§āļĒāļĨāļ§āļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāđāļāļāļēāļ āļāļēāļĢāļāļāđāļāđāļāļāļāļ āļāļēāļĢāļāļąāļāļāđāļ§āļĒāļŠāļēāļĢāđāļāļĄāļĩ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļąāļāļāđāļ§āļĒāļŠāļēāļĢāđāļāļĄāļĩ-āļāļĨāđāļ āļāļģāđāļŦāđāđāļāđāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āđāļĢāļĩāļĒāļāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāđāļāļāļāļāļĢāđāļāļāļāđāļģ
āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļđāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļķāđāļāđāļāđāļāļāļąāđāļāđ
āļāļēāļĢāđāļāļīāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāļąāļ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ āļāļēāļĢāļāđāļēāļĒāļ āļēāļ āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļĢāđāļāļ āļāļēāļĢāļāļąāļ āļāļēāļĢāđāļāļĢāđ āļāļēāļĢāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļēāļ āļāļēāļĢāļāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļĨāļŦāļ°āļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāļāļąāđāļ§āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ
āļĢāļđāļāđāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ āļāļĢāļ°āđāļ āļāļāļĨāļķāļ āđāļĨāļ°āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļŠāļ°āļŠāļĄ
āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāļļāļĄāļąāļāđāļāđāļāļāļĨāļīāļāļ āļąāļāļāđāļāļēāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļēāļĢāđāļāđāļāļĢāļ§āļāļĢāļ§āļĄāļāļēāļāļāļĢāļāļĩāļ§āļīāļāļĒāļē āļāļąāļāļāļąāđāļāđāļŦāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļēāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļāļĩāđāļŠāļļāļāļāļķāļāđāļāđāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ: āļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢ āļāļąāđāļāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāđāļāļīāļāđāļ āļāļīāļĻāļāļēāļāļāļĨāļķāļ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ āļāļđāđāļāļĨāļīāļ āļ§āļąāļāļāļĩāđ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāđāļāļīāļĄ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāđāļĨāļŦāļ°āļ§āļīāļāļĒāļē
āļāđāļāļāļŠāļĩāđāļāļēāđāļāđāļĄāđāļŦāļĄāļ·āļāļāđāļŦāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļŦāļāđāļēāļāļĨāļķāļāđāļāļāļŠāļ§āđāļēāļ āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāđāļĄāđāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļ āđāļāļāļŦāļąāļāđāļŦāļĄāļ·āļāļāđāļāđāļ§ āđāļĨāļ°āļāļēāļāļāļĢāļąāđāļāļĄāļĩāļāļĢāļēāļāļŠāļĩāļāđāļģāđāļāļīāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļĢāļāļāļāđāļāļāļāļīāļ§
āđāļāđāļāđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāđāļāļĨāļ·āļāļāļāđāļ§āļĒāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļ āļĄāļĩāļāļīāļ§āļāđāļēāļāđāļāđāļāļāļļāđāļĄāđāļāđāļāđāļĄāđāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļĨāđāļēāļĒāļāļāļāļāļ°āļŦāļĨāđāļģāļĢāļāļāđāļŠāđāļāđāļĒāļāļĨāļēāļ
āđāļĄāđāļāđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ
āļāļāļļāļ āļēāļāđāļĨāđāļāđāļŦāļĨāļāļīāļŠāļĢāļ°āļāļĩāđāļāļĨāļīāļāđāļāļ·āđāļāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāļĢāđāļĨāļ°āļŦāļĨāļāļĄāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āļŠāļīāļāļāļīāļ āļēāļāđāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļĨāļķāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļāđāļāđāļ§āļĨāļāļēāļāļīāļ
āđāļāđāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§
āļāļĨāļķāļāļāļĢāļāļāļĢāļ°āļāļāļāļŦāļĢāļ·āļāļĢāļđāļāļāļĢāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļīāļĻāļāļēāļ āđāļŠāđāļāļāđāļēāļāļĻāļđāļāļĒāđāļāļĨāļēāļ āļĢāļ°āļāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļ āļāļąāļ§āđāļāļīāļĄ āđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāļāļĒāđāļēāļāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļ
āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļąāļāđāļāļēāđāļŦāļĄāļ·āļāļāļāļĢāļ°āļāļ
āđāļāđāļāļāļēāļāđāļāļāļĄāļēāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļĢāļāļĒāđāļ§āđāļēāļŦāļĢāļ·āļāļĢāļāļĒāđāļāļāđāļāļ·āđāļāļāļģāļŦāļāļāļāļīāļĻāļāļēāļ āļŠāļĩāļāļēāļāļĄāļēāļāļēāļāļāļāļāđāļāļāđ āđāļāđāļāļĢāļāđ āđāļāđāļāđāđāļĢāļāļīāļŠāļāđ āļŦāļĢāļ·āļāļāļīāļĨāđāļĄāļŦāļĨāļēāļĒāļāļąāđāļ
āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļŦāļĨāļēāļĒāļāļĨāļķāļ
āđāļāđāļāļāļēāļāļāļĩāđāļĄāļĩāđāļĄāļĨāđāļāļāļģāļāļ§āļāļĄāļēāļ āļĄāļąāļāđāļŦāđāļāđāļāđāļāļēāļāļāļāļāļāļĩāđāļāļąāļāļāļĢāđāļāļ āđāļāļ·āđāļāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāļīāļĻāļāļēāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāđāļāļāļāļĩāđāđāļāļāļāđāļēāļāļāļąāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāđāļāļāđāļāļāļ
āļāļĨāļķāļāļāļĩāđāđāļāļīāļāđāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļŦāļĨāļāļĄāļāļĩāđāđāļāļāđāļāļāļāļ āļēāļĒāđāļāđāļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļēāļĢāđāļĒāđāļāļāļąāļ§ āđāļāļāļāļēāļĢāđāļāļīāļāđāļāļāļāļāđāļĢāđāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļāļąāđāļ§āđāļ
āļāļīāļĨāđāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāļĢāđāļēāļāļāļĨāļķāļ
āļāļąāđāļāļāļēāļāļāļĩāđāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāđāđāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ āļāļąāļ§āļāļĢāļ§āļāļāļąāļ āļāļāđāļŠāļāļāļāļĨ āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāđāļāđāļ§āļĨāļāļēāļāļīāļ āđāļāļāļāļĩāđāļāļ°āđāļāđāļāļāļĨāļķāļāđāļāđāļāđāļĒāļāļāļąāļ§
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļĢāļēāļĨāļŠāļāļĩ
āđāļāļīāļāđāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļŦāļĨāļāļĄāđāļāļ āļēāļāļāļ°āļāļīāļĨāļīāļāļē āļāļēāļāļĄāļĩāļāļāļāļāļīāđāļāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāļāļķāđāļāļŠāđāļāļāļĨāļāđāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļĢāļāļāļēāļāļāļĨāđāļĨāļ°āļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāđāļāļāļāļāļĢāđāļāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĨāļāđāļāļ
āđāļāļāļŦāļĨāļāļĄāđāļŦāļĨāļ§āđāļāļāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļēāļĄāđāļāđāļāđāļāļĒāđāļĄāđāļĄāļĩāļ āļēāļāļāļ°āļŦāļĨāļāļĄ āļāļĨāļīāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļāļāļāļīāđāļāļāļāđāļģāļĄāļēāļāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāļŠāļđāļāđāļāđāļāļāļīāđāļĻāļĐ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļĨāļķāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāđāļāļĨāļēāļĢāđāđāļāļĨāļĨāđ
āđāļāļāļāļĩāļāļŦāļĨāđāļāđāļāđāļāļāļĨāđāļāļāļāļĩāđāļĄāļĩāđāļĄāļĨāđāļāļāļģāļāļ§āļāļĄāļēāļ āļāļāļāđāļĄāļĨāđāļāđāļĨāļ°āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāđāļāļāđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļāđāļĨāļ°āļāļāļāđāļāļāđāļāļĨāļĨāđāļāļĒāđāļēāļāļĢāļ°āļĄāļąāļāļĢāļ°āļ§āļąāļ
āļāļīāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļĢāļĢāļđāļ
āļāļīāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāļāļąāļāļĄāļēāļāļĢāđāļāļĄāļāļĢāļēāļāļāļīāļŠāđāļāļāļĢāđ āđāļāđāļāđāļāļāļĢāđ āļāļēāļĢāđāļāļ·āđāļāļĄāļāđāļ āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļŠāļ āļŦāļĢāļ·āļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļāļŠāļāļ āļŠāļĩāļāļĩāđāđāļŦāđāļāđāļāđāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāđāļāļīāļāļāļēāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļāļāļīāļ§
āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ
āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāļĄāļĩāđāļāļāļŠāļēāļĢāļĢāļąāļāļĢāļāļāļāļēāļāđāļāļĢāļāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒ āļŠāļēāļĒāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļ āļĢāļļāđāļāļāļļāļāļāļĢāļāđ āļŦāļĢāļ·āļāļŠāļāļēāļāļąāļāļāļĩāđāļĢāļ°āļāļļāđāļāđ āļāļēāļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāļāļēāļāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩāđāļāļīāļāļāļ§āđāļēāļāđāļēāļāļāļāļ§āļąāļŠāļāļļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļŦāļēāļĒāļēāļ
āđāļĄāļĨāđāļāļāļēāļāļļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļĄāļąāļāļĄāļĩāļāļāļēāļāđāļĨāđāļāļĄāļēāļāļāļāļāđāļāļāđāļāđāļāļēāļĢāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāļāļķāļāļāļ°āļĢāļ°āļāļļāđāļāđ āđāļĨāļ°āļāļąāļāļāļĒāļđāđāđāļāļāļļāļāļāļēāļāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāļāļĢāļīāļāļāđāļāļāđāļĨāļāļāļĩāđāļāļīāļāļāļāļāļīāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļ°āļāļēāļĒāđāļāđāļāļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļ§āļĄāļāļāļēāļāđāļŦāļāđ
āđāļāļĄāļĩāļāļ·āđāļāļāļīāļ§ āļŠāļĩāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļ āđāļĨāļ°āđāļŠāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĨāļ·āļāļĒāđāļĄāđāđāļāđāļĄāļĩāļŠāļĩāļāđāļē āļĄāđāļ§āļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļāļāļāļēāļĄāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī āļŠāļĩāđāļŦāļĨāđāļēāļāļąāđāļāļĄāļąāļāđāļāļīāļāļāļķāđāļāđāļĄāļ·āđāļāđāļŠāļāļŠāļ°āļāđāļāļāļāļēāļāļāļāļāļāļāđāļĨāļ°āļĨāđāļēāļāļāļāļāļāļīāļĨāđāļĄāđāļāļĢāđāļāđāļŠāļāļēāļ āđ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāđāļĨāđāļāļāđāļāļĒāļāļāļāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāļāļāļāđāļāļāđāļŦāļĢāļ·āļāđāļāđāļāļĢāļāđāļāļ°āđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļŠāļĩāđāļāļĢāļāļŠāļāļāļāļĒāđāļēāļāļĄāļēāļ
āļāļāļāđāļāļāđāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī
āļāļēāļĢāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāļąāļāļāļēāļāļēāļĻāļŠāļĢāđāļēāļāļāļąāđāļāļāļāļāđāļāļāđāļāļēāļāļĄāļēāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļāļąāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļēāļāđāļāļĄāļĩāđāļāđāļāļēāļāđāļāļīāļāđāļāļāļĩāđāļāļ°āļŠāļĢāđāļēāļāļŠāļĩāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļŦāđāļāđāļāđāļāļąāļāđāļāļ
āļāļāļāđāļāļāđāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ
āļāļēāļĢāļāļāļāļāļīāđāļāļāļąāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāļŠāļĢāđāļēāļāļāļąāđāļ SiOâ āļāļĩāđāļŦāļāļēāđāļāđāļāļāļķāđāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāđāļ§āļĒāđāļŠāļāđāļĨāļ°āļāļāļāđāļāļāđāļāļ·āđāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļāļāļ§āļ āļāļēāļĢāļāļīāļāļāļąāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļ·āđāļāļāļīāļ§
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļāļĢāļāđ
āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ SiâNâ āđāļāđāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļ āļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļ§āļēāļĄāđāļāļĢāļĩāļĒāļ āļāļēāļĢāļāļīāļāļāļąāļ āđāļĨāļ°āļāđāļāļāļāļąāļāļāļēāļĢāļŠāļ°āļāđāļāļ āļŠāļĩāđāļāļĢāļāļŠāļāļāļāļāļāļĄāļąāļāļāļēāļāļāļĨāđāļēāļĒāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļīāļāļāļ§āđāļēāļŠāļĩāļāļāļāļāļāļāđāļāļāđ
āļāļīāļĨāđāļĄāđāļĢāļāļīāļŠāļāđāđāļĨāļ°āļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢ
āđāļĢāļāļīāļŠāļāđāļāļīāļāļāļĢāļĩāļĒāđ āđāļĨāļŦāļ° āđāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļīāļ āđāļĨāļ°āļāļąāđāļāļāđāļāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļąāđāļāđāļāļīāđāļĄāļŠāļĩāđāļāļīāđāļĄāđāļāļīāļĄāļāļĩāđāđāļĄāđāđāļŠāļāļāļāļķāļāļŠāļĩāļāļāļāļāļąāļ§āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāļļ
āļāļ§āļēāļĄāđāļāļĢāđāļāđāļŠāļāļāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāđāļāļĩāļĒāļāļāļāļāļ°āļŠāđāļāļāđāļēāļāļŠāđāļ§āļāļāļāļāļŠāđāļāļāļāļĢāļąāļĄāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāļąāļāļāļĩāļŦāļąāļāđāļŦāļŠāļđāļāđāļĄāļ·āđāļāļāļĒāļđāđāļāđāļģāļāļ§āđāļēāļāļāļāļāļđāļāļāļĨāļ·āļ
āļāļēāļĢāļāļđāļāļāļĨāļ·āļāļāļāļāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āļāļīāļŠāļĢāļ°
āļāļēāļĢāđāļāļīāļĄāļŠāļēāļĢāđāļāļ·āļāļāļāļŦāļāļąāļāļāļģāđāļŦāđāđāļāļīāļāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļĩāđāļāļđāļāļāļĨāļ·āļāļĢāļąāļāļŠāļĩāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļ āļĨāļāļāļāļāđāļāļāļŦāļāđāļēāļāđāļēāļāđāļŠāļāļāļĩāđāđāļāđāđāļāđ
| āļĨāļąāļāļĐāļāļ°āļāļĩāđāļŠāļąāļāđāļāļāđāļŦāđāļ | āļŠāļēāđāļŦāļāļļāļāļĩāđāđāļāđāļāđāļāđāļāđ | āļāđāļāļāļ§āļĢāļĢāļ°āļ§āļąāļāđāļāļāļēāļĢāļāļĩāļāļ§āļēāļĄ |
|---|---|---|
| āļĢāļāļĒāđāļāļāļŠāļĩāđāļāļēāđāļŦāļĨāđāļāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļ | āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāļļāļŠāļāđāļŦāļĄāđāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĨāđāļĄāļāļīāļ§āļāļāđāļāđāļāļāđāļāļĒ | āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļēāļāđāļĨāļŦāļ°āļ§āļīāļāļĒāļēāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļģāđāļŦāđāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļĄāļ·āļāļŦāļĢāļ·āļāļĄāļĩāļāļļāļ |
| āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļŠāļĩāļāđāļģāđāļāļīāļ āļĄāđāļ§āļ āļāļļāļŦāļĨāļēāļ āļŦāļĢāļ·āļāļŠāļĩāđāļŦāļĨāļ·āļāļāļāļģāļāļąāļ | āļāļēāļĢāđāļāļĢāļāļŠāļāļāļāļāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļāļāļēāļāļāļāļāđāļāļāđ āđāļāđāļāļĢāļāđ āđāļĢāļāļīāļŠāļāđ āļŦāļĢāļ·āļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļŦāļĨāļēāļĒāļāļąāđāļ | āļŠāļĩāđāļāļĩāļĒāļāļāļĒāđāļēāļāđāļāļĩāļĒāļ§āđāļĄāđāļāđāļāļāļĩāđāļāļāļīāļāļāļāļāļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļ āļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ āļŦāļĢāļ·āļāļāļąāļāļāđāļāļąāļāļāļāļāļāļļāļāļāļĢāļāđ |
| āļŦāļāđāļēāļāļĢāļ°āļāļāļŠāļĩāļāļģāļāļąāļāđāļāļē | āļāļēāļĢāļāļđāļāļāļĨāļ·āļāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļŦāđāļāđāļāđāļĢāđāļ§āļĄāļāļąāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļŠāļ°āļāđāļāļāđāļŠāļāļāļĩāđāđāļĢāļĩāļĒāļāļĄāļēāļ | āļĨāļąāļāļĐāļāļ°āļĄāļ·āļāđāļĄāđāđāļāđāļŦāļĄāļēāļĒāļāļ§āļēāļĄāļ§āđāļēāļ§āļąāļŠāļāļļāđāļāđāļāđāļāļĄāļāļĢāđāļāļąāļŠāļŦāļĢāļ·āļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāđāļģ |
| āļāļ·āđāļāļāļīāļ§āđāļāļĨāļĩāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāđāļĨāļāđāđāļāļāļāđāļēāļāļēāļ | āļŦāļĨāļēāļĒāļŦāļāđāļēāļāļąāļāđāļĨāđāļ āđ āļāļāļāđāļĄāļĨāđāļ āļāļļāđāļĄāļāļĩāđāļāļāļāļ°āļāļāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāļāļąāļāļāđāļ§āļĒāļŠāļēāļĢāđāļāļĄāļĩ | āļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļēāļāđāļāļīāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļēāļĢāļāļāļāļĨāļķāļāļāļēāļĄāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī |
| āļĢāļāļĒāļ§āļāļāļĨāļĄāļŦāļĢāļ·āļāļĢāļāļĒāļŦāļĄāļļāļāļāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ | āļāļēāļĢāļāļąāļ āļāļģāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļēāļ āļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļāļāļāļāļāļēāļĢāļāļāļāļ°āļāļāļ āļĢāļāļĒāđāļŠāđāļāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāļāļāļāļāļĨāļķāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļĢāļēāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢ | āļāļēāļāļāđāļāļāđāļāđāļāļĨāđāļāļāļāļļāļĨāļāļĢāļĢāļĻāļāđāļĄāļ·āļāļāļēāļāļĩāļāđāļāļ·āđāļāđāļĒāļāļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļāļāļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒ |
| āļĢāļāļĒāļāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāļĢāļāļĒāđāļāļāļāļāļāļī | āļĨāļąāļāļĐāļāļ°āļāļēāļĢāļāļąāļāļ§āļēāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļĩāđāļāļĨāļīāļāļāļķāđāļ | āđāļĄāđāđāļāđāļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒāļāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļāļāļēāļĄāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī |
āđāļāļāļāļĨāļīāđāļāļāļąāļ: āļāļēāļāđāļāļĄāļĩāļāļēāļĢāļāđāļāļāļąāļ§āļāļāļāļŦāļīāļāļŠāļđāđāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāđāļāļĢāđāļāļĢāļĄāđāļāđ
āļāļīāļāļāļīāļāļĨāļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĒāļēāļĒāđāļāđāļāļĨāļāļ§āđāļēāļāļīāļāļāļāļĄāļāļīāļ§āđāļāļāļĢāđ āļŠāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļāļāļĄāļąāļāļāļĢāļāļāļāļģāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļēāļāļāļĢāļāļĩāļ§āļīāļāļĒāļē āđāļāļāļāļ°āļāļĩāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļāļąāļāļŠāļāļļāļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļāļāļĨāļąāļāļāļēāļ, āļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļāļąāļ, āļāļĨāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ, āđāļŠāļ, āđāļāļĄāļĩ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģ
āđāļāđāļ§āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļēāļĄāļīāļāļŠāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļēāđāļĨāļ°āļāļīāļĨāļīāđāļāļāļŠāļĢāđāļēāļāļŦāļāđāļēāļāđāļēāļ, āđāļŠāđāļāđāļĒ, āđāļāđāļ§āļāļāļāļāļīāļ, āđāļāļĢāļ·āđāļāļāđāļāļĨāļ·āļāļāļāļīāļāđāļāļē, āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļāđāļ, āđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāļē, āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļāđāļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢ āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļēāļĄāļīāļāļŠāđāļāļēāļāđāļāļāļāļīāļ
āļāļđāļāļāļĩāđāļĄāļāļāđāđāļĨāļ°āļāļāļāļāļĢāļĩāļ
āđāļāļĨāđāļāļĩāļĒāļĄāļāļīāļĨāļīāđāļāļāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļēāļĢāđāļŦāđāļāļ§āļēāļĄāļāļ·āđāļāļāļāļāļāļđāļāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļāļāļĢāđāļāđāļĨāļāļāđāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļĢāļāđāļāļāļāļāļāļĢāļĩāļ
āļ§āļāļāļĢāļĢāļ§āļĄ
āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļĢāļāļļāļĢāļ°āļāļāļāļĢāļĢāļāļ°, āļŦāļāđāļ§āļĒāļāļ§āļēāļĄāļāļģ, āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāđāļāļāļāļ°āļāļēāļĨāđāļāļ, āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļĨāļąāļāļāļēāļ, āļāļēāļĢāļŠāļ·āđāļāļŠāļēāļĢ āđāļĨāļ°āļĢāļ°āļāļāļŠāļąāļāļāļēāļāļāļŠāļĄ
āđāļāđāļāđāļ§āļĨāļāļēāļāļīāļāļŠāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāļāļđāļāļāļąāļāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđ āđāļĒāļāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āļāļĩāđāđāļāļīāļāļāļēāļāđāļŠāļāļāļĩāđāļĢāļāļĒāļāđāļ āđāļĨāļ°āļĒāļąāļāļāļāđāļāđāļāļāļ·āđāļāļāļēāļāļāļāļāđāļĄāļāļđāļĨāđāļāļĨāļēāļĢāđāđāļāļĨāļĨāđāđāļāļāļāļąāđāļāđāļāļīāļĄāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđ
MEMS āđāļĨāļ°āđāļāđāļāđāļāļāļĢāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļĄāđāļāļĢāđāļĄāļāļĩāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāđāļĢāđāļ, āđāļāđāļāđāļāļāļĢāđāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļ, āđāļĄāđāļāļĢāđāļāļ, āđāļāđāļĢāļŠāđāļāļ, āļĢāļ°āļāļāļāļāļāđāļŦāļĨ āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļĢāđāļāđāļāļāļāđ
āļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāđāļĨāļ°āđāļāđāļāļāļīāļāļŠāđ
āļāļąāļāļāļĩāļŦāļąāļāđāļŦāļŠāļđāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŠāđāļāļāđāļēāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāđāļāļīāļāļāļąāļ§āļāļģāļāļĨāļ·āđāļ, āļāļąāļ§āļāļĢāļąāļāļŠāļąāļāļāļēāļ, āļāļąāļ§āļāļĢāļ§āļāļāļąāļ, āđāļĨāļāļŠāđ āđāļĨāļ°āļ§āļāļāļĢāđāļŠāļāđāļāļāļāļđāļĢāļāļēāļāļēāļĢ
āđāļĨāļŦāļ°āļāļŠāļĄāļāļēāļāđāļĨāļŦāļ°āļ§āļīāļāļĒāļē
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāđāļ§āļĒāļāļĢāļąāļāļāļĢāļļāļāļāļ§āļēāļĄāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļāļēāļĢāļŦāļĨāđāļ, āļāļģāļāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāđāļāđāļŦāļĨāđāļāļāļĨāđāļē, āđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļāļāđāļĨāļŦāļ°āļāļŠāļĄāļāļĨāļđāļĄāļīāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļĨāļ°āļĄāļĩāļŠāđāļ§āļāļĢāđāļ§āļĄāđāļāļāļīāļĨāļīāđāļāļāđāļāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ
āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļīāļĨāļīāđāļāļ
āđāļāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļŠāļļāļāļāđāļēāļĒāđāļŦāđāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĩāļĨāđāļĨāļāļāđ, āļāļĩāļĨāļēāļŠāđāļāđāļĄāļāļĢāđ, āļŠāļēāļĢāļŦāļĨāđāļāļĨāļ·āđāļ, āļŠāļēāļĢāļŦāđāļāļŦāļļāđāļĄ, āļ§āļąāļŠāļāļļāđāļāļĢāļāļāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļāļĒāđ āđāļĨāļ°āđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđāļāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ
āļāļēāļĢāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāđāļĄāđāļāļĒāļģ
āļāļĨāļķāļāđāļĨāļ°āļāļĢāļāļāļĨāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāļīāđāļĻāļĐāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāļāđāļāļāļŠāļāļąāļāļŠāļāļļāļāļāļēāļĢāļ§āļąāļāļĄāļīāļāļīāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļāđāļēāļāļāļāļĩāđāļāļ·āđāļāļāļēāļ
āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļ§āļāļāļāļąāļĄ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāđāļ§āļĒāđāļāđāļāđāļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļĨāļāđāļŠāļĩāļĒāļāļĢāļāļāļ§āļāđāļĄāđāđāļŦāļĨāđāļāļĢāļāļāļŠāļāļēāļāļ°āļāļ§āļāļāļāļąāļĄāļāļĩāđāļāļīāļāļŠāļāļīāļāđāļĨāļ°āđāļŦāđāđāļāļĨāļāļāļāļĢāđāļĄāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļāļģāļāļēāļ
āļāļēāļĢāļĢāļ°āļāļļāđāļĨāļ°āļŠāļīāđāļāļāļĩāđāļāļđāļāļĨāđāļēāļĒāļāļąāļāļāļąāđāļ§āđāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāļļāļāļģāļāļ§āļāļĄāļēāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļļāđāļāđāļāļĒāđāļēāļāļāđāļēāđāļāļ·āđāļāļāļ·āļāļāļĩāđāļŠāļļāļāļāđāļēāļāļāļēāļĢāļĢāļ§āļĄāļāļąāļāļāļāļāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāļāđāļģāđāļĄāļ·āđāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļąāļāļĨāļąāļāļĐāļāļ°āđāļĨāļŦāļ°, āļĢāļāļĒāđāļāļāđāļāļāđāļāļĢāļēāļ°āđāļāđāļāļĢāļđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāļŦāļāļĒ, āļŠāļĩāđāļāļēāđāļāđāļĄ, āļāļīāļ§āđāļāđāļ, āđāļĄāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļŦāļāļĩāļĒāļ§āļāļāļāđāļĨāļŦāļ° āđāļĨāļ°āđāļŦāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļēāļāļēāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļŠāļģāđāļĢāđāļāļĢāļđāļāļāļ°āļāļđāļāļĢāļ°āļāļļāđāļāđāļāđāļēāļĒāļāļ§āđāļēāļāđāļ§āļĒāļĢāļđāļāļāļĢāļ āļĢāļāļĒāļāļēāļ āļāļēāļĢāļāļąāļ āđāļĨāļ°āļāļąāđāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļēāļĢāļāļāļŠāļāļāļ āļēāļāļŠāļāļēāļĄ
āļĨāļģāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāđāļāļāđāļĄāđāļāļģāļĨāļēāļĒ
āļĻāļķāļāļĐāļēāļ§āļąāļāļāļļāļāļąāđāļāļŦāļĄāļāļāđāļāļāļāļāļŠāļāļāļāđāļēāļāļŠāļ§āđāļēāļāļŦāļāļķāđāļāļāđāļēāļ āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ āļāļĢāļĢāļāļļāļ āļąāļāļāđ āļāđāļēāļĒ āļāļģāļāļąāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢ āļĢāļāļĒāļāļēāļāļāļīāļĻāļāļēāļ āđāļĨāļ°āļŪāļēāļĢāđāļāđāļ§āļĢāđāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļāļāļēāļāđāļŦāđāļāđāļāļĄāļđāļĨāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļĢāļāļĒāđāļāļāđāļāļ
- āļĢāļ°āļāļļāļāļĢāļ°āđāļ āļāļ§āļąāļāļāļļāđāļĒāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāđāļĢāļāļāļĨāļļāļ, āđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ, āļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§, āđāļ§āđāļāļāļĢāđ, āđāļ, āļāļąāļāļŠāđāļāļĢāļāđāļāļĨāļ·āļāļ, āđāļĨāļŦāļ°āļāļŠāļĄ āļŦāļĢāļ·āļāļāļāļāđāļĨāļĩāļĒāļāđāļāļ
- āļāļĢāļ°āđāļĄāļīāļāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāđāļāļīāļāļāļļāļāļ āļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļĢāļđāđāļŠāļķāļāđāļāļēāļāļĒāđāļēāļāđāļĄāđāļāļēāļāļāļīāļāđāļĄāļ·āđāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļąāļāļāļ°āļĨāļēāļāļē, āđāļŪāļĄāļēāđāļāļāđ, āđāļŦāļĨāđāļāļāļĨāđāļē āļŦāļĢāļ·āļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļāļēāļāđāļāļĨāđāđāļāļĩāļĒāļāļāļąāļ
- āļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāļĢāļđāļāļāļĢāļāļĢāļāļĒāđāļāļ āļĄāļāļāļŦāļēāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļāļāđāļāļĨāļ·āļāļ āļāļāļāļāļĄ āļĢāļ°āļāļēāļāļŠāļ°āļāđāļāļāđāļŠāļ āđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāđāļāļāļāđāļēāļāļāļāļāļāļāļāđāļāļāđāļĄāļĨāđāļ
- āļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāļāļąāđāļāļāļīāļ§ āļĢāļ°āļāļļāļ§āđāļēāļŠāļĩāļĄāļēāļāļēāļāļāļāļāđāļāļāđ āđāļāđāļāļĢāļāđ āđāļĨāļŦāļ° āđāļĢāļāļīāļŠāļāđ āļŠāļīāđāļāļāļāđāļāļ·āđāļāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļāļāļāđāļāđāļ
- āļĄāļāļāļŦāļēāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļĄāļĨāđāļ āļ§āļąāļŠāļāļļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļĨāļķāļāļāļēāļāđāļāļĒāđāļŦāđāđāļŦāđāļāļŦāļāđāļēāļāļąāļ āđāļĄāļĨāđāļ āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāđāļĒāļāļāļąāļ§ āđāļĨāļ°āđāļŠāđāļāļāļēāļāđāļāļāļŦāļąāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļ
- āļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāđāļĄāđāđāļŦāļĨāđāļ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāđāļĄāđāđāļāđāđāļĄāđāđāļŦāļĨāđāļāļāļēāļ§āļĢ āļāļēāļĢāļāļāļāļŠāļāļāļāļāļĩāđāđāļĢāļāļāđāļāļāļĩāđāļāļķāļāđāļāļāļĢāđāđāļĢāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āđāļĨāļŦāļ°āļāļĩāđāļāļīāļāļāļĒāļđāđ āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāļāļāđāļāļ·āđāļāļ
- āļŦāļĨāļĩāļāđāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļēāļĢāļāļāļŠāļāļāļĢāļāļĒāļāļĩāļāļāđāļ§āļāļāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ āļāļēāļĢāļāļāļŠāļāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāļāļģāļĨāļēāļĒāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļēāđāļĨāļ°āļāļēāļāļāļģāđāļŦāđāđāļāļīāļāļĢāļāļĒāđāļāļāļāļēāļāļāļāļāđāļāđ
- āđāļāđāļāļēāļĢāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāđāļĄāļ·āđāļāļāļģāđāļāđāļ āļŠāđāļāļāđāļāļĢāļŠāđāļāļāļĩāđāļĢāđāļĄāļ āļāļēāļĢāđāļĨāļĩāđāļĒāļ§āđāļāļāļāļāļāļĢāļąāļāļŠāļĩāđāļāļāļāđ āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļ āļāļēāļĢāļŠāđāļāļāđāļēāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļ āđāļĨāļ°āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāļāļāļāđāļāļĢāļ°āļāļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļĒāļ·āļāļĒāļąāļāļ§āļąāļŠāļāļļāđāļĨāļ°āļŠāļāļēāļāļ°āļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāđāļāđ
| āļ§āļąāļŠāļāļļ | āđāļŦāļāļļāļāļĨāļāļĩāđāļāļēāļāļāļĨāđāļēāļĒāļāļīāļĨāļīāļāļāļ | āļāļ§āļēāļĄāđāļāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđ |
|---|---|---|
| āļāļ§āļāļāļāđāļŦāļĢāļ·āļāđāļāđāļ§āļāļīāļĨāļīāļāļē | āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļāļĨāđāđāļāļĩāļĒāļāļāļąāļ āļāļēāļĢāđāļāļāļŦāļąāļāđāļāļāļāļāļāļāļāļĒāļāđ āđāļĨāļ°āđāļāļĄāļĩāļāļĩāđāļāļļāļāļĄāļāđāļ§āļĒāļāļīāļĨāļīāļāļāļ | āļāļ§āļāļāļāđāđāļĨāļ°āđāļāđāļ§āđāļāđāļ SiOâ āđāļāļĒāļāļāļāļīāđāļŠāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĢāđāļāđāļŠāļāđāļĨāļ°āđāļĄāđāđāļāđāđāļĨāļŦāļ° āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļĄāļĩāļŠāļĩāđāļāđāļĄāđāļĨāļ°āļāļķāļāđāļŠāļāđāļāđāļŠāļāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļŦāđāļ |
| āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđ | āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļąāļāļāļ°āđāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđāļŠāļĩāđāļāđāļĄāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āđāļĨāļŦāļ°āļŦāļĢāļ·āļāļŠāļĩāļĢāļļāđāļ | SiC āđāļāđāļāļāļ§āđāļē āļŦāļāļēāđāļāđāļāļāļ§āđāļē āđāļĨāļ°āļĄāļąāļāđāļŠāļāļāļŠāļĩāļĢāļļāđāļāđāļāļĩāļĒāļĄāļŦāļĢāļ·āļāđāļāđāļāļāļĨāļķāļāļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļāļāļ§āđāļē |
| āļāļēāļĢāļĩāļāļē | āļĨāļąāļāļĐāļāļ°āđāļĨāļŦāļ°āļŠāļĩāđāļāļēāļāļģāļāļ°āļāļąāđāļ§āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļēāļ° | āļāļēāļĢāļĩāļāļē āļŦāļāļąāļāļāļ§āđāļē āļāļļāđāļĄāļāļ§āđāļē āđāļĨāļ°āđāļŠāļāļāļāļēāļĢāđāļāļāļŦāļąāļāđāļāđāļāļĨāļđāļāļāļēāļĻāļāđāļāļĩāđāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāđāļāļ |
| āļŪāļĩāļĄāļēāđāļāļāđ | āļāļ·āđāļāļāļīāļ§āđāļĨāļŦāļ°āļŠāļĩāđāļāļēāđāļŦāļĨāđāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļķāđāļāđāļĨāļŦāļ° | āļŪāļĩāļĄāļēāđāļāļāđāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāđāļĨāļ°āļāļīāđāļāļĢāļāļĒāđāļāļāļāđāļģāļāļēāļĨ |
| āļāļĢāļēāđāļāļāđ | āļŠāļĩāđāļāļēāđāļāđāļĄ āļĄāļĩāļāļĢāļ°āļāļēāļĒāļāļķāđāļāđāļĨāļŦāļ° āđāļĨāļ°āļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāđ | āļāļĢāļēāđāļāļāđāļāļļāđāļĄāļĄāļēāļ āļĄāļąāļāđāļāļē āļāļīāđāļāļĢāļāļĒāļāļģ āđāļĨāļ°āđāļāļāđāļāđāļāđāļāđāļāļĒāļ·āļāļŦāļĒāļļāđāļ |
| āđāļāļāļĢāđāđāļĢāļāļīāļĨāļīāļāļāļ | āļāđāļāļāđāļĨāļŦāļ°āļŠāļĩāđāļāđāļĄāđāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļģāļāļ§āļāļĄāļēāļ | āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāļŠāļđāļāļāļ§āđāļē āļāļēāļāļĄāļĩāđāļĄāđāđāļŦāļĨāđāļ āđāļāļŠāđāļĨāļŦāļ°āļāļŠāļĄ āđāļĨāļ°āđāļāļĄāļĩāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļēāļāļļāđāļŦāļĨāđāļāļĄāļēāļ |
| āđāļāđāļ§āđāļĨāļŦāļ°āļŦāļĢāļ·āļāļāļĩāđāļŦāļĨāļāļĄ | āļĢāļāļĒāđāļāļāļŠāļ°āļāđāļāļāđāļŠāļāļŠāļĩāđāļāđāļĄāđāļĨāļ°āļĢāļđāļāļāļĢāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļāļĩāđāđāļĄāđāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļ | āļāļāļāļāļēāļāļēāļĻ āļĨāļ§āļāļĨāļēāļĒāļāļēāļĢāđāļŦāļĨ āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāđāļĄāđāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļ āļŠāđāļ§āļāļāļŠāļĄāļŦāļĨāļēāļāļŦāļĨāļēāļĒ āđāļĨāļ°āđāļĄāđāļĄāļĩāļĨāļąāļāļĐāļāļ°āđāļāļāļēāļ°āļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļ |
| āđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļāđāļ§āđāļāļĨāļ·āļāļ | āļ§āļąāļŠāļāļļāļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļĢāļāļāļĨāļĄāđāļāļāļāļĢāđāļāļĄāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļāļŠāļĩāļŠāļąāļāļŠāļāđāļŠ | āļāļēāļĢāļŠāđāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāļāļāļ āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāđāļāđāļāļāđāļģ āļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļĢāđāļāļāļŦāļąāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļāļŠāļāļāļāļēāļāđāļŠāļāļāđāļ§āļĒāđāļĒāļāđāļāđāļ§āļāļāļāļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļ |
āļāļēāļĢāđāļĒāļāļŠāļēāļĢ āļ§āļīāļāļĒāļēāļĻāļēāļŠāļāļĢāđāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļīāļāđāļāļāļāļāđāļāļĨāļāļāļāļĢāđāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļ
āļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāđāļĢāđāđāļāļŠāļđāđāļāļēāļĢāđāļĒāļāļŠāļēāļĢāđāļāļĄāļĩ āļāļēāļāļ§āļąāļŠāļāļļāđāļāļŦāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļĩāđāđāļāļĢāļēāļ°āļāļēāļāđāļāļŠāļđāđāļāļĨāļķāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļāđāļāđāļāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āđāļāļŠāļđāđāļĢāļ°āļāļāđāļāļāļāļđāļĢāļāļēāļāļēāļĢ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāļāļĩāđāļŠāļģāļāļąāļāđāļĄāđāđāļāđāđāļāđāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļāļēāļāļļāđāļāđāļēāļāļąāđāļ āđāļāđāļāļ·āļāļāļēāļĢāđāļĢāļĩāļĒāļāļĢāļđāđāļāļĩāđāļāļ°āļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ āļāļ·āđāļāļāļīāļ§ āļāđāļāļāļāļāļĢāđāļāļāļāļāļāļāļĨāļķāļ āđāļĨāļ°āļāļīāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāļāļāļāļĄāļąāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļēāļāļđāļāļĒāļāļĄāļĢāļąāļāļ§āđāļēāđāļāđāļāļāļāļāđāļāļāđāļāļāļāļāļēāļāļļāļāļĩāđāđāļĄāđāļĢāļđāđāļāļąāļ
āļāļąāļāđāļāļĄāļĩāđāļāđāļēāđāļāļ§āđāļēāļŠāļīāđāļāđāļĢāđāļāļ§āļāļāļāđāđāļĨāļ°āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĩāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļāļĄāļĩāļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļĨāļāļāļāļāļī āđāļāđāļāļēāļĢāđāļĒāļāļĒāļąāļāļāļāļĒāļēāļāđāļāļĢāļēāļ°āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļąāļāļāļąāļ§āđāļāđāļāļāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāļđāļāđāļāļĢāļĩāļĒāļĄāđāļĨāļ°āļāļ·āđāļāļ āļēāļĐāļēāļāļąāļāļāļĪāļĐāļāļąāļāļāļē
āļāļēāļĢāļāļāļĨāļāļāļĨāļāļĨāļāđāļāļāđāļ§āļāđāļĢāļāļāļĨāļīāļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āļāļāļ°āļāļĩāđāļāļ·āđāļ âāļāļīāļĨāļīāļāļāļâ āđāļāļāļāļĩāđāļĢāļđāļāđāļāļāļāļĩāđāļāļīāļāļāļēāļĄāļāļ·āđāļāļāļēāļāļļāđāļĨāļŦāļ°āđāļāļĒāļāļĢāļāļĄāļēāļāļāļ§āđāļē
JÃķns Jacob Berzelius āđāļĒāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāđāļāļāļāļĨāļķāļ
Berzelius āļāļĨāļīāļāđāļĨāļ°āļāļāļīāļāļēāļĒāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļāļāđāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļĩāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļĄāļēāļāļāļķāđāļ āļŠāļĢāđāļēāļāļāļ·āđāļāļāļēāļāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļąāļāļĨāļąāļāļĐāļāđāļāļēāļāđāļāļĄāļĩāļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāļāļđāļāđāļāļĢāļĩāļĒāļĄāļāļķāđāļ
Henri Sainte-Claire Deville āđāļāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļ āļāļģāđāļŦāđāļāļ§āļēāļĄāđāļāļē, āļāļ§āļēāļĄāđāļāļĢāļēāļ° āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļāļāļĄāļąāļāđāļāđāļēāļāļķāļāļāļēāļĢāļĻāļķāļāļĐāļēāđāļāđāļāđāļēāļĒāļāļķāđāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ
āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļļāļāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāđāļĨāļ°āđāļāļĢāļ·āđāļāļāļāļĢāļ§āļāļāļąāļāļāļĨāļķāļāđāļŠāļāļāļāļēāļĢāđāļĢāļĩāļĒāļāļāļīāļĻāļāļēāļāļāđāļāļāļāļĩāđāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāļāļĨāļķāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļāļāļ°āļāļģāđāļŦāđāļ§āļīāļĻāļ§āļāļĢāļĢāļĄāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāļŠāļĄāļąāļĒāđāļŦāļĄāđāđāļāđāļāđāļāđāļāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļđāļāļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļĢāļēāļāļāļīāļŠāđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āđāļāļĨāļĨāđāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđāđāļāđāļāļēāļāđāļāđāļāļĢāļīāļ
āļāļēāļĢāļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ, āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļ, āļāļēāļĢāļāđāļāļāļąāļ§āļāļāļāļĢāļāļĒāļāđāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāļāļāļāļāļĨāļķāļāļāļģāđāļŦāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāļāļēāļāđāļĨāļ·āļāļāļāļĩāđāđāļāđāļāļēāļāđāļāđāļāļĢāļīāļāļĄāļēāļāļāļķāđāļāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļĄāđāļāļĩāļĒāļĄ
āļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§, āļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāđāļāļāļĢāļ°āļāļēāļ āđāļĨāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđ MOS āđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļ
āļāļīāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļâāļāļāļāđāļāļāđāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāļāļģāđāļŦāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļāļāđāļāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§, āļāļģāļŦāļāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāđāļ§āļĒāļ āļēāļāļāđāļēāļĒ āđāļĨāļ°āļŠāļĢāđāļēāļāļ§āļāļāļĢāļĢāļ§āļĄāļāļĩāđāļŦāļāļēāđāļāđāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĒāļēāļĒāļāļąāļ§āđāļāđāļēāļŠāļđāđāđāļāđāļāđāļ§āļĨāļāļēāļāļīāļ, MEMS, āđāļāđāļāļāļīāļāļŠāđ, āđāļĄāđāļāđāļĨāļĒāļĩ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāļāļ§āļāļāļāļąāļĄ
āđāļāļĨāļāļāļāļĢāđāļĄāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļāļāļĩāđāļŠāļāļąāļāļŠāļāļļāļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļāļāļĨāļąāļāļāļēāļ, āđāļāđāļāđāļāļāļĢāđāļāļĨāđāļ, āļ§āļāļāļĢāđāļŠāļ, āļāļĨāļķāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāļāđāļāļ āđāļĨāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļēāđāļāļŠāđāļāļĨ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĄāđāđāļāđāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāļāļ·āđāļāļāļēāļāđāļāļĢāļēāļ°āļĄāļąāļāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāđāļāļĩāđāļāđāļāļāļīāđāļĻāļĐāđāļāļŠāļ āļēāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī āđāļāđāļĄāļąāļāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāļāļ·āđāļāļāļēāļāđāļāļĢāļēāļ°āļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāđāļē, āļāļ·āđāļāļāļīāļ§, āļĢāļđāļāļĢāđāļēāļ āđāļĨāļ°āļāļīāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāļāļĒāđāļēāļāđāļĄāđāļāļĒāļģāļāļĒāđāļēāļāļĒāļīāđāļ
āļāļēāļĢāļāļĢāļ°āđāļĄāļīāļ, āđāļŦāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļē āđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāļŠāļąāļĄāļāļąāļāļāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļ°āļāļāļāļąāļāđāļāļĢāļāļāļđāđāļĢāļ§āļāļĢāļ§āļĄāļŠāļēāļāļĨ āļāļīāđāļāļŠāđāļ§āļāļŦāļĒāļēāļāļāļēāļāđāļāļēāļŦāļĨāļāļĄ, āđāļāđāļāđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ, āļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāļēāļāļ§āļīāļāļĒāļēāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ, āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĨāļīāļ, āļāļīāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļĩāđāļĄāļĩāļĨāļ§āļāļĨāļēāļĒ, āđāļāļĨāļĨāđāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđāļĒāļļāļāđāļĢāļ, āļ§āļāļāļĢāļĢāļ§āļĄāļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āđāļĄāļĨāđāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļāļĩāđāļŦāļēāļĒāļēāļ āļāđāļāļāļāļēāļĢāļĨāļģāļāļąāļāļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāļāļĩāđāđāļāļāļāđāļēāļāļāļąāļ
āļāļąāļ§āļāļāļāļāļāļ§āļąāļŠāļāļļ
āļĒāļ·āļāļĒāļąāļāļ§āđāļēāļ§āļąāļāļāļļāđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ, āđāļĨāļŦāļ°āļāļŠāļĄ, āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđ, āļāļĢāļ°āļāļāđāļāļĨāļ·āļāļ, āđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļĢāļĢāļđāļ āļŦāļĢāļ·āļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļāļ·āđāļ
āļĢāļđāļāđāļāļāļāļĨāļķāļ
āļāļąāļāļāļķāļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§, āļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļĨāļķāļ, āļāļĨāļķāļāđāļāļāļāļīāđāļāđāļĄāđ, āļāļīāļĨāđāļĄāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāđāļāļ, āļĢāļđāļāļĢāļļāļ, āđāļāļāļŦāļąāļ, āļāļąāļ, āļāļąāļāđāļāļē āļŦāļĢāļ·āļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļĩāđāđāļāļĨāļ·āļāļ
āļāļ§āļēāļĄāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāļāļāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§
āļāļĢāļ§āļāļŠāļāļāļāļāļāļāļĩāđāđāļāļ, āļĢāļāļĒāđāļĒāļ, āļĢāļāļĒāļāļĩāļāļāđāļ§āļ, āļāļ§āļēāļĄāļāļļāđāļāļĄāļąāļ§, āļĢāļāļĒāļāļīāđāļ§āļĄāļ·āļ, āļŠāļĩāļāļāļāđāļāļāđ, āļāļēāļĢāļĨāļāļāļāļąāđāļ, āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļĢāđāļāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļģāđāļĨāļŦāļ°āđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒ
āļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨ
āļāļđāđāļāļĨāļīāļ āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļ āđāļĢāļāļāļēāļ āļāļīāļĻāļāļēāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ āļāļąāļ§āđāļāļīāļĄ āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļ āđāļŠāđāļāļāđāļēāļāļĻāļđāļāļĒāđāļāļĨāļēāļ āļ§āļąāļāļāļĩāđ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļĩāđāļāļąāđāļāđāļāđāļ§āđ āļāļēāļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļ§āļēāļĄāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāļāļēāļāļŠāļēāļĒāļāļē
āļāļĢāļīāļāļāļāļēāļāļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ
āļāđāļēāļĒāļ§āļīāļāļąāļĒ āļĢāļļāđāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļ āļŠāļāļēāļāļąāļ āļāļĢāļ°āđāļ āļāļāļļāļāļāļĢāļāđ āļāļĢāļĢāļāļļāļ āļąāļāļāđ āđāļĨāļ°āđāļāļāļŠāļēāļĢāļāļēāļāļĒāļ·āļāļĒāļąāļāļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāļāļēāļāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩ
āđāļŦāļĨāđāļāļāļģāđāļāļīāļāļāļēāļĄāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī
āļāļēāļĢāļāđāļēāļāļŠāļīāļāļāļīāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļāđāļāļāļāļēāļĢāļāļģāđāļŦāļāđāļ āļ§āļąāļŠāļāļļāđāļŪāļŠāļāđ āļŦāļĨāļąāļāļāļēāļāļāļēāļāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļĢāļąāļāļĐāļēāđāļĄāļāļĢāļīāļāļāđāđāļāļīāļĄ
| āļāļĢāļ°āđāļ āļāļ§āļąāļāļāļļ | āļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļāļĩāđāļāļ§āļĢāđāļŦāđāļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļ | āļāļļāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļāļĢāļ§āļāļŠāļāļ |
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| āļāđāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāđāļĨāļŦāļ°āļ§āļīāļāļĒāļē | āļĢāļāļĒāđāļāļāļāļąāļ§āđāļāļ āđāļŦāļĨāđāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ āđāļāļ·āđāļāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāļāļāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļ āļāļāļēāļ āđāļĨāļ°āļāļīāļ§āļāļĩāđāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢ | āļāļēāļĢāļāļāđāļāļāđāļāļāļĢāđāđāļĢāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āļāļ°āļāļĢāļąāļ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ āļāļēāļĢāđāļāļīāļāļāļāļāđāļāļāđ āļāļāļāđāļŦāļĨāļĄ āđāļĨāļ°āđāļŦāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļēāđāļĄāđāļĄāļĩāđāļāļāļŠāļēāļĢ |
| āđāļāđāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđāļāđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ | āļĢāļđāļāļĢāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļāļāļ°āļāļāļ āđāļāļāļŠāļēāļĢāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļ āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĩāđāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđ | āļāļēāļĢāļāļāđāļāļ·āđāļāļ āļāļĢāļēāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļāļąāļāļāđāļāļ āđāļŠāđāļāđāļĒāđāļāļ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāđāļēāļāļŠāļīāļāļāļīāđāļāļĨāļķāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļāļĩāđāļāļģāđāļŦāđāđāļāđāļēāđāļāļāļīāļ |
| āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§ | āđāļŠāđāļāļāđāļēāļāļĻāļđāļāļĒāđāļāļĨāļēāļ āļāļīāļĻāļāļēāļ āļĢāļāļĒāļāļēāļ āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļē āļāļēāļĢāļāļąāļāđāļāļē āļāļąāļ§āđāļāļīāļĄ āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļ āđāļĨāļ°āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļ | āļāļīāļāļāļāļ āļĢāļāļĒāđāļāļāļāļļāļĨāļ āļēāļ āļāļēāļĢāļāļīāļāļāļ āļĢāļāļĒāļāļĩāļāļāđāļ§āļ āļāļēāļĢāļāļāđāļāļ·āđāļāļ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ āđāļĨāļ°āļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĢāļēāļ |
| āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāļĄāļĩāļĨāļ§āļāļĨāļēāļĒ | āļāļļāļāļāļĢāļāđāļŦāļĢāļ·āļāļĨāļ§āļāļĨāļēāļĒāļāļāļŠāļāļ āļāļĢāļīāļāļāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļ āļ§āļąāļāļāļĩāđ āļāļēāļĢāļāļąāļāļ§āļēāļāļāļīāđāļāļāļēāļ āđāļāļāļŠāļēāļĢ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļĢāļąāļāļĐāļēāļāļīāļ§ | āđāļĨāļŦāļ°āļāļąāļāļāļĢāđāļāļ āļāļīāļĨāđāļĄāļĨāļāļāļāļĢāļēāļ āļāļĢāļēāļāđāļĢāļāļīāļāļāđāļēāļĒāļ āļēāļ āļāļāļāđāļāļ āđāļĨāļ°āļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļāļĩāđāđāļĄāđāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđ |
| āļāļīāđāļāļāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāļ§āļāļāļĢāļāļēāļāļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ | āļāļąāļāļāđāļāļąāļāļāļĩāđāļĢāļ°āļāļļāđāļāđ āļāļđāđāļāļĨāļīāļ āļ§āļąāļāļāļĩāđ āļāļĢāļĢāļāļļāļ āļąāļāļāđ āļŠāļāļēāļāļąāļ āđāļĨāļ°āļāļĢāļīāļāļāļāļēāļāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩ | āļāļēāļĢāļāļĢāļĢāļāļļāđāļŦāļĄāđ āļāļēāļĢāļĨāļāļāđāļēāļĒ āļāļēāļĢāļāļģāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļŦāļĄāļēāļĒāļāļĨāļāļĄ āļāļēāļĢāđāļāļāļāļāļāļāļąāļāļāļ° āđāļĨāļ°āđāļāļāļŠāļēāļĢāļāļĩāđāļāļēāļāļŦāļēāļĒ |
| āļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī | āđāļĄāļāļĢāļīāļāļāđāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī āļāļģāđāļŦāļāđāļāļāļĩāđāđāļāđāļāļāļ āļāļēāļĢāļĒāļ·āļāļĒāļąāļāļāļēāļāļ§āļīāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđ āļāļāļēāļ āđāļĨāļ°āļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļĩāļāļīāļĄāļāđ | āļāļēāļĢāļāļāđāļāļ·āđāļāļāđāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļēāļāđāļĢāļāļāļĨāļļāļ āđāļĻāļĐāļāļēāļāļāļēāļāđāļĢāļāļāļĢāļ°āđāļāļ āļāļēāļĢāļāļąāļāđāļāļĩāļĒāļĄ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāđāļēāļāļāļīāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļĄāļĩāļŦāļĨāļąāļāļāļēāļ |
āļāļēāļĢāļāļđāđāļĨ āļāļēāļĢāđāļāđāļāļĢāļąāļāļĐāļē āļāļēāļĢāļāļąāļāđāļŠāļāļ āđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļāļĨāļāļāļ āļąāļĒāđāļāđāļ§āļīāļĢāđāļāļāđāļāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļāđāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļģāļāļ§āļāļĄāļēāļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāļāļēāļāđāļāļĄāļĩāļ āļēāļĒāđāļāđāļŠāļ āļēāļāđāļāļĢāđāļĄāļāļāļāļī āđāļāđāļāļāļāļāļāļāļĄāļąāļāđāļāļĢāļēāļ°āđāļĨāļ°āļāļīāļ§āļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļēāļāļĄāļĩāļāļāļāđāļāļāđ āđāļāđāļāļĢāļāđ āđāļĨāļŦāļ° āđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđ āļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĩāđāļāļāļāļāļēāļ āļāļ§āļĢāļāļđāđāļĨāļ§āļąāļāļāļļāļāļąāđāļāļŦāļĄāļāđāļāļāļāļĩāđāļāļ°āļāļđāđāļāđāļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļĒāđāļēāļāđāļāļĩāļĒāļ§
āļāđāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļģāļāļ§āļāļĄāļēāļ
āļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļīāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļĩāđāđāļĄāđāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļāđāļāļāļēāļāļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļĩāđāļāļļāļāđāļ§āļĒāļ§āļąāļŠāļāļļāļāđāļāļāļāļąāļ āļŦāļĨāļĩāļāđāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļēāļĢāļāļģāļāļ āđāļĨāļ°āđāļāđāļāļāļāļāđāļāļāđāļŦāļĨāļĄāđāļŦāđāļŦāđāļēāļāļāļēāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāđāļāļĨāđāđāļāļĩāļĒāļāđāļĨāļ°āļĄāļ·āļ
āđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļāļĨāļ·āļāļĒ
āļāļąāļāļāļĩāđāļāļāļāļāđāļ§āļĒāļāļļāļāļĄāļ·āļāļŠāļ°āļāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĢāļ·āđāļāļāļĄāļ·āļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄ āļŦāļĨāļĩāļāđāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļēāļĢāļāļ āļāļāļāļāļ āļāđāļāļāļāļąāļāđāļāļĒāđāļĄāđāļĄāļĩāļāļąāļ§āļāļąāđāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāļąāļāļāļļāđāļāļĨāļ°āļāļāļ
āđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļāļĨāļ·āļāļ
āļāļĒāđāļēāļŠāļĄāļĄāļāļīāļ§āđāļēāļāļīāļ§āļŠāļĩāļŠāļąāļāļŠāļāđāļŠāļāļāļāđāļāļāđāļģ āđāļāļĨāļāļāļŪāļāļĨāđ āļāļąāļ§āļāļģāļĨāļ°āļĨāļēāļĒ āļāđāļģāļĒāļēāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļēāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļŦāđāļāđāļāđāļāļēāļāļāļļāđāļĄāļāļ§āđāļēāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļāļĩāļĒāļĢāļāđāļāļĒāļāļ§āđāļēāļāļīāļĨāļīāļāļāļ
āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨ
āđāļŠāđāļāđāļĨāļŦāļ°, āđāļāđāļāļāļąāļāļāļĢāļĩ, āđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđ, āđāļĨāļ°āļ§āļāļāļĢāļĢāļ§āļĄāļāļĢāļĢāļāļļāļāļēāļāļāļąāļāļāļĢāđāļāļāļŦāļĢāļ·āļāļĨāļāļāđāļĒāļ āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāļāļĩāđāļāļģāļāļēāļāļāļēāļāļāđāļāļāļāļēāļĢāļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļēāļĒāļāļĢāļ°āļāļļāđāļāļāđāļēāļŠāļāļīāļāļāđāļ§āļĒāđāļāđāļāļāļąāļ
āļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļļāđāļ
āļāļĒāđāļēāļāļąāļāđāļŦāđāļ, āļāļąāļāļāļĢāļēāļĒ, āđāļāļēāļ°, āļŦāļĢāļ·āļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĒāđāļēāļāđāļĄāđāļĢāļ°āļĄāļąāļāļĢāļ°āļ§āļąāļ āđāļāđāļ§āļīāļāļĩāđāļāļĩāļĒāļāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄāļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāļāļđāļāļāđāļāļāļāļīāđāļāđāļĨāļ°āļāđāļāļāļāļąāļāļāļ§āļāļāļēāđāļĨāļ°āļĢāļ°āļāļāļāļēāļāđāļāļīāļāļŦāļēāļĒāđāļāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄ
āđāļĻāļĐāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĢāļēāļ
āļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāļāļēāļāļĄāļĩāļāļīāļĨāđāļĄāđāļĨāļŦāļ°, āļāļąāļ§āđāļāļīāļĄ, āļāļĢāļēāļāļāļāļāđāļēāļ, āļāļ°āļāļąāđāļ§āļāļąāļāļāļĢāļĩ, āđāļāđāļāđāđāļĢāļāļīāļŠāļāđ, āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāļāļāđāļāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļĄāđāđāļŦāđāļāļāļēāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāđāļēāļāļŦāļāđāļē
| āļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļĩāđāļĒāļ | āļāļĨāļāļĢāļ°āļāļāļāļĩāđāđāļāđāļāđāļāđāļāđ | āđāļāļ§āļāļēāļāļāđāļāļāļāļąāļ |
|---|---|---|
| āđāļĢāļāļāļĢāļ°āđāļāļāļāļāļ | āļāļēāļĢāđāļāļāļŦāļąāļ, āļĢāļāļĒāļĢāđāļēāļ§āļĢāļąāļĻāļĄāļĩ, āļāļēāļĢāļĨāļāļāđāļĒāļ, āđāļĨāļ°āđāļĻāļĐāđāļŦāļĨāļĄāļāļĄ | āđāļāđāļāļēāļāļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļļāļāđāļē, āļāļēāļĢāļāļīāļāļāļąāđāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāļāļ, āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāđāļāđāļĒāļ |
| āļāļēāļĢāđāļāđāļāļāļāļāļāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ | āļāļēāļĢāđāļāļāļŦāļąāļāļāļĒāđāļēāļāļāļ°āļāļąāļāļŦāļąāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļāļāđāļĨāđāļāļāđāļāļĒāļŦāļĢāļ·āļāļāđāļāļāļāļāļĢāđāļāļāļāļāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĒāļđāđāļāđāļāļ | āļĒāļāļāđāļ§āļĒāļāļēāļĢāļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļĩāđāļŠāļĄāđāļģāđāļŠāļĄāļāđāļĨāļ°āļāļĒāđāļēāļāļąāļāļāļąāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļāđāļēāđāļāļāļĩāđāļĒāļķāļāļāļĩāđāđāļāđāļ |
| āļāļļāđāļāļāļąāļāđāļāļē | āļĢāļāļĒāļāļĩāļāļāđāļ§āļāļāļēāļ§āļĢ, āļāļ§āļēāļĄāļĄāļąāļ§, āļāļēāļĢāļŠāļđāļāđāļŠāļĩāļĒāļāļ§āļēāļĄāđāļāļē, āđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒāļāđāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļ | āļāļģāļāļąāļāļāļāļļāļ āļēāļāļŦāļĨāļ§āļĄāļāđāļ§āļĒāļĨāļđāļāļĒāļēāļāļĨāļĄāļŠāļ°āļāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāļ§āļīāļāļĩāđāļĄāđāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāđāļāļāđāļāđāļ |
| āļŠāļēāļĢāļĨāļ°āļĨāļēāļĒāļŦāļĢāļ·āļāļŠāļēāļĢāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļēāļāđāļāļāļĢāļąāļ§āđāļĢāļ·āļāļ | āļāđāļāļāļāļąāļāļāļēāļĢāļāļ§āļĄāļāļāļāđāļĢāļāļīāļ, āļāļēāļĢāļŠāļđāļāđāļŠāļĩāļĒāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ, āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļĢāđāļāļāļāļāļāđāļĨāļŦāļ°, āļāļĢāļēāļāļāļāļāđāļēāļ, āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļŠāļĩāđāļāļĢāļāļŠāļāļ | āđāļĄāđāđāļāđāļŠāļēāļĢāđāļāļĄāļĩāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļēāļāļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļĨāļāđāļāļāļāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨ |
| āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļī | āļāļēāļĢāđāļāļāļĢāđāļēāļ§āļāļēāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāļĢāļĩāļĒāļ, āļāļēāļĢāļĨāļāļāļāļāļāļāļīāļĨāđāļĄ, āđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļĨāđāļĄāđāļŦāļĨāļ§āļāļāļāļāļēāļĢāļāļģāđāļĨāļŦāļ° | āļŦāļĨāļĩāļāđāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļ§āđāļ, āđāļāļāđāļģ, āđāļāđāļāļĢāđāļāļ, āđāļāļĄāđāļāđāļĢāļ, āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļāļĒāđāļēāļāļĢāļ§āļāđāļĢāđāļ§ |
| āļāļēāļĢāļāļēāļĒāļāļĢāļ°āļāļļāđāļāļāđāļēāļŠāļāļīāļ | āļāļ§āļēāļĄāđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒāļāđāļāļ§āļāļāļĢāļāļĩāđāļāļģāļāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāļāļēāļāļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ | āđāļāđāļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļāđāļāļāđāļēāļŠāļāļīāļāđāļĄāļ·āđāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļĒāļąāļāļāļāļāļģāļāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđāđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļ |
| āļāļēāļĢāļāļąāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĩāļĒāļĢāđāļāļāđāļŦāđāļ | āļāļāļļāļ āļēāļāļĨāļāļĒāļāļąāļ§āļāļĄāđāļĨāļ°āļāļāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāļāļĩāđāļāļēāļāļāļīāļāđāļāđāļāđ | āđāļāđāļāļēāļĢāļāļ§āļāļāļļāļĄāļāļļāđāļāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄāļāļēāļĄāļ§āļīāļāļēāļāļĩāļāđāļĨāļ°āļŦāļĨāļĩāļāđāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨāđāļĻāļĐāđāļāļĨāļ·āļāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĢāļēāļ |
| āļāļēāļĢāļāļīāļāļāļąāđāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļĄāļąāđāļāļāļ | āļāļēāļĢāļĨāļ·āđāļāđāļāļĨāļāļāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ, āđāļĢāļāļāļāļāļāļ, āļāļēāļĢāđāļāļāļŦāļąāļ, āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļĩāļāļāđāļ§āļāļāļąāļāļāļĨāļīāļāđāļāđāļ | āđāļāđāļāļēāļāļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļĩāđāļāļ§āđāļēāļāđāļĨāļ°āđāļĄāđāļāļāļāļļāļ |
āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļķāļāđāļĨāļ°āļāļģāļāļāļīāļāļēāļĒāļāļĩāđāļĢāļąāļāļāļīāļāļāļāļ
āļāļąāļāļāļķāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāļāļąāļāđāļāļāđāļĒāļāļāļāļāđāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļēāļāļļ, āļāļąāđāļāļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ, āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĨāļķāļ, āļĢāļđāļāđāļāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ, āļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļĄāļ§āļĨāļāļĨ, āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ, āļŠāļāļēāļāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđ, āđāļŦāļĨāđāļāļāļģāđāļāļīāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļī, āđāļĨāļ°āļŠāļ āļēāļ âāļāļĨāļķāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļâ āđāļāļĩāļĒāļāļāļĒāđāļēāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļēāļāļāđāļāļāļāđāļāļĄāļđāļĨāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāļāļĩāđāļāļģāđāļŦāđāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŦāļĄāļēāļĒ
āļāļąāļ§āļāļāļāļāļāļ§āļąāļŠāļāļļ
āļāļąāļāļāļķāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāļļ, āđāļāļāļĢāđāđāļĢāļāļīāļĨāļīāļāļāļ, āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđ, āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĨāļ·āļāļ, āđāļāđāļ§āļĢāļāļāļĢāļąāļ, āđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ, āļŦāļĢāļ·āļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļ·āđāļāļāļĩāđāđāļāđāļĢāļąāļāļāļēāļĢāļĒāļ·āļāļĒāļąāļ
āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāļāļĨāļķāļ
āļāļąāļāļāļķāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§, āļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāđāļ, āļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāļāļĨāļķāļ, āđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāļĢāđāļēāļāļāļĨāļķāļ, āļĄāļĩāļĢāļđāļāļĢāļļāļ, āļĢāļđāļāļĢāđāļēāļāļāļīāđāļāļāđāļēāļ, āļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĢāļēāļ
āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļĨāļąāđāļ
āļāļąāļāļāļķāļāļāļēāļĢāļāļĨāļļāļāļāļēāļāđāļĨāļŦāļ°āļ§āļīāļāļĒāļē, āļāļēāļĢāļŠāļ°āļŠāļĄāđāļāļ Siemens, āđāļĄāđāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļĨāļđāļāļīāđāļāļāđ, āļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāđāļāļ Czochralski, āļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļāđāļāļāđāļāļāļĨāļāļĒ, āļāļēāļĢāļŦāļĨāđāļ, āļŦāļĢāļ·āļāļāļēāļĢāļŠāļ°āļŠāļĄāļāļīāļĨāđāļĄāđāļĄāļ·āđāļāļāļĢāļēāļ
āļāđāļāļāļģāļŦāļāļāļāļēāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ
āļĢāļąāļāļĐāļēāļāļīāļĻāļāļēāļ, āļāļąāļ§āđāļāļīāļĄ, āļāļĢāļ°āđāļ āļāļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāđāļē, āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļ, āđāļŠāđāļāļāđāļēāļāļĻāļđāļāļĒāđāļāļĨāļēāļ, āļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļē, āļāļ§āļēāļĄāđāļĢāļĩāļĒāļ, āļāļąāđāļāļāļāļāļāļīāđāļāļ, āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāļļāļāļāļĢāļāđ
āļāļāļāļāđāļāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§
āļāļāļīāļāļēāļĒāļŠāļ āļēāļāđāļāļĨāļ·āļāļĒ, āļāļāļāđāļāļāđ, āđāļāđāļāļĢāļāđ, āđāļāļĨāļ·āļāļāđāļĨāļŦāļ°, āđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāđāļāđāđāļĢāļāļīāļŠāļāđ, āļāđāļēāļāļāļēāļĢāļāđāļāļāļāļąāļ, āļĄāļĩāļĨāļ§āļāļĨāļēāļĒ, āļāļąāļāļāļĢāđāļāļ āļŦāļĢāļ·āļāļāļĢāļĢāļāļļāļ āļąāļāļāđ
āđāļŦāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļēāđāļĨāļ°āļŠāļ āļēāļ
āđāļāđāļāļāđāļāļĄāļđāļĨāļāļđāđāļāļĨāļīāļ, āļŠāļāļēāļāļąāļ, āđāļāļĢāļāļāļēāļĢ, āļ§āļąāļāļāļĩāđ, āļāļĢāļĢāļāļļāļ āļąāļāļāđ, āļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāđāļāļāļŦāļāđāļē, āļāļīāļāļāļāļ, āļĢāļāļĒāļāļĩāļāļāđāļ§āļ, āļāļēāļĢāļāļāđāļāļ·āđāļāļ, āļāļēāļĢāļāđāļāļĄāđāļāļĄ āđāļĨāļ°āļ āļēāļāļāđāļēāļĒ
āļŠāļąāļāļĨāļąāļāļĐāļāđāļĢāđāļ§āļĄāļŠāļĄāļąāļĒāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļŦāļĄāļēāļĒāđāļāļīāļāļŠāļ°āļāđāļāļ
āļāļēāļĢāļāđāļēāļāļŠāļąāļāļĨāļąāļāļĐāļāđāļŠāļĄāļąāļĒāđāļŦāļĄāđāļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļķāļāđāļāļĒāļāļĢāļāļāļēāļāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĢāļīāļāļāļāļāļĄāļąāļ: āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļŠāļĩāđāđāļāđāļē, āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđ, āļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāļāđāļĨāļ·āļāļ, āļāļīāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāđāļāļāļāļąāđāļ, āļāļēāļĢāļāļąāļāļĢāļđāļāđāļāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļĢāđāļāļēāļāļļāļāļĩāđāļāļļāļāļĄāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāđāļŦāđāđāļāđāļāđāļāļĨāļāļāļāļĢāđāļĄāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģ āļāļĩāļĄāđāļŦāļĨāđāļēāļāļĩāđāđāļāđāļāļāļēāļĢāļŠāļ°āļāđāļāļāļĢāđāļ§āļĄāļŠāļĄāļąāļĒāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļēāļĢāļāđāļēāļāļŠāļīāļāļāļīāđāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāļąāļāļāļĢāļ°āđāļāļāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĢāļēāļ
āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāđāļāļāļāļ§āļēāļĄāļāļąāļāļāđāļāļ
āļĢāļ°āļāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāļāļāļēāļāđāļŦāļāđāđāļĢāļīāđāļĄāļāđāļāļāđāļ§āļĒāļāļ§āļēāļĄāļŠāļąāļĄāļāļąāļāļāđāļāđāļāļāļāļīāđāļāļāđāļģāđ: āļāļ°āļāļāļĄāđāļāđāļĨāļ°āļāļąāļ§āđāļāļ·āđāļāļĄāļāđāļāļāļĒāđāļēāļāļāļēāļāđāļāļēāđāļāđāļāļąāļāđāļāļ·āđāļāļāļāđāļēāļāļŠāļĩāđāļāļąāļ§
āļāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļĨāđāļāļāđāļāļĒ āļāļĨāļāļĢāļ°āļāļāđāļŦāļāđ
āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļĄāļāđāļāļāļāļāļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļāđāļĨāđāļāļāđāļāļĒāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļ§āļēāļĄāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāđāļŦāļĨāļēāļĒāđāļāđāļē āļāđāļāļāļĩāđāļ§āđāļēāļŠāļēāļĢāļāļīāļāļāļļāļāļāļĩāđāđāļĨāļ·āļāļāļāļĒāđāļēāļāļĢāļ°āļĄāļąāļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļŠāļģāļāļąāļāļāļ§āđāļēāļāļ§āļēāļĄāļāļļāļāļĄāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāļāļĩāđāđāļĄāđāđāļĨāļ·āļāļāļŠāļĢāļĢ
āļāļīāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļąāļāļāđāļāļąāļ
āļāļāļāđāļāļāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļąāļāļāļąāđāļāļāļāļ§āļāđāļĄāđāđāļāđāđāļāđāļāļēāļĢāđāļāđāļāđāļĒāļ āđāļāđāđāļāđāļāļāļĩāđāļāļĩāđāļāđāļāļāļāļēāļāđāļĨāļ°āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāđāļāđāļāđ
āļāļēāļĢāļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāđāļāļāļēāļāļ°āļāļēāļĢāđāļĨāļ·āļāļ
āļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāļēāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāđāļāļīāļāļāļķāđāļāļāļēāļāļāļēāļĢāđāļĒāļāđāļĨāļ°āļ§āļąāļāļāđāļģāđ āļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļēāļĢāļĨāļāļāļĒāđāļēāļāļĢāļļāļāđāļĢāļāļāļĢāļąāđāļāđāļāļĩāļĒāļ§
āļāđāļāļāļģāļāļąāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāđāļāļ
āļ§āļāļāļĢāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāđāļĄāđāđāļāđāđāļāđāļāļāļąāļ§āļāļģāđāļāļāđāļēāļāļļāļāļāļĩāđ āđāļāđāļĄāļļāđāļāđāļāđāļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āđāļāļāđāļŦāļ§āļāđāļēāļāļāļ·āđāļāļāļĩāđ, āļāļļāļāļŠāļĢāļĢāļ āđāļĨāļ°āļāļļāļāđāļāļ·āđāļāļĄāļāđāļāļāļĩāđāļāļąāđāļāđāļāđāļ§āđ
āļāļ·āđāļāļāļīāļ§āđāļĨāļ°āļ āļēāļĒāđāļ
āļŠāļĩāļāļāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļēāļāđāļāđāļāļāļāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļĩāđāļŦāļāļēāđāļāļĩāļĒāļāļāļēāđāļāđāļĄāļāļĢāđāļāļĩāļĒāļ§ āđāļāļ·āļāļāđāļŦāđāđāļĢāļēāļĢāļđāđāļ§āđāļēāļāļēāļĢāļāļģāđāļŠāļāļāđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļ·āđāļāļāļēāļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāđāļāļāđāļāđāđāļĄāđāđāļŦāļĄāļ·āļāļāļāļąāļ
āļāļēāļĢāļāļāļāļ§āļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ-āļĄāļđāļ
- āđāļĨāļ·āļāļāļĢāļ°āļāļāļŦāļāļķāđāļāļĢāļ°āļāļāļāļĩāđāļĢāļđāđāļŠāļķāļāļāļąāļāļāđāļāļāđāļāļĢāļēāļ°āļāļļāļāļŠāđāļ§āļāļāļđāļāļāļāļīāļāļąāļāļīāļ§āđāļēāđāļāđāļāļāļąāļ§āļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāđāļēāđāļāļĩāļĒāļĄāļāļąāļ
- āļĢāļ°āļāļļāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļĻāļđāļāļĒāđāļāļĨāļēāļāļāļĩāđāļāđāļāļāļāļāļāļ§āļēāļĄāļĄāļąāđāļāļāļ
- āļāļąāđāļāļāļ·āđāļāļāļīāļāļāļļāļāļŦāļāļķāđāļāļĢāļēāļĒāļāļēāļĢāļāļĩāđāļāļ°āđāļāļīāđāļĄ, āļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļāļŦāļāļķāđāļāļāļĒāđāļēāļāļāļĩāđāļāļ°āļĨāļāļāļāļ āđāļĨāļ°āļāļāļāđāļāļāļŦāļāļķāđāļāļāļāļāđāļāļāļāļĩāđāļāļ°āđāļŠāļĢāļīāļĄāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļĢāļ
- āļāļģāļŦāļāļāļ§āđāļēāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āđāļāļāđāļŦāļ§āļāļ§āļĢāđāļāđāļāđāļĢāļ·āđāļāļāļāđāļēāļĒāļāļĩāđāđāļāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāļĄāļĩāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļāļĩāđāđāļ
- āđāļĨāļ·āļāļāļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļģāļāļĩāđāļ§āļąāļāđāļāđāļŦāļāļķāđāļāļāļĒāđāļēāļāļāļĩāđāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāļĢāļ°āļāļāđāļāļĒāđāļĄāđāļāđāļāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļŦāļĄāđāļāļąāđāļāļŦāļĄāļ
- āļāļāļāļ§āļāļāļĨāļĨāļąāļāļāđāļŦāļĨāļąāļāļāļēāļāļĢāļāļāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāļŦāļāļķāđāļāļĢāļāļāđāļĨāļ°āļāļĢāļąāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļąāļ§āđāļāļĢāđāļāļĩāļĒāļ§āđāļāđāļāđāļĨāļ°āļāļĢāļąāđāļ
āļāļģāđāļāļīāļāļāļēāļĢāļāđāļāđāļāļĒāļąāļāļāļđāđāļĄāļ·āļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļēāļ°āļāļēāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļŠāļģāļĢāļ§āļāđāļāđāļāđāļēāļāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāđāļĨāļāļĢāļēāļāļĩāļāļāļāļāļēāļāļļ, āļāļāļāļāļīāļāļāļāļāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđ, āļāļĢāļāļĩāļ§āļīāļāļĒāļē, āļāļēāļĢāļāļĨāļąāđāļāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄ, āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļĨāļĩāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāđāļĨāļāđ, āļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļĻāļēāļŠāļāļĢāđāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩ, āļŠāļąāļāļĨāļąāļāļĐāļāđāļŠāļĄāļąāļĒāđāļŦāļĄāđ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļŠāļ°āļāđāļāļāļāļāļīāļāļąāļāļī
āļāļģāļāļēāļĄāļāļĩāđāļāļāļāđāļāļĒ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļāđāļĨāļŦāļ°āļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĒāļāļąāđāļ§āđāļāļāļąāļāđāļāđāļāđāļĨāļŦāļ°āļāļķāđāļāļāļąāļ§āļāļģ āļĄāļĩāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļđāđāļŦāļĄāļ·āļāļāđāļĨāļŦāļ°āđāļāđāđāļāđāļāļŠāļēāļĢāļāļķāđāļāļāļąāļ§āļāļģāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļąāļāļāļ°āđāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđ āļāļķāđāļāļāļēāļĢāļāļģāđāļāļāđāļēāļāļķāđāļāļāļĒāļđāđāļāļąāļāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāđāļĨāļ°āļŠāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāđāļāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāđāļĨāļŦāļ°āļāļąāđāļ§āđāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļŦāļĄāļ·āļāļāļāļąāļāļāļīāļĨāļīāļāļēāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āđāļĄāđāđāļāđ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļ·āļāļāļēāļāļļ Si āļāļīāļĨāļīāļāļēāļāļ·āļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļāļāđāļāļāđ SiOâ āļĢāļ§āļĄāļāļķāļāļāļ§āļāļāļāđ āļāļĢāļīāļŠāđāļāļāļēāļĨāļīāļ āļāļĢāļīāđāļāđāļĄāļāđ āđāļāļāļāļĨ āđāļāđāļ§āļāļīāļĨāļīāļāļē āđāļĨāļ°āļĢāļđāļāđāļāļāđāļĢāļāļāļąāļāļŠāļđāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļŦāļĄāļ·āļāļāļāļąāļāļāļīāļĨāļīāđāļāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āđāļĄāđāđāļāđ āļāļīāļĨāļīāđāļāļāđāļāđāļāļāļĢāļāļāļāļĢāļąāļ§āļāļāļāđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđāļŠāļąāļāđāļāļĢāļēāļ°āļŦāđāļāļĩāđāļĄāļĩāđāļāļĢāļāļāļĢāļ°āļāļđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļâāļāļāļāļāļīāđāļāļāļŠāļĨāļąāļāļāļąāļāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāļĨāļļāđāļĄāļāļīāļāļāļĢāļĩāļĒāđāļāđāļēāļāđāļāļĩāļĒāļ āļĒāļēāļāļāļīāļĨāļīāđāļāļ āļāđāļģāļĄāļąāļ āđāļĢāļāļīāļ āđāļĨāļ°āļāļĩāđāļĨāļāļāđāđāļĄāđāđāļāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāļļ
āļāļģāđāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļāļķāļāļŦāļēāļĒāļēāļāļĄāļēāļ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļąāļāļāļąāļ§āļāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāđāļāđāļāļĒāđāļēāļāđāļāđāļāđāļĢāļāđāļĨāļ°āđāļāđāļēāļŠāļđāđāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļēāđāļĨāļ°āļāļīāļĨāļīāđāļāļāđāļāđāļāđāļēāļĒ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāļļāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļāđāļāļāļāļēāļĢāļŠāļ āļēāļ§āļ°āļāļĩāđāļĨāļāļĨāļāļāļĒāđāļēāļāļāļīāļāļāļāļāļīāđāļĨāļ°āļĄāļąāļāļĄāļĩāļāļāļēāļāđāļĨāđāļāļĄāļēāļ
āļāļģāđāļĄāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļķāļāļāļđāđāļāđāļāļŠāļĩāļāđāļģāđāļāļīāļāļŦāļĢāļ·āļāļāļ°āļ§āļąāļāļāļāļāļĄāđāļ§āļ?
āļŠāļĩāļĄāļąāļāđāļāļīāļāļāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļĢāļāđāļāļāđāļāļāļąāđāļāļāļēāļāļāļāļāļāļāļāđāļāļāđ āđāļāđāļāļĢāļāđ āđāļāđāļāļĢāļĩāļāļīāļŠāļāđ āļŦāļĢāļ·āļāļāļīāļĨāđāļĄāļŦāļĨāļēāļĒāļāļąāđāļ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĨāļ·āļāļĒāđāļāļāļāļ°āļĄāļĩāļŠāļĩāđāļāļēāđāļāđāļĄāļāļāđāļāļ·āļāļāļāļģāđāļĄāļ·āđāļāļāļąāļāđāļāļē
āļāļģāđāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļķāļāļāļđāļāđāļāđāđāļāļāļīāļāļāļāļĄāļāļīāļ§āđāļāļāļĢāđ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļĢāļ§āļĄāļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļāđāļāļāļ§āđāļēāļāļāļĨāļąāļāļāļēāļāļāļĩāđāđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļĄ āļāļāļāđāļāļāđāļāļ·āđāļāđāļĄāļ·āļāļāđāļĨāļ°āļāļāļāđāļāļāđāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāļāļļāļāļ āļēāļāļŠāļđāļ āļāļēāļĢāļāļīāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāļĒāļāļāđāļĒāļĩāđāļĒāļĄ āļāļēāļĢāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāļāļĩāđāđāļāļĩāļĒāļāļāļ āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāđāļĢāļāļāļēāļāļāļĨ āļ§āļąāļāļāļļāļāļīāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļĄāļēāļ āļāļēāļĢāļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāļĩāđāļāļąāļāļāļēāđāļĨāđāļ§ āđāļĨāļ°āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāļāļĨāļīāļāļāļĩāđāļāđāļēāļ§āļŦāļāđāļēāļāļĒāđāļēāļāļŠāļđāļ
āļāļ§āļēāļĄāđāļāļāļāđāļēāļāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļīāļ p āļāļąāļāļāļāļīāļ n āļāļ·āļāļāļ°āđāļĢ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļīāļ p āļĄāļĩāļāļąāļ§āđāļāļīāļĄāđāļāļāđāļāļāļĢāļąāļāļāļĩāđāļāļģāđāļŦāđāļĢāļđāđāļāđāļāļāļēāļŦāļ°āļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļāļīāļ n āļĄāļĩāļāļąāļ§āđāļāļīāļĄāđāļāļāđāļāļāđāļŦāđāļāļĩāđāļāļģāđāļŦāđāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāđāļāđāļāļāļēāļŦāļ°āļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđ
āļĢāļđāļāļ·āļāļāļ°āđāļĢ?
āļĢāļđāļāļ·āļāļāļēāļŦāļ°āļāļ§āļāļāļĩāđāđāļāļīāļāļāļēāļāļŠāļāļēāļāļ°āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļāļĩāđāļāļēāļāļŦāļēāļĒāđāļāđāļāđāļāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđ āļĄāļąāļāļāļģāļāļēāļāđāļŦāļĄāļ·āļāļāļāļąāļāļāļĢāļ°āļāļļāļāļ§āļāļāļĩāđāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļĨāļķāļ
āđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļ·āļāļāļ°āđāļĢ?
āđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļ·āļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāđāļ āļĄāļąāļāļāļđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāđāļāđāļāđāļ āļāđāļāļ āļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđāļāđāļĨāđāļāđ āđāļĨāļ°āļāđāļāļĄāļēāļŦāļĨāļāļĄāđāļāļ·āđāļāļāļĨāļīāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĨāļĨāđāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđ
āļāļ§āļēāļĄāđāļāļāļāđāļēāļāļĢāļ°āļŦāļ§āđāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāđāļāļāļąāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāļ·āļāļāļ°āđāļĢ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļĢāļąāļāļĐāļēāļāļīāļĻāļāļēāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāļĒāļ§āļāļĨāļāļāļāļĢāļīāļĄāļēāļāļĢāļāļĩāđāđāļāđāļāļēāļāđāļāđ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāđāļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāđāļ§āļĒāđāļĄāđāļāļāļĨāļķāļāļŦāļĨāļēāļĒāđāļĄāđāļāļāļĩāđāđāļĒāļāļāđāļ§āļĒāļāļāļāđāļāļāļāļķāđāļāļŠāđāļāļāļĨāļāđāļāļāļēāļĢāđāļāļ āļāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļēāļĒāļŠāļīāđāļāđāļāļ·āļāļāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļāļāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāđāļāļāļāļĨāļķāļāļāļ·āļāļāļ°āđāļĢ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāđāļĄāđāļĄāļĩāļĢāļđāļāđāļāļāļāļĨāļķāļāļĢāļ°āļĒāļ°āļĒāļēāļ§āļĄāļąāļāļāļđāļāđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāđāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļ āđāļāļĒāļāļąāđāļ§āđāļāļāļ°āđāļāļīāļĄāđāļŪāđāļāļĢāđāļāļāđāļāļ·āđāļāļāļīāļāļāļąāļāļāļ°āļāļĩāđāđāļĄāđāļŠāļĄāļāļđāļĢāļāđāđāļĨāļ°āļāļĢāļąāļāļāļĢāļļāļāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļ Czochralski āļāļ·āļāļāļ°āđāļĢ?
āđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāļĩāđāđāļāļīāļāđāļāđāļāļĒāļāļēāļĢāļāļķāļāđāļĨāļ°āļŦāļĄāļļāļāđāļĄāļĨāđāļāļāļąāļāļāļļāđāļāļĒāđāļēāļāļāđāļēāđ āļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļŦāļĨāļāļĄāđāļŦāļĨāļ§āļāļĩāđāļāļĒāļđāđāđāļāļ āļēāļāļāļ°āļāļīāļĨāļīāļāļē āđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļāļĄāļīāļāļāļāļāļąāļāđāļāļāļĢāđāļāļāļēāļāđāļŦāļāđāļŠāđāļ§āļāđāļŦāļāđāļāļĩāđāđāļāđāļāļąāļāļāļąāđāļ§āđāļāļĄāļēāļāļēāļāļ§āļīāļāļĩāļāļĩāđ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāđāļāļĨāļāđāļāļāļāļ·āļāļāļ°āđāļĢ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāđāļāļĨāļāđāļāļāļāļđāļāļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāđāļĨāļ°āļāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĒāļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļĒāđāļēāļĒāļāļĢāļīāđāļ§āļāļŦāļĨāļāļĄāđāļŦāļĨāļ§āđāļāļāđ āđāļāļāļēāļĄāđāļāđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļĒāđāļĄāđāļĄāļĩāļ āļēāļāļāļ° āļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļĨāļāļāļĢāļīāļĄāļēāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāđāļŦāđāļāđāļāļĒāļĄāļēāļāđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāļŠāļđāļ
āļāļģāđāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļķāļāļāļķāļāđāļŠāļāđāļāđāļŠāļāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļŦāđāļāđāļāđāļĄāļĩāļāļĢāļ°āđāļĒāļāļāđāļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļāļāļāļīāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļ?
āđāļāļāļāļāļāļĩāđāļĄāļāļāđāļŦāđāļāđāļāđāđāļāļĒāļāļąāđāļ§āđāļāļĄāļĩāļāļĨāļąāļāļāļēāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļāļāļĩāđāļāļ°āļāļđāļāļāļđāļāļāļķāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāđāļāļĨāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āđāļāļāļāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĨāļąāļāļāļēāļāļāđāļģāļāļ§āđāļēāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāđāļēāļāļ§āļąāļŠāļāļļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāđāļāļĩāļĒāļāļāļāđāļāļāđāļ§āļāļāļ§āļēāļĄāļĒāļēāļ§āļāļĨāļ·āđāļāļāļĩāđāļāļķāđāļāļāļĒāļđāđāļāļąāļāļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāļĒāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāđāđāļāļĩāļĒāļāđāļĨāđāļāļāđāļāļĒāļāļĩāđāļāļļāļāļŦāļ āļđāļĄāļīāļŦāđāļāļāđāļĄāļ·āđāļāđāļāļĩāļĒāļāļāļąāļāđāļĨāļŦāļ° āļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ āđāļŠāļ āļāđāļāļāļāļāļĢāđāļāļ āđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļāļāļāļĒāđāļēāļāļāļąāđāļāđāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļīāđāļĄāļāļ§āļēāļĄāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāđāļāļĒāđāļēāļāļĄāļēāļ
āļāļģāđāļĄāļāļ§āļēāļĄāļāļģāđāļāļāđāļēāļāļķāļāđāļāļīāđāļĄāļāļķāđāļāđāļĄāļ·āđāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļđāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļ?
āļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāļāļĢāļ°āļāļļāđāļāđāļŦāđāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļāđāļēāļĄāļāđāļāļāļ§āđāļēāļāđāļāļāļāļĨāļąāļāļāļēāļāļĄāļēāļāļāļķāđāļ āļŠāļĢāđāļēāļāļāļđāđāļĢāļđ-āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāđāļāļīāđāļĄāđāļāļīāļĄ āļāļģāļāļ§āļāļāļąāļ§āļāļēāļŦāļ°āļāļĩāđāđāļāļīāđāļĄāļāļķāđāļāļāļēāļāļĄāļēāļāļāļ§āđāļēāļāļēāļĢāļĨāļāļĨāļāļāļāļāļāļ§āļēāļĄāđāļāļĨāļ·āđāļāļāļāļĩāđāļāļĩāđāđāļāļīāļāļāļēāļāļāļēāļĢāļŠāļąāđāļāļāļāļāđāļāļĢāļāļāļĨāļķāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļĩāļāļāđāļ§āļāđāļāđāļ§āđāļāđāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāļāļĄāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļĩāļāļāđāļ§āļāđāļāđāļ§āļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļŦāļĨāļēāļĒāļāļāļīāļāđāļāđāđāļāļĢāļēāļ°āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāļāļĢāļ°āļĄāļēāļ Mohs 6.5â7 āļāļēāļĢāļāļāļŠāļāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāđāļŠāļĢāđāļāđāļĨāđāļ§āļŦāļĢāļ·āļāļāļīāđāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĩāđāļĄāļĩāđāļāļāļŠāļēāļĢāđāļĄāđāļāļģāđāļāđāļāđāļĨāļ°āļāļģāđāļŦāđāđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒāļāļēāļ§āļĢ
āļāļģāđāļĄāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļķāļāđāļāļāļāđāļēāļĒāđāļĄāđāļ§āđāļēāļāļ°āļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļ?
āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļāļ§āļąāļāļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāļāđāļāļāļēāļĢāļāļĩāļāļāđāļ§āļ āđāļĄāđāđāļāđāļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāļāđāļāļāļēāļĢāđāļāļ āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļĄāļĩāđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļąāļāļāļ°āđāļāļ§āļēāđāļĨāļāļāđāļāļĩāđāļĄāļĩāļāļīāļĻāļāļēāļāđāļāđāļāđāļāđāđāļāļĢāļēāļ° āđāļĨāļ°āđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļēāļāļĄāļĩāļāļ§āļēāļĄāđāļ§āļāđāļāļāđāļāļāļāļāļĢāđāļāļāļāļĩāđāļāļāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāđāļāļāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļēāļāļāđāļ§āļĒāļāđāļģāđāļāđāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāđāļāļāđāļāļĨāļ·āļāļĒāļāļāļāđāļāļāđāļģāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļŠāļąāđāļāđ āđāļāđ āđāļāđāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļĢāļĢāļđāļāļāļēāļāļĄāļĩāļāļīāļĨāđāļĄ āđāļĨāļŦāļ° āđāļāļĨāļīāđāļĄāļāļĢāđ āļŦāļĢāļ·āļāļŠāļēāļĢāļāļāļāđāļēāļāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļ āļāļēāļĢāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļŠāļ°āļāļēāļāđāļāļāđāļŦāđāļāđāļāļĒāđāļĄāđāļŠāļąāļĄāļāļąāļŠāļāļķāļāđāļāđāļāļ§āļīāļāļĩāļāļĩāđāļāļĨāļāļāļ āļąāļĒāļāļ§āđāļēāđāļĄāļ·āđāļāđāļĄāđāļāļĢāļēāļāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļāļāļĩāđāļāđāļēāļāļāļēāļĢāđāļāļĢāļĢāļđāļ
āļāļąāļāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļąāļāļāļīāļ§āđāļ§āđāļāļāļĢāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļĩāđāđāļāļāđāļāđāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļīāļ§āļāļ°āļĨāļāļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāļĄāļĩāļāļĒāļđāđāđāļĨāļ°āļāļēāļāļāļģāļĨāļēāļĒāļŠāļĩāļāļāļāļāļāļāđāļāļāđ āļāļąāđāļāļāļļāļāļāļĢāļāđ āđāļŦāļĨāđāļāļāļĩāđāļĄāļē āđāļĨāļ°āļĢāļđāļāļāļĢāļāļāļāļ āļāļāļāļāļēāļāļāļĩāđāļĒāļąāļāļŠāļĢāđāļēāļāļāļļāđāļāļĨāļ°āđāļāļĩāļĒāļāđāļĨāļ°āđāļĄāđāļāļ§āļĢāļāļģāļāļĒāđāļēāļāđāļĄāđāļĢāļ°āļĄāļąāļāļĢāļ°āļ§āļąāļ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđāđāļāđāļāļĢāļđāļāđāļāļāļŦāļāļķāđāļāļāļāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļĢāđāđāļāļāđāļĄāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āđāļāđāđāļāđāļāļŠāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļĩāđāđāļāļāļāđāļēāļāđāļāļĒāļĄāļĩāļŠāļđāļāļĢ SiC āđāļāđāļāļāļ§āđāļē āļŦāļāļēāđāļāđāļāļāļ§āđāļē āļāļāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāđāļāđāļāļĩāļāļ§āđāļē āđāļĨāļ°āļĄāļĩāļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļāļēāļāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđāđāļāļāļāđāļēāļāļāļēāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļēāļāļļ
āļĢāļāļĒāļāļēāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāļŦāļĄāļēāļĒāļāļ§āļēāļĄāļ§āđāļēāļāļĒāđāļēāļāđāļĢ?
āļĢāļāļĒāļāļēāļāđāļāđāļāļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļāļĩāđāļāļĨāļīāļāļāļķāđāļāđāļāļ·āđāļāļāļģāļŦāļāļāļāļīāļĻāļāļēāļāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāļāļąāļāļāļēāļĢ āļāđāļ§āļĒāđāļŦāđāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļąāļāđāļāļĄāļąāļāļīāļāļąāļāļāļģāđāļŦāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđāđāļĨāļ°āļĢāļ°āļāļļāļāļīāļĻāļāļēāļāļāđāļēāļāļāļīāļāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāđāļĨāļāļĢāļēāļāļĩ
āļŠāļĩāļāļāļāļāļāļāđāļāļāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļāļāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāļāļāļāļāļīāļĨāđāļĄāđāļāđāđāļĄāđāļāļĒāļģāļŦāļĢāļ·āļāđāļĄāđ?
āļŠāļĩāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāđāļāļāļĩāđāļāļĢāđāļēāļ§āđ āļ āļēāļĒāđāļāđāđāļŠāļāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđ āđāļāđāļāļ§āļēāļĄāļŦāļāļēāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģāļāđāļāļāđāļāđāļāļēāļĢāļ§āļąāļāđāļŠāļāļāļĩāđāļŠāļāļāđāļāļĩāļĒāļāđāļāļĢāļēāļ°āļŠāļĩāļāļķāđāļāļāļĒāļđāđāļāļąāļāļĄāļļāļĄ āļāļ·āđāļāļĢāļāļāļĢāļąāļ āļāļąāļāļāļĩāļŦāļąāļāđāļŦāđāļŠāļ āđāļĨāļ°āļāļąāđāļāđāļāļīāđāļĄāđāļāļīāļĄāļāđāļ§āļĒ
āļāļ§āļĢāļĄāļĩāļāļ°āđāļĢāļāļāļāđāļēāļĒāļāļąāļ§āļāļĒāđāļēāļ?
āļāļąāļāļāļķāļāļāļąāļ§āļāļāļāļāļāļāļēāļāļļ āļāļ§āļēāļĄāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĢāļ āļĢāļđāļāđāļāļāļāļĨāļķāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļŦāļĢāļ·āļāđāļāļĨāļĩāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāđāļĨāļāđ āļ§āļīāļāļĩāļāļēāļĢāđāļāļĢāļīāļāđāļāļīāļāđāļ āļāļīāļĻāļāļēāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ āļāļąāļ§āđāļāļāļāļīāđāļāđāļĨāļ°āļāļ§āļēāļĄāļāđāļēāļāļāļēāļāđāļāļāđāļēāļŦāļēāļāļāļĢāļēāļ āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļ āļāļđāđāļāļĨāļīāļ āļ§āļąāļāļāļĩāđ āļāļēāļĢāđāļāđāļāļēāļāļāđāļāļāļŦāļāđāļē āđāļĨāļ°āļŠāļ āļēāļ
āļāļēāļĢāļŠāļ°āļāđāļāļāļāļąāđāļāļŠāļļāļāļāđāļēāļĒ
āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļĢāļīāđāļĄāļāđāļāļāđāļ§āļĒāļāļāļāđāļāļāļāļīāđāļāļāđāļēāļĒāđ: āđāļāđāļĨāļ°āļāļ°āļāļāļĄāļŠāļĢāđāļēāļāļāļąāļāļāļ°āļŠāļĩāđāļāļīāļĻāļāļēāļ āļāļāļāļĩāđāļāđāļģāđāļāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļĢāļāļāļēāļāđāļēāļĒāļāļĩāđāđāļāđāļāļāļāļāļ°āļĢāļāļāļĢāļąāļāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļĩāđāđāļĄāđāļāļĒāļģāđāļāđāđāļāļĢāļēāļ°āļāļāļāļĩāđāļāļ°āļŦāļąāļāļāļēāļāļāļāļāļāļĩāđāđāļŠāļĩāļĒāļŦāļēāļĒ āļāļąāļāļāļ°āđāļāļĩāļĒāļ§āļāļąāļāļāļĩāđāļŠāļĢāđāļēāļāļāđāļāļāļ§āđāļēāļāđāļāļāļāļĨāļąāļāļāļēāļāđāļāļāļāđāļāļĄ āļāļēāļĢāļāļģāļāļ§āļēāļĄāļĢāđāļāļāļāļēāļāļāļĨāļēāļ āļāļąāļāļāļĩāļŦāļąāļāđāļŦāđāļŠāļāļāļīāļāļāļĢāļēāđāļĢāļāļŠāļđāļ āđāļĨāļ°āļāļ·āđāļāļāļīāļ§āļāļĩāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļēāļāļāļāđāļāļāđāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđāļāļĒāđāļēāļāļĒāļāļāđāļĒāļĩāđāļĒāļĄ
āđāļāļāļĢāļāļĩāļ§āļīāļāļĒāļē āļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāļāļāļ°āđāļĄāđāļĒāļ·āļāļāļĒāļđāđāđāļāļāđāļāļĩāđāļĒāļ§ āļĄāļąāļāļāļąāļāļāļąāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāđāļāļ·āđāļāļŠāļĢāđāļēāļāđāļāļāļĢāļ°āļŪāļĩāļāļĢāļāļ āđāļĨāļ°āđāļāļāļĢāļ°āļŪāļĩāļāļĢāļāļāđāļŦāļĨāđāļēāļāļąāđāļāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāļāļĨāļļāđāļĄāđāļĒāļāļāđāļēāļāļŦāļēāļ āļ§āļāđāļŦāļ§āļ āđāļāđ āđāļāđāļ āđāļĨāļ°āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļ āļāđāļēāļāļŠāļīāđāļāđāļŦāļĨāđāļēāļāļĩāđāļāļīāļĨāļīāļāļāļāđāļāđāļēāļŠāļđāđāđāļĢāđāđāļāđāļĄāļāđāļāļīāļĨ āđāļāđāļ§āļ āļđāđāļāļēāđāļ āđāļāļĢāļāļīāļ āļāļīāļāđāļŦāļāļĩāļĒāļ§ āļāļīāļ āļāļĢāļēāļĒ āđāļāļĨāļ·āļāļāđāļāļāļ°āļāļāļĄ āļāļāļāļāļĢāļĩāļ āđāļāļĢāļ·āđāļāļāđāļāļĨāļ·āļāļāļāļīāļāđāļāļē āđāļĨāļ°āļŦāļāđāļēāļāđāļēāļ
āļāļĢāļ°āļāļ§āļāļāļēāļĢāļāļļāļāļŠāļēāļŦāļāļĢāļĢāļĄāļĒāđāļāļāļāļĨāļąāļāđāļāļ§āđāļāđāļĄāļāļēāļĄāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļāđāļāļāļēāļĢāđāļāļīāļāļāļāļāļāļīāđāļāļāļąāļ āļāļ§āļāļāļāđāļāļđāļāļĨāļāļŠāļ āļēāļ āļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđāļāđāļēāļāļŠāļēāļĢāļāļĢāļ°āļāļāļāļĢāļ°āđāļŦāļĒ āļāļāļāļ°āļāļāļāđāļāđāļāđāļāļĨāļĩāļāļīāļĨāļīāļāļāļ āđāļāļīāļāđāļāđāļāđāļāļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāļāļĩāđāļāļ§āļāļāļļāļĄāđāļāđ āļāļđāļāļāļąāļāđāļāđāļāđāļāđāļāđāļ§āđāļāļāļĢāđ āđāļĨāļ°āļĨāļ§āļāļĨāļēāļĒāļāđāļēāļāļĢāļāļāļāļēāļĢāđāļāļīāļĄāđāļĨāļ°āļĨāļāļāđāļģāđ āļāļąāļ§āđāļāļāļāļīāđāļāļāļāļēāļāđāļĨāđāļāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļāļīāļĻāļāļēāļāļāļĪāļāļīāļāļĢāļĢāļĄāđāļāļāđāļē āļāļīāļĨāđāļĄāļĢāļ°āļāļąāļāļāļēāđāļāđāļĄāļāļĢāđāļāļĨāļĩāđāļĒāļāļŠāļĩāđāļĨāļ°āļāļīāļāđāļāļāļĢāđāđāļāļ āļāļ§āļēāļĄāļāļāļāļĢāđāļāļāļĢāļ°āļāļąāļāļāļļāļĨāļ āļēāļāļāļģāļŦāļāļāļ§āđāļēāļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļ°āļāļģāļāļēāļāļŦāļĢāļ·āļāđāļŠāļĩāļĒ
āļāļ§āļēāļĄāđāļāđāļēāđāļāļāļĒāđāļēāļāļāļĢāļāļāđāļ§āļāđāļāļĩāđāļĒāļ§āļāļąāļāļāļīāļĨāļīāļāļāļāļāļķāļāđāļāļ·āđāļāļĄāđāļĒāļāļāļąāļāđāļĢāđāļĻāļēāļŠāļāļĢāđ āļāļĢāļīāļŠāļāļąāļĨāđāļĨāļāļĢāļēāļāļĩ āđāļāļāļĢāđāđāļĄāđāļāļāļēāļĄāļīāļāļŠāđ āļāļīāļŠāļīāļāļŠāđāļāļāļāļŠāļāļēāļāļ°āļāļāļāđāļāđāļ āļāļāļāļāļīāļ āđāļĨāļŦāļ°āļ§āļīāļāļĒāļē āđāļāļĄāļĩ āļāļēāļĢāļāļĨāļīāļ āļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ āļāļĨāļąāļāļāļēāļ āļāļēāļĢāļāļāļļāļĢāļąāļāļĐāđ āđāļĨāļ°āļāļĢāļ°āļ§āļąāļāļīāļĻāļēāļŠāļāļĢāđāđāļāļāđāļāđāļĨāļĒāļĩ āļāļļāļāļŠāļĄāļāļąāļāļīāļāļĩāđāļāļģāļŦāļāļāļāļāļāļĄāļąāļāđāļĄāđāđāļāđāđāļāļĢāļēāļ°āļĄāļąāļāļāļģāđāļāļāđāļēāđāļāļĒāļāļĢāļĢāļĄāļāļēāļāļīāļŦāļĢāļ·āļāļāļđāļāđāļēāļāļ·āđāļāļāļēāļāļ·āđāļāđāļ āđāļāđāđāļāđāļāđāļāļĢāļēāļ°āļāļēāļāļļāļāļĩāđāđāļāđāļāļŠāđāļ§āļāļāļĢāļ°āļāļāļāļāļāļāļŦāļīāļāļāļĩāđāļĄāļĩāļĄāļēāļāļĄāļēāļĒāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāļāļđāļāļāļģāđāļŦāđāļāļĢāļīāļŠāļļāļāļāļīāđ āđāļāļĢāļāļŠāļĢāđāļēāļ āđāļĨāļ°āļĨāļ§āļāļĨāļēāļĒāļāļāļŠāļŠāļēāļĢāđāļāļāļāļĨāļēāļĒāđāļāđāļāļŠāļīāđāļāļāļĩāđāļŠāļēāļĄāļēāļĢāļāđāļāļĢāđāļāļĢāļĄāđāļāđ