๊ท์
Linas Juozฤnas๊ณต์ ํ๊ธฐ
์ค๋ฆฌ์ฝ: ๋, ์ ๋ฆฌ, ๋น, ๋ ผ๋ฆฌ ๋ค์ ์ฌ๋ฉด์ฒด ์์
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฑฐ์ ๊ฐ์ ์ฌ๋ฃ ์ด์ผ๊ธฐ์์ ๋๋ฌผ๊ฒ ํจ๊ป ๋ํ๋๋ ๋ ๊ฐ์ง ๊ท๋ชจ๋ฅผ ์ฐ๊ฒฐํฉ๋๋ค. ์ง๊ฐ์์๋ ์ฐ์ ์ค์ฌ์ ๊ณจ๊ฒฉ, ์ฌ์ฌ, ํ, ๊ณ ๋ฆฝ๋ ์ฌ๋ฉด์ฒด๋ฅผ ์ด๋ฃจ์ด ์์, ์ฅ์, ์ ํ , ์ด๋ชจ, ํ์, ๊ฐ์ฌ์ ๋ฑ ์๋ง์ ๊ด๋ฌผ์ ๋ง๋ญ๋๋ค. ์ ์ ๋ ์์ ํํ์์๋ ๋์ผํ ์์๊ฐ ๋ณด๋ก , ์ธ ๋ฐ ๊ด๋ จ ๋ํํธ์ ๋ฏธ์ธ ์ฒจ๊ฐ๋ก ์ ๋๋๋ฅผ ์กฐ์ ํ ์ ์๋ ์ ๋ฐ ์ ์ด ๋ฐ๋์ฒด๊ฐ ๋ฉ๋๋ค. ๊ทธ ๊ฐ์น๋ ๊ธ์์ ํ๋ถํจ์ด๋ ๋ณด์ ์์์ ์์ง ์๊ณ , ๊ตฌ์กฐ์ ์์ต๋๋ค: 4์ค ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ, ์์ ๋ ์ฐํ๋ฌผ, ์กฐ์ ๊ฐ๋ฅํ ๋ฐด๋๊ฐญ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์์ญ์ต ๊ฐ์ ์ฅ์น๋ฅผ ์ฐ๋ง๋ ๊ฒฐ์ ํ๋ฉด์ ๋ฐฐ์นํ ์ ์๋ ์ ์กฐ ์์คํ .
๊ฐ๋จ ์ ๋ณด
์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ํต์ ์ธ ๊ธ์์ด ์๋ ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ ๋ฐ๋์ฒด์ ๋๋ค. ์ฐ๋ง๋ ํ๋ฉด์ ๊ธ์์ฒ๋ผ ๋ณด์ผ ์ ์์ง๋ง, ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ, ์ทจ์ฑ ํ๊ดด, ๊ดํ ํก์ ๋ฐ 4์ค ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ๋ ๋ค๋ฅธ ์ฌ๋ฃ ๋ฒ์ฃผ์ ์ํฉ๋๋ค. ์์ฐ์์ ๋ฐ๊ฒฌ๋๋ ๊ฑฐ์ ๋ชจ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ฐ์ ๋ฐ ๋ค๋ฅธ ์์์ ํํ์ ์ผ๋ก ๊ฒฐํฉ๋์ด ์์ผ๋ฉฐ, ์์ง์ฉ ์์ ์๋ฃ๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ ์ ๋๊ฑฐ๋ ์คํ์ค์์ ์ฑ์ฅ๋ฉ๋๋ค.
| ์ฉ์ด | ์๋ฏธ | ์ค์ํ ๊ตฌ๋ถ |
|---|---|---|
| ์ค๋ฆฌ์ฝ | ์์, ํฉ๊ธ, ๊ฒฐ์ ์ง, ๋ค๊ฒฐ์ ๋๋ ๋น์ ์ง ํํ์ ํํ ์์ Si์ ๋๋ค. | ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์์ด ์๋๋ฉฐ ์ ์ฐํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ํด๋ฆฌ๋จธ๋ ์๋๋๋ค. |
| ๊ท์ | ์ด์ฐํ ์ค๋ฆฌ์ฝ, SiOโ, ์์, ํธ๋ฆฌ๋๋ง์ดํธ, ํฌ๋ฆฌ์คํ ๋ฐ๋ผ์ดํธ, ์ฝ์์ฌ์ดํธ, ์คํฐ์ผ๋ฐ์ดํธ, ์คํ, ์ ๋ฆฌ ๋ฐ ๊ด๋ จ ํํ๋ก ์กด์ฌํฉ๋๋ค. | ์ด์ฐํ ์ค๋ฆฌ์นด๋ ์ฐ์๋ฅผ ํฌํจํ๋ฉฐ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ๋งค์ฐ ๋ค๋ฅธ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง๋๋ค. |
| ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ | ๊ธ์ ๋ฐ ๊ธฐํ ์์ด์จ๊ณผ ์ฐ๊ฒฐ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ-์ฐ์ ์ฌ๋ฉด์ฒด๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ํฐ ๊ด๋ฌผ ๋ฐ ์ฌ๋ฃ๊ตฐ์ ๋๋ค. | ์ฅ์, ์ด๋ชจ, ์ ํ , ํ์, ์ํผ๋ณผ, ๊ฐ๋์, ์๋ฅ์์ ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ์ด๋ฉฐ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์๋๋๋ค. |
| ์ค๋ฆฌ์ฝ | ํด๋ฆฌ๋จธ ๊ณจ๊ฒฉ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ์ฐ์๊ฐ ๊ต๋๋ก ๋ฐฐ์ด๋ ํฉ์ฑ ํด๋ฆฌ์ค๋ก์ฐ ์ฌ๋ฃ๊ตฐ์ ๋๋ค. | ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ณ ๋ฌด ๊ฐ๊ฑฐ๋ ์ ๋์ฑ, ์์ง์ฑ ๋๋ ์ ์ฐฉ์ฑ์ผ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์๋๋๋ค. |
| ์ค๋ฆฌ์ฝ ์นด๋ฐ์ด๋ | SiC, ํฌ๊ทํ ๋ชจ์ด์ฌ๋์ดํธ๋ก ์์ฐ ๋ฐ์ํ๋ฉฐ ๋ค์ํ ๊ธฐ์ ์ ํํ๋ก ์ ์กฐ๋๋ ๋จ๋จํ ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ ์ธ๋ผ๋ฏน์ ๋๋ค. | ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ๋ ๋จ๋จํ๊ณ ๋ฐ๋๊ฐ ๋์ผ๋ฉฐ ๊ดํ์ ์ผ๋ก ๋ค๋ฆ ๋๋ค. |
| ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ | ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ํ์๊ด ์ ์กฐ์ฉ์ผ๋ก ๋ง๋, ๋ฉ์ด๋ฆฌ ๋๋ ๊ณผ๋ฆฝ ํํ๋ก ์ฆ์ฐฉ๋ ๊ณ ์๋ ๋ค๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋๋ค. | ์ด ์ด๋ฆ์ ๋ง์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ๊ฐ๋ฆฌํค๋ฉฐ, ์ค๋ฆฌ์ฝ ํจ์ ํด๋ฆฌ๋จธ๋ฅผ ์๋ฏธํ์ง ์์ต๋๋ค. |
| ๋จ๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ | ์ ์ฉํ ๋ถํผ ์ ์ฒด์ ๊ฑธ์ณ ํ๋์ ๊ฒฐ์ ํ์ ๋ฐฉํฅ์ ๊ฐ์ง ์ฐ์ ๊ฒฐ์ ์ ๋๋ค. | ๋๋ถ๋ถ์ ์ง์ ํ๋ก ์จ์ดํผ๋ ์ ์คํ๊ฒ ์ฑ์ฅ๋ ๋จ๊ฒฐ์ ์๊ณณ์์ ์์ํฉ๋๋ค. |
| ๋น์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ | ๋น์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์ ๋ง์ผ๋ก ์ฆ์ฐฉ๋๋ฉฐ, ์ ์ ๊ฒฐํจ์ ์ค์ด๊ธฐ ์ํด ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์์ํ๋ฉ๋๋ค. | ์จ์ดํผ ๊ฒฐ์ ์ ์ฅ๊ฑฐ๋ฆฌ ๋ค์ด์๋ชฌ๋-์ ๋ฐฉ ์ง์๊ฐ ์์ต๋๋ค. |
์ ์ฒด์ฑ, ๋ช ๋ช , ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์์์ ๊ด๋ฌผ ์ฌ์ด์ ๊ฒฝ๊ณ
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์์ด๋ฉฐ, ๋ชจ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ ํจ์ ๋ฌผ์ง์ ์ผ๋ฐ ๋ช ์นญ์ด ์๋๋๋ค. ์ด ๊ตฌ๋ถ์ ์ค์ํฉ๋๋ค. ์๋ํ๋ฉด ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ด๋ก๊ณ ๋ถํฌ๋ช ํ๋ฉฐ ๋ถ์์ง๊ธฐ ์ฝ๊ณ ๋ฐ๋์ฒด ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ฉฐ ๋ค์ด์๋ชฌ๋-์ ๋ฐฉ ๊ตฌ์กฐ์ธ ๋ฐ๋ฉด, ์์์ ํฌ๋ช ํ๊ฑฐ๋ ๋ฐํฌ๋ช ํ ์ด์ฐํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด๊ณ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํฉ์ฑ ํด๋ฆฌ๋จธ์ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค.
์ด ์ด๋ฆ์ ๊ถ๊ทน์ ์ผ๋ก ๋ถ์ฏ๋๊ณผ ๋จ๋จํ ๋๊ณผ ๊ด๋ จ๋ ๋จ์ด์์ ์ ๋ํ์ต๋๋ค. ์ด๊ธฐ ํํ์๋ค์ ์ค๋ฆฌ์นด๊ฐ ๋ฏธ์ง์ ์์๋ฅผ ํฌํจํ๊ณ ์์์ ์์ํ ์๋ฃ๋ฅผ ๋ถ๋ฆฌํ๊ธฐ ํจ์ฌ ์ ์ ์ธ์ํ์ต๋๋ค. ํ๋ ์์ด ํํ์ธ silicon์ ์์ ํ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ํ ์ถฉ๋ถํ ์์ํ ์๋ฃ๊ฐ ์ค๋น๋๊ธฐ ์ ์ ์ฑํ๋์์ต๋๋ค.
์ฒ์ฐ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํฌ๊ท ์ด์๊ณผ ๋งค์ฐ ํ์์ ์ธ ์ง๊ตฌ ํ๊ฒฝ์์ ๋ณด๊ณ ๋์์ผ๋, ์ด๋ฌํ ๊ฒฝ์ฐ๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ฏธ์ธํ๋ฉฐ ๋ถ์์ ํ์ธ์ด ํ์ํฉ๋๋ค. ์ ํฌ๊ธฐ์ โ์ค๋ฆฌ์ฝโ ํ๋ณธ์ ๊ฑฐ์ ํญ์ ์ฐ์ ์ฉ ์ฌ๋ฃ: ๊ธ์๊ณตํ ์ค๋ฆฌ์ฝ, ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ, ์ฉ์ต ์ฑ์ฅ ๊ฒฐ์ , ์จ์ดํผ ๋๋ ๊ฐ๊ณต ๋ถํ์ ๋๋ค.
์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ
๋ํํธ, ๋ถ์๋ฌผ, ํ๋ฉด ์ฐํ๋ฌผ ๋ฐ ๊ฐ๊ณต์ธต์ ์ ์ธํ๊ณ ์ค์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์๋ก๋ง ๊ตฌ์ฑ๋ ๊ณต์ ๊ฒฐ์ .
๊ท์
๊ฒฐ์ ์ง, ์ ๋ฆฌ์ง, ์คํ๋ฆฐ ๋๋ ๊ณ ์ ํํ์ ์ด์ฐํ๊ท์. ๊ทธ ์ฐ์ ๊ณจ๊ฒฉ์ ์์ ํ ๋ค๋ฅธ ๊ดํ์ ๋ฐ ํํ์ ๊ฑฐ๋์ ๋ง๋ญ๋๋ค.
๊ท์ฐ์ผ ๊ด๋ฌผ
์ค๋ฆฌ์ฝ-์ฐ์ ์ฌ๋ฉด์ฒด๊ฐ ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ๋ง๊ทธ๋ค์, ์ฒ , ์นผ์, ๋ํธ๋ฅจ, ์นผ๋ฅจ ๋ฐ ๊ธฐํ ์์์ ๊ฒฐํฉํ ๊ด๋ฌผ.
์ค๋ฆฌ์ฝ ํฉ๊ธ
ํ๋ก์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ์๋ฃจ๋ฏธ๋-์ค๋ฆฌ์ฝ ํฉ๊ธ์ ์๋นํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํฌํจํ์ง๋ง ์์ ๋ฐ๋์ฒด๊ฐ ์๋ ๋ค์ ๊ธ์ ์ฌ๋ฃ๋ก ์์ฉํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ณ ๋ฌด
์ ๊ธฐ ์ธก์๊ธฐ๋ฅผ ๊ฐ์ง SiโO ๊ณจ๊ฒฉ์์ ์ ๋ํ ์ ์ฐ์ฑ, ๋ฐ๋ด์ฑ, ์ด ์์ ์ฑ ๋ฐ ํ๋ฉด ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง ์ ์กฐ๋ ๊ณ ๋ถ์.
์์ง๊ฐ ์ฉ์ด
์ค๋ช ์๋ ์๋ฃ๊ฐ ๊ธ์๊ณตํ ๋ฑ๊ธ, ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ, ๋จ๊ฒฐ์ , ๋ค๊ฒฐ์ , ์จ์ดํผ ์ฌ๋ฃ, ์ฝํ , ๋ํ ๋๋ ๊ฐ๊ณต๋ ๊ฒ์ธ์ง ๋ช ์ํด์ผ ํฉ๋๋ค.
์์ ๊ตฌ์กฐ: ๋ค ๊ฐ์ ๊ฒฐํฉ์ด ๋ชจ๋ ๊ฒ์ ๋ฐ๊พธ๋ ์ด์
์ผ๋ฐ ์๋ ฅ์์ ๊ฒฐ์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ค์ด์๋ชฌ๋-์ ๋ฐฉ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ฑํํฉ๋๋ค. ๊ฐ ์์๋ ์ฌ๋ฉด์ฒด ๋ชจ์๋ฆฌ๋ฅผ ํฅํ ๋ค ์ด์๊ณผ ๊ฒฐํฉํฉ๋๋ค. ์ด ์ด๋ฆฐ ๋ฐฉํฅ์ฑ ๋คํธ์ํฌ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ทจ์ฑ, ์ชผ๊ฐ์ง, ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐด๋ ๊ตฌ์กฐ, ๋น๊ต์ ๋ฎ์ ๋ฐ๋, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ผ ๋์ ํน์ดํ ํฝ์ฐฝ์ ์ค๋ช ํฉ๋๋ค.
์ฌ๋ฉด์ฒด ๋ฐฐ์
๊ฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์๋ ์ด์์ ์ธ ๊ฐ๋ ์ฝ 109.5ยฐ๋ก ๋ค ๊ฐ์ ๊ฐํ ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ์ ํ์ฑํฉ๋๋ค. ์ด ๊ธฐํํ์ ๊ตฌ์กฐ๋ ๊ฒฐ์ ๋ด์์ 3์ฐจ์์ผ๋ก ๋ฐ๋ณต๋ฉ๋๋ค.
๋ค์ด์๋ชฌ๋-์ ๋ฐฉ ๊ฒฉ์
๊ตฌ์กฐ๋ ์๋ก ์๋์ ์ผ๋ก ์ด๋๋ ๋ ๊ฐ์ ์๋ฉด ์ค์ฌ ์ ๋ฐฉ ๊ฒฉ์๋ก ์ค๋ช ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ชผ๊ฐ์ง ๋ฐ ํ๊ดด
๋จ๊ฒฐ์ ์ {111} ๋ฉด์ ๋ฐ๋ผ ์ชผ๊ฐ์ง ์ ์์ต๋๋ค. ํํธ์ ํนํ ๊ท ์ด์ด ๋ช ํํ ํ ๋ฉด์ ๋ฐ๋ฅด์ง ์์ ๋ ๊ณก์ ํ ์กฐ๊ฐ๊ป์ง ๋ชจ์ ํ๋ฉด์ ๋ณด์ ๋๋ค.
์๊ณ ์ ํฝ์ฐฝ
์ก์ฒด ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ด๋ฆฐ ์ฌ๋ฉด์ฒด ๊ณ ์ฒด๋ณด๋ค ๋ ์กฐ๋ฐํ๊ฒ ํฌ์ฅ๋์ด ์์ด, ๋ฌผ์ง์ด ์ผ๋ฉด์ ํฝ์ฐฝํ๋๋ฐโ์ด๋ฌํ ํน์ดํ ๊ฑฐ๋์ ๋ฌผ๊ณผ ๋ช๋ช ๊ด๋ จ ๋ฌผ์ง๋ค๊ณผ ๊ณต์ ๋ฉ๋๋ค.
๊ณ ์ ๊ตฌ์กฐ
๊ทนํ ์๋ ฅ ํ์์ ๊ท์๋ ๊ธ์์ฑ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง ๋ ๋ฐ๋๊ฐ ๋์ ์์ผ๋ก ๋ณํ๋ฉฐ, ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ์กฐ์ฑ๋ฟ ์๋๋ผ ์์ ๋ฐฐ์ด์๋ ์์กดํจ์ ๋ณด์ฌ์ค๋๋ค.
๋์์์ ๊ตฌ์กฐ
์์ฐ ๊ท์๋ ยฒโธSi๊ฐ ์ฃผ๋ฅผ ์ด๋ฃจ๋ฉฐ, ยฒโนSi์ ยณโฐSi๊ฐ ์๋ ํฌํจ๋์ด ์์ต๋๋ค. ๋์์์ ์ ์ ๋ ์ ๋ฐ ๊ณ์ธก๊ณผ ์ผ๋ถ ์์ ์ฅ์น ์ฐ๊ตฌ์์ ์ค์ํฉ๋๋ค.
๋จ๊ฒฐ์
ํ๋์ ์ฐ์๋ ๋ฐฉํฅ์ ์์ธก ๊ฐ๋ฅํ ์ ์ ์์ก, ์ ์ด๋ ์ ๋จ, ์ฌํ ๊ฐ๋ฅํ ์ฅ์น ์ ์์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
๋ค๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ
์๋ก ๋ค๋ฅธ ๋ฐฉํฅ์ ๋ง์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ด ๊ฒฝ๊ณ์์ ๋ง๋ ์ ํ๋ฅผ ๊ฐ๋๊ฑฐ๋ ์ด๋ฐ์ฒด๋ฅผ ์ฐ๋์ํค๊ณ ๋ถ์๋ฌผ์ ์ง์ค์ํค๊ฑฐ๋ ๊ท ์ด์ ๋์ต๋๋ค.
๋น์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ
์ฅ๊ฑฐ๋ฆฌ ์ง์๊ฐ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ง์ dangling ๊ฒฐํฉ์ ๋ฐ๋ง ์ ์์ฉ์ผ๋ก ์์๋ก ์๋ํ๋ฉ๋๋ค.
๋ค๊ณต์ฑ ๋ฐ ๋๋ ธ๊ตฌ์กฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ
์ ์ด๋ ์๊ฐ ๋๋ ์ฑ์ฅ์ผ๋ก ๋ค๊ณต์ฑ, ์์ด์ด, ์ ์, ๊ด์ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๋ง๋ค์ด์ ธ ๋ฒํฌ ๊ฒฐ์ ๊ณผ๋ ๋ค๋ฅธ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง๋๋ค.
์ง๊ตฌ์ ๊ท์: ์ฌ๋ฉด์ฒด, ํํ, ํด์ ๋ฌผ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์๋ช
๊ท์๋ ์ง๊ฐ์์ ์ง๋ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ๋ ๋ฒ์งธ๋ก ํ๋ถํ ์์์ด์ง๋ง, ๋๋ถ๋ถ ์ฐ์์ ๊ฒฐํฉ๋์ด ์์ต๋๋ค. SiOโ ์ฌ๋ฉด์ฒด๋ ๊ด๋ฌผํ์์ ๊ฐ์ฅ ์ค์ํ ๊ตฌ์กฐ ๋จ์ ์ค ํ๋๋ก, ์ฌ๋ฌ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๊ฒฐํฉํ์ฌ ๋งจํ์์ ๋๋ฅ ํ๋ฉด๊น์ง ์์์ ๋ง๋ญ๋๋ค.
| ๊ตฌ์กฐ ๋ฐฐ์ด | ์ฌ๋ฉด์ฒด ์ฐ๊ฒฐ ๋ฐฉ์ | ๋ํ์ ์ธ ์ฌ๋ฃ |
|---|---|---|
| ๊ณ ๋ฆฝ๋ ์ฌ๋ฉด์ฒด | ๊ฐ SiOโ ๋จ์๋ ๋ถ๋ฆฌ๋์ด ์์ผ๋ฉฐ ๋ค๋ฅธ ์์ด์จ์ ํตํด ์ฐ๊ฒฐ๋ฉ๋๋ค. | ๊ฐ๋์, ์๋ฅ์, ์ง๋ฅด์ฝ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ง์ ๋งจํ ๋๋ ๋ณ์ฑ ๊ด๋ฌผ. |
| ์ ๊ทธ๋ฃน๊ณผ ๊ณ ๋ฆฌ | ์ฌ๋ฉด์ฒด๋ ์ ํ๋ ์ฐ์ ์์๋ฅผ ๊ณต์ ํ์ฌ ์ด์ค ๋จ์ ๋๋ ๋ซํ ๊ณ ๋ฆฌ๋ฅผ ํ์ฑํฉ๋๋ค. | ์ํผ๋ํธ๊ตฐ ๊ตฌ์กฐ, ๋ฒ ๋ฆด, ํ ๋ฉ๋ฆฐ ๋ฐ ๊ด๋ จ ๊ด๋ฌผ. |
| ๋จ์ผ ์ฌ์ฌ | ๊ฐ ์ฌ๋ฉด์ฒด๋ ์ฐ์ฅ๋ ์ฌ์ฌ์ ๋ฐ๋ผ ๋ ๊ฐ์ ์ฐ์ ์์๋ฅผ ๊ณต์ ํฉ๋๋ค. | ํ์๋ฅ์ธ ์ค๊ท์ฌ์ดํธ, ๋์ต์ฌ์ด๋, ์์คํํ์ดํธ. |
| ์ด์ค ์ฌ์ฌ | ๋ ๊ฐ์ ์ฌ๋ฉด์ฒด ์ฌ์ฌ์ด ์ฃผ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ๊ฒฐํฉํ์ฌ ๋ ๋์ ๋ฆฌ๋ณธ์ ํ์ฑํฉ๋๋ค. | ๊ฐ์ฌ์๋ฅ์ธ ๊ฐ์ฌ์๊ณผ ํธ๋ ๋ชฐ๋ผ์ดํธ. |
| ์ธต์ ๊ตฌ์กฐ | ๊ฐ ์ฌ๋ฉด์ฒด๋ ๋์ ์ธต์์ ์ธ ๊ฐ์ ์ฐ์ ์์๋ฅผ ๊ณต์ ํฉ๋๋ค. | ์ด๋ชจ, ์ ํ ๊ด๋ฌผ, ํ์, ์ฌ๋ฌธ์, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ฝ๋ก์. |
| ๊ณจ๊ฒฉ ๊ตฌ์กฐ | ๋ค ๊ฐ์ ์ฌ๋ฉด์ฒด ๊ผญ์ง์ ๋ชจ๋๊ฐ 3์ฐจ์ ๋คํธ์ํฌ์ ์ฐธ์ฌํฉ๋๋ค. | ์ฅ์, ์ฅ์์ง๊ด๋ฌผ, ์ ์ฌ๋ผ์ดํธ, ์์, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๊ท์ฐ ์ ๋ฆฌ. |
ํ์ฑ์
๊ท์ ํจ๋๊ณผ ๊ท์ฐ ํฌํ๋๋ ๋ง๊ทธ๋ง ์ ๋, ๊ด๋ฌผ ์กฐํฉ, ๋ถ์ถ ์์, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์์, ์ฅ์, ํ์, ๊ฐ๋์ ๋๋ ์ฅ์์ง๊ด๋ฌผ์ด ๊ฒฐ์ ํ๋๋์ง ์ฌ๋ถ๋ฅผ ์กฐ์ ํ๋ ๋ฐ ๋์์ ์ค๋๋ค.
ํํ์ ํ ์
๊ท์ฐ์ผ ํํ๋ ์ฉํด๋ ๊ท์ฐ์ ๋ฐฉ์ถํ๊ณ ์ ํ ๊ด๋ฌผ์ ํ์ฑํ๋ฉฐ ์ง์งํ์ ์๊ฐ ๋์ ๋๊ธฐ ์ค ์ด์ฐํํ์๋ฅผ ์๋นํฉ๋๋ค.
๋ชจ๋์ ํด์ ๋ฌผ
์์์ ๋ง์ ํํ ์ฃผ๊ธฐ๋ฅผ ๊ฒฌ๋๋ฉฐ ๋ชจ๋, ์ฌ์, ํด๋ณ ํด์ ๋ฌผ, ์ฌ๊ตฌ ๋ฐ ํ์ฒ ์์คํ ์ ์ถ์ ๋ฉ๋๋ค.
์๋ฌผ ๊ธฐ์์ ๊ท์ฐ
๊ท์กฐ๋ฅ, ๋ฐฉ์ฌ์ถฉ, ๋ง์ ํด๋ฉด๋๋ฌผ ๋ฐ ์๋ฌผ์ ์๋ฌผ์์ ๋ฌผ์ด๋ ํ ์์์ ์ถ์ถํ ์ํ ๋๋ ๋น์ ์ง ๊ท์ฐ์ผ๋ก ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ง๋ญ๋๋ค.
์ฌ๋ถ ์ง๊ตฌ ๊ฑฐ๋
๋งจํ์์๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ๊ณ ์ ๊ท์ฐ์ผ์ ์ฐจ์งํฉ๋๋ค. ๋ ๋์ ์๋ ฅ์์๋ ๋ฐฐ์์๊ฐ ๋ณํ๊ณ ๋ฐ๋๊ฐ ๋์ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ์์ ํด์ง๋๋ค.
๊ท์ฐ์ผ ๋ณ์ฑ
์๋ฌผ ๊ธฐ์์ ์คํ๊ณผ ํ์ฐ ์ ๋ฆฌ๋ ๋งค์ฅ ์ค์ ์คํ-CT, ์นผ์ธ๋๋ ๋๋ ์์์ผ๋ก ์ฌ์กฐ์ง๋์ด ๋ค๊ณต์ฑ๊ณผ ์์ ๊ฐ๋๋ฅผ ๋ณํ์ํต๋๋ค.
๋ฌผ๋ฆฌ์ , ์ด์ , ํํ์ ๋ฐ ๊ดํ์ ํน์ฑ
์ฐธ๊ณ ๊ฐ์ ์จ๋, ๊ฒฐ์ ๋ฐฉํฅ, ๋ถ์๋ฌผ ๋๋, ์บ๋ฆฌ์ด ๋ฐ๋, ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๊ตฌ์กฐ ๋ฐ ํ๋ฉด ์ฒ๋ฆฌ์ ๋ฐ๋ผ ๋ค๋ฆ ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋ฐ๋์ฒด ๋ฑ๊ธ ๋จ๊ฒฐ์ ์ ์ฒ , ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ์นผ์, ํ์ ๋ฐ ๊ธฐํ ๋ถ์๋ฌผ์ด ํฌํจ๋ ์ผ๊ธ ๋ฉ์ด๋ฆฌ๋ณด๋ค ์ฌํ์ฑ์ด ๋์ต๋๋ค.
| ํน์ฑ | ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๊ฐ ๋๋ ๊ฑฐ๋ | ์ค์ฉ์ ์ค์์ฑ |
|---|---|---|
| ์์ ๋ฒํธ | 14. | ์ฃผ๊ธฐ์จํ 3์ฃผ๊ธฐ์์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋๊ณผ ์ธ ์ฌ์ด, ํ์์กฑ์ ์์นํฉ๋๋ค. |
| ํ์ค ์์๋ | 28.085. | ์ธ ๊ฐ์ง ์์ ๋์์์์ ์์ฐ ํผํฉ์ ๋ฐ์ํฉ๋๋ค. |
| ๊ฒฐ์ ๊ณ | ์ ๋ฐฉ ๋ค์ด์๋ชฌ๋ ๊ตฌ์กฐ; ๊ณต๊ฐ๊ตฐ Fd3ฬ m์ ๋๋ค. | ์ชผ๊ฐ์ง, ์ด๋ฐฉ์ฑ ๊ธฐ๊ณ์ ํน์ฑ, ์ ์ ๋ฐด๋ ๋ฐ ์จ์ดํผ ๋ฐฉํฅ์ ์ ์ดํฉ๋๋ค. |
| ๋ฐ๋ | ์์จ ๊ทผ์ฒ์์ ์ฝ 2.329 g/cmยณ์ ๋๋ค. | ๊ฐ๋ ๋, ์ ์ฒ ์, ํํ๊ท์ ๋ฐ ๋๋ถ๋ถ์ ๊ธ์ ์ ์ฌ์ฒด๋ณด๋ค ๊ฐ๋ณ์ต๋๋ค. |
| ๊ฒฝ๋ | ๋ชจ์ค ๊ฒฝ๋ ์ฝ 6.5โ7์ ๋๋ค. | ์ผ๋ฐ ๊ฐ์ฒ ์๋ ์ ํญํ์ง๋ง ์์, ๊ฐ์ฅ, ๋ค์ด์๋ชฌ๋, ๋จ๋จํ ์ฐ๋ง ๋ถ์ง์๋ ์ทจ์ฝํฉ๋๋ค. |
| ์ชผ๊ฐ์ง ๋ฐ ํ๊ดด | {111}๋ฉด์ ๋ฐ๋ผ ๊ฐํ ์ชผ๊ฐ์ง; ๊ทธ ์ธ์๋ ์กฐ๊ฐ๊ป์ง ๋ชจ์์์ ๋ถ๊ท์นํ ํ๊ดด๊น์ง ๋ค์ํฉ๋๋ค. | ์์ ์จ์ดํผ์ ๋ ์นด๋ก์ด ํํธ์ ๊ตฝํ์ด๋ ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ์๋ ฅ์ ๊ฐ์๊ธฐ ํ์๋ ์ ์์ต๋๋ค. |
| ๋ น๋์ | ์ฝ 1414 ยฐC์ ๋๋ค. | ์ฉ์ต ์ฑ์ฅ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํ์ง๋ง ๋ดํ์ฑ ๋ฐ ์ ์ด๋ ๊ฒฐ์ ์์ฐ ์์คํ ์ด ํ์ํฉ๋๋ค. |
| ๋๋์ | ์ฝ 3265 ยฐC์ ๋๋ค. | ๊ณ ์จ ์ฒ๋ฆฌ ๋ฐ ์ฆ๊ธฐ์ ์ค์ผ ์ ์ด์ ๊ด๋ จ์ด ์์ต๋๋ค. |
| ์ด์ ๋์จ | ์์จ ๊ทผ์ฒ ๊ณ ์๋ ๋จ๊ฒฐ์ ์์ ์ฝ 148 W/mยทK์ ๋๋ค. | ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ์ธ๋ผ๋ฏน ๊ฐ์ ๊ณ ์ฒด๋ก์๋ ๋์ง๋ง ๊ตฌ๋ฆฌ๋ ์๋ณด๋ค๋ ๋ฎ์ต๋๋ค. |
| ์ดํฝ์ฐฝ | ๋ฎ๊ณ ์ ๋ฐฉ ๊ฒฉ์์ ์ํด ๋ฐฉํฅ์ฑ์ด ์ ํ๋ฉ๋๋ค. | ์ ๋ฐ ์ฅ์น์ ์ ์ฉํ์ง๋ง ์จ๋ ๊ตฌ๋ฐฐ๋ก ์ธํด ์จ์ดํผ๊ฐ ํ์๋ ์ ์์ต๋๋ค. |
| ๋ฐด๋ ๊ฐญ | ๊ฐ์ ๊ฐญ, ์์จ์์ ์ฝ 1.12 eV์ ๋๋ค. | ์ ์๊ธฐ๊ธฐ ๋ฐ ํ์๊ด ๋ณํ์ ์ ํฉํ์ง๋ง ์ง์ ๊ฐญ ๋ฐ๋์ฒด๋ณด๋ค ๋น ๋ฐฉ์ถ ํจ์จ์ด ๋ฎ์ต๋๋ค. |
| ๊ฐ์๊ดํ | ๊ฐํ๊ฒ ํก์ํ๋ฉฐ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๋ฒํฌ ํํ์์๋ ๋ถํฌ๋ช ํด ๋ณด์ ๋๋ค. | ์ฐ๋ง๋ ์จ์ดํผ๋ ํ๋ฉด ์ฝํ ์๋์์ ์ง์ ํ์, ๊ฐ์ ํ์ ๋๋ ๊ฑฐ์ ๊ฒ์์์ผ๋ก ๋ณด์ ๋๋ค. |
| ์ ์ธ์ ๊ดํ | ๋์ ๊ตด์ ๋ฅ ๊ณผ ๊ทผ์ ์ธ์ ๋ฐ ์ค์ ์ธ์ ์ผ๋ถ ์์ญ์์ ์ ์ฉํ ํฌ๊ณผ์ฑ. | ์ ์ธ์ ๋ ์ฆ, ์ฐฝ, ์ผ์ ๋ฐ ์ง์ ๊ดํ์ ์ง์ํจ. |
| ์์ฐ ํ๋ฉด ์ฐํ๋ง | ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฐํ๋ง์ด ๊ณต๊ธฐ ์ค์์ ์์ฐ์ ์ผ๋ก ํ์ฑ๋๋ฉฐ, ๋๊บผ์ด ๊ณ ํ์ง ์ฐํ๋ง์ ์ฐ์ ์ ์ผ๋ก ์ฑ์ฅ ๋๋ ์ฆ์ฐฉ๋จ. | ํ๋ฉด์ ์๋ํํ๊ณ ๊ธฐ์ ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์น ์๋ ์ธํฐํ์ด์ค๋ฅผ ์ ๊ณตํจ. |
| ํํ์ ํน์ฑ | ํ๋ฉด ์ฐํ๋ฌผ ๋๋ถ์ ๋ฌผ์ ์์ ํ๋ฉฐ ์์จ ์ฐ์ ๊ฐํ์ง๋ง ํน์ ์์นญ์ ์ ๊ฐํ ์์นผ๋ฆฌ์ ์ํด ๊ณต๊ฒฉ๋ฐ์. | ๊ฐ์ ์ฉ ์ธ์ฒ์ ๋ณดํต ๋ถํ์ํ๋ฉฐ ์ฝํ ์ด๋ ๊ธ์ํ์ธต์ ์์์ํฌ ์ ์์. |
๋ฐ๋์ฒด ๋ฌผ๋ฆฌํ: ์ด๋ฐ์, ๋ํํธ, ์ ํฉ ๋ฐ ์ธํฐํ์ด์ค
์์ ๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ธ์์ ๋นํด ์์จ์์ ์ด๋์ฑ ์ ํ ์ด๋ฐ์๊ฐ ๋งค์ฐ ์ ์. ์จ๋, ๋น, ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ฐ ์ ์คํ ์ ํ๋ ๋ถ์๋ฌผ์ด ์ ์์ ์ ๊ณต์ ์์ ์ด๋์ ๋ณํ์ํฌ ๋ ์ ์ฉ์ฑ์ด ์์๋จ.
๋ด์ฌ ์ค๋ฆฌ์ฝ
์ด ์๋์ง๊ฐ ๊ฐ๋ ์ ์๋ฅผ ๋ฐด๋๊ฐญ์ ๋์ด ์ฌ๋ ค ๋ณด๋ด ์ ๊ณต์ด๋ผ ๋ถ๋ฆฌ๋ ์ด๋์ฑ ๊ณต์์ ๋จ๊น. ์ ์์ ์ ๊ณต์ ๋์ผํ ์๋ก ์กด์ฌํจ.
nํ ์ค๋ฆฌ์ฝ
์ธ, ๋น์ ๋๋ ์ํฐ๋ชฌ๊ณผ ๊ฐ์ ๋๋ ์์๊ฐ ์ ์๋ฅผ ์ ๊ณตํ๋ฉฐ, ์ด๋ ๋ด์ฌ ์ด๋ฐ์๋ณด๋ค ๊ฒฐ์ ๋ด์์ ๋ ์ฝ๊ฒ ์ด๋ํจ.
pํ ์ค๋ฆฌ์ฝ
์ต์ ํฐ ์์, ์ฃผ๋ก ๋ถ์๊ฐ ์ด๋์ฑ ์ ๊ณต์ ์์ฑํ๋ฉฐ ์ด๋ ๊ฐ์ ์๋ ๊ตฌ์กฐ ๋ด์์ ์์ ํ ์ด๋ฐ์ฒด๋ก ์์ฉํจ.
pโn ์ ํฉ
pํ๊ณผ nํ ์์ญ์ด ๋ง๋๋ ๊ณณ์์ ์ ํ ์ฌ๋ถ๋ฐฐ๊ฐ ๋ด๋ถ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์์ฑํจ. ๋ค์ด์ค๋, ๊ด๋ค์ด์ค๋, ํธ๋์ง์คํฐ ๋ฐ ํ์์ ์ง๋ ์ด ์ ํฉ ๋์์ ์์กดํจ.
MOS ์ธํฐํ์ด์ค
์ ์ด๋ ์ฐํ๋ฌผ ๋๋ ๊ด๋ จ ์ ์ ์ฒด๊ฐ ๊ฒ์ดํธ ์ ๊ทน๊ณผ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ถ๋ฆฌํจ. ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ์ธํฐํ์ด์ค์์ ์ ๋ ์ฑ๋์ ์์ฑํ๊ฑฐ๋ ์ ๊ฑฐํจ.
๊ฒฐํจ ๋ฐ ํธ๋ฉ
๊ณต์, ์ ์, ๋ถ์๋ฌผ, ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๊ณ, ๋จ์ ๊ฒฐํฉ ๋ฐ ์ค์ผ๋ ํ๋ฉด์ด ์ ํ๋ฅผ ๊ฐ๋๊ฑฐ๋ ์ด๋ฐ์ ์๋ช ์ ๋จ์ถ์ํฌ ์ ์์.
| ์ฌ๋ฃ ์ํ | ์ฃผ์ ์ด๋ฐ์ | ์์ฐ ๋ฐฉ๋ฒ | ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ญํ |
|---|---|---|---|
| ๋ด์ฌ ์ค๋ฆฌ์ฝ | ์ด์ ์ผ๋ก ์์ฑ๋ ์ ์์ ์ ๊ณต์ด ๋์ผํ ์. | ์๋๋ ์ ๊ธฐ ํ์ฑ ๋ํํธ๊ฐ ์๋ ๊ทน๋๋ก ์์ํ ๊ฒฐ์ . | ์ฐธ์กฐ ๋์, ๊ฒ์ถ๊ธฐ ์ฌ๋ฃ ๋ฐ ์ฅ์น ์ค๊ณ์ ์ถ๋ฐ์ . |
| nํ ์ค๋ฆฌ์ฝ | ์ ์. | ์๋์ ์ธ ๋๋ ๋ํ, ์ข ์ข ์ธ, ๋น์ ๋๋ ์ํฐ๋ชฌ ์ฌ์ฉ. | ํธ๋์ง์คํฐ ์์ญ, ์ ์ด๋ถ, ๋ค์ด์ค๋, ์ผ์ ๋ฐ ํ์์ ์ง ๊ตฌ์กฐ. |
| pํ ์ค๋ฆฌ์ฝ | ์ ๊ณต. | ์๋์ ์ธ ์ต์ ํฐ ๋ํ, ๊ฐ์ฅ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ถ์ ์ฌ์ฉ. | ๊ธฐํ, ํธ๋์ง์คํฐ ์์ญ, ์ ํฉ๋ถ, ์ผ์ ๋ฐ ํ์๊ด ์ฅ์น. |
| ๋ณด์ ์ค๋ฆฌ์ฝ | ๋๋ ์์์ ์ต์ ํฐ ์์ ๊ฐ์ ๊ท ํ์ ์ํด ๊ฒฐ์ ๋จ. | ๋ํํธ ์ ํ์ด ์๋์ ์ผ๋ก ๋๋ ์ค์ผ์ ํตํด ๋ชจ๋ ์กด์ฌํจ. | ์ ํญ๋ฅ ์ ๋ฏธ์ธ ์กฐ์ ๋๋ ์์น ์๋ ๋ถ์๋ฌผ์ ๋ณด์ . |
| ํดํ ๋ํ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ | ๋งค์ฐ ๋์ ์ ์ ๋๋ ํ ๋๋. | ๊ฐํ ์ด์, ํ์ฐ ๋๋ ์ฑ์ฅ ๋ด ๋ํ. | ์ ํญ์ด ๋ฎ์ ์ ์ด๊ณผ ๋ถ๋ถ์ ์ผ๋ก ๋์ฒด์ฒ๋ผ ํ๋ํ๋ ์์ญ. |
์์์์ ์ ์ ๊ฒฐ์ ๊น์ง
์ค๋ฆฌ์ฝ ์ ์กฐ๋ ์ ์ ๋ ์ ๊ตํ ํํ์ ๋ฐ ๊ตฌ์กฐ์ ์ ์ด์ ์ฐ์์ ๋๋ค. ์์์ด ๊ธ์๊ณตํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ผ๋ก ํ์๋๊ณ , ํ๋ฐ์ฑ ํํฉ๋ฌผ์ ํตํด ์ ์ ๋๋ฉฐ, ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ์ผ๋ก ์ฆ์ฐฉ๋๊ณ , ์๊ณณ์ผ๋ก ๊ฒฐ์ ํ๋๊ณ , ์จ์ดํผ๋ก ์ ๋จ๋ ํ ์๋ฐฑ ๋จ๊ณ์ ์๊ฒฉํ ๊ด๋ฆฌ๋ ๊ณต์ ์ ๊ฑฐ์ณ ํจํฐ๋๋ฉ๋๋ค.
- ํ์์ด ํ์๊ณ ์๋ ์์ ๋๋ ์์์์ด ์ ์ ์ํฌ๋ก์์ ํ์์ ๋ฐ์ํฉ๋๋ค. ๋จ์ํ๋ ์ ์ฒด ๋ฐ์์์ SiOโ + 2C โ Si + 2CO์ ๋๋ค.
- ๊ธ์๊ณตํ ๋ฑ๊ธ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ฉ๊ด๋ก ์ ํ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฝ 98~99% ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด๋ฉฐ, ๋ถ์๋ฌผ์ด ์ฒจ๋จ ์ ์๊ณตํ์ ๋นํด ์ฌ์ ํ ๋๋ฌด ๋ง์ต๋๋ค.
- ํํ์ ์ ํ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํ๋ฐ์ฑ ํด๋ก๋ก์ค๋ ๋๋ ์ค๋์ ํ์ฑํ๋๋ก ๋ฐ์ํ์ฌ ๋ฐ๋ณต ์ฆ๋ฅ ๋ฐ ํํ ์ ์ ๋ฅผ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
- ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฆ์ฐฉ์ ์ ๋ ๊ฐ์ค๊ฐ ๊ฐ์ด๋ ํ๋ฉด์ด๋ ์ ๋ํ ์์คํ ์์ ๋ถํด๋์ด ๋งค์ฐ ์์ํ ๋ง๋๋ ๊ณผ๋ฆฝ์ ํ์ฑํฉ๋๋ค.
- ๊ฒฐ์ ์ฑ์ฅ์ดํฌ๋์คํค ์ธ์ถ๋ฒ ๋๋ ํ๋กํธ ์กด ์ ์ ๋ฒ์ผ๋ก ์ ์ด๋ ๋จ๊ฒฐ์ ์ ๋ง๋ค๊ณ , ์ฃผ์กฐ ๋๋ ๋ฐฉํฅ์ฑ ๊ณ ํ๋ฒ์ผ๋ก ๋ค๊ฒฐ์ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ๋ง๋ญ๋๋ค.
- ์จ์ดํผ ์ ์กฐ์๊ณณ์ ๋ฐฉํฅ์ด ์ ํด์ง๊ณ , ์ ๋จ๋๊ณ , ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ๊ฐ ๋ฅ๊ธ๊ฒ ๋ค๋ฌ์ด์ง๊ณ , ์ฐ๋ง๋๊ณ , ์์นญ๋ ํ ์ฅ์น ์ฒ๋ฆฌ๊ฐ ์์๋ฉ๋๋ค.
์์์ด ๊ณ ์จ์์ ํ์๋ฉ๋๋ค
์ ๊ธฐ๋ก ํํ ๋ฐ์์ ํ์ ํจ์ ๋ฐ์์ ํตํด ์ฐ์๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๊ณ ์ ์ด๋์ง๋ง ์ฌ์ ํ ์๋นํ ๋ถ์๋ฌผ์ด ํฌํจ๋ ์ฉ์ต ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์ฑํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ ์ ๊ฐ๋ฅํ ๊ฐ์ค๋ก ์ ํ๋ฉ๋๋ค
ํ๋ฐ์ฑ ํํฉ๋ฌผ ๋๋ถ์ ๋ถ์, ์ธ, ๊ธ์, ํ์ ํจ์ ์ข ๋ฐ ๊ธฐํ ์ค์ผ ๋ฌผ์ง์ ํํ ์ฒ๋ฆฌ๋ก ๋ถ๋ฆฌํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ด์๋ ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ฆ์ฐฉ๋ฉ๋๋ค
๊ฐ ์ฒ๋ฆฌ ๋จ๊ณ๊ฐ ์บ๋ฆฌ์ด ์๋ช ๊ณผ ์ ํญ๋ฅ ์ ๋ณ๊ฒฝํ ์ ์๋ ๋ถ์๋ฌผ์ ์ ๊ฑฐํ๊ฑฐ๋ ๋ถ๋ฆฌํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋งค์ฐ ๋์ ์๋๊ฐ ๋ฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค.
๊ฒฐ์ ๋ฐฉํฅ์ด ์ค์ ๋ฉ๋๋ค
์จ์ ๊ฒฐ์ ์ด ์ฑ์ฅ์ ์๋ดํ์ฌ ์์ฑ๋๋ ์๊ณณ์ด ์ ํ๋ ๋ฐฉํฅ๊ณผ ์ ์ด๋ ๋ํํธ ๋๋๋ฅผ ์ ์งํ๋๋ก ํฉ๋๋ค.
์๊ณณ์ ์จ์ดํผ๊ฐ ๋ฉ๋๋ค
์์ด์ด ์์์ ์์ ๋์คํฌ๋ฅผ ๋ง๋ญ๋๋ค. ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ๋ง๊ฐ, ํํ์ ์์นญ, ํํ๊ธฐ๊ณ์ ์ฐ๋ง๋ ํํํ๊ณ ๊ฒฐํจ์ด ์ ์ ํ๋ฉด์ ๋ง๋ญ๋๋ค.
์ฅ์น๋ ์ธต์ผ๋ก ๊ตฌ์ถ๋ฉ๋๋ค
์ฐํ, ์ฆ์ฐฉ, ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ, ์์นญ, ์ด์, ํ์ฐ, ์ธ์ฒ, ์ด๋๋ง ๋ฐ ๊ธ์ํ๋ ์จ์ดํผ ์ ๋ฐ์ ์ ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ง๋ญ๋๋ค.
์ฐ์ ํํ, ๊ฒฐ์ ์ ํ ๋ฐ ์์ง ํ๋ณธ
์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ํ๋ณธ์ ๋ณดํต ์ง์งํ์ ์์ง๋ณด๋ค๋ ์ ์กฐ ์ ํ์ ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๊ฐ์ฅ ์ ์ฉํ ์ถ์ฒ๋ ์ฐ์ ์ ์ด๋ฉฐ: ๊ณต์ , ์๋ ๋ฑ๊ธ, ์ฑ์ฅ ๋ฐฉ๋ฒ, ๊ฒฐ์ ๋ฐฉํฅ, ์ฝํ , ์ ์กฐ์ฌ, ๋ ์ง ๋ฐ ์๋ ์ฉ๋์ ๋๋ค.
๊ธ์๊ณตํ์ฉ ์ค๋ฆฌ์ฝ
๋ฐ์ ํ์๋ฉด, ๋ถ๊ท์นํ ๋ถ์๋ฌผ, ์ ๋ฆฌ ๊ฐ์ ํ์, ๋๋๋ก ํ๋์ ๋๋ ์ฒญ๋์ ํ๋ฉด ๋ณ์์ด ์๋ ์ด๋์ด ๊ฐ์ฒ ํ์ ๋ฉ์ด๋ฆฌ์ ๋๋ค.
๋ค๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ง๋
์ค์ฌ ํ๋ผ๋ฉํธ ์ฃผ์์ ์๋ฆฌ ๋ ๋ฏํ, ๊ฒฐ์ ๋ชจ์์, ๊ณผ๋ฆฝ์ฑ ๋๋ ์ฝ๋ฆฌํ๋ผ์ ๊ฐ์ ํ๋ฉด์ ๊ฐ์ง ๊ณ ์๋ ์ฆ์ฐฉ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋๋ค.
๋ค๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ณผ๋ฆฝ
๊ฒฐ์ ์ฑ์ฅ ๋๋ ํ์๊ด ์์ฐ์์ ํจ์จ์ ์ธ ์ทจ๊ธ๊ณผ ์ฉ์ต์ ์ํด ๋ง๋ค์ด์ง ์์ ์์ ํ๋ฆ ์ ์์ ๋๋ค.
๋จ๊ฒฐ์ ์๊ณณ
๋ฐฉํฅ, ์ง๊ฒฝ, ์ฐ์ ์์ค, ๋ํํธ ๋ฐ ์ ํญ๋ฅ ์ด ์ ์คํ๊ฒ ์ ์ด๋๋ ์ํตํ ๋๋ ํ์ฑ๋ ๊ฒฐ์ ์ ๋๋ค.
๊ฑฐ์ธ ๊ดํ ์จ์ดํผ
๋ฐฉํฅ ์ง์ ์ ์ํ ๋ ธ์น ๋๋ ํ๋ซ์ด ์๋ ์๊ณ ๋งค์ฐ ํํํ ์๋ฐ์ ๋๋ค. ์์์ ์ฐํ๋ฌผ, ์งํ๋ฌผ, ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ๋๋ ๋ค์ธต ํ๋ฆ์์ ์ฌ ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค๊ฒฐ์ ์จ์ดํผ
๋ง์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ํฌํจํ๋ ์ฌ๋ผ์ด์ค๋ก, ์ข ์ข ์์นญ๋ ๊ฒฝ๊ณ, ๋ฐฉํฅ์ฑ ์กฐ์ง ๋๋ ๋ฐ์ฌ์จ ์ฐจ์ด๋ก ๋๋ฌ๋ฉ๋๋ค.
์์ง์ ์ค๋ฆฌ์ฝ
์ผ๋ฐ์ ์ธ ์์ฐ ๊ด๋ฌผ ์ฑ์ฅ๊ณผ ๋ฌ๋ฆฌ ์ ์ด๋ ๋๊ฐ ํ์ ์์ฑ๋ ๊ฐ์ง ๋ชจ์์ ์ฉ์ต ์ฑ์ฅ ๊ฒฐ์ ํํ์ ๋๋ค.
๋น์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ ํ๋ฆ
์ ์, ๊ฒ์ถ๊ธฐ, ๋์คํ๋ ์ด ๋ฐ ํ์๊ด ๊ตฌ์กฐ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์์ ์ฆ์ฐฉ์ธต์ผ๋ก, ๋ ๋ฆฝ์ ์ธ ์ง๊ด ๊ฒฐ์ ์ด ์๋๋๋ค.
์ดํฌ๋์คํค ์ค๋ฆฌ์ฝ
์ค๋ฆฌ์นด ๋๊ฐ๋์์ ์ฉ์ต ์ํ๋ก ์ฑ์ฅํฉ๋๋ค. ๊ธฐ๊ณ์ ๊ฐ๋์ ๊ฒฐํจ ๊ฑฐ๋์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ ์ ์ด๋ ์ฐ์๋ฅผ ํฌํจํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํ๋กํธ ์กด ์ค๋ฆฌ์ฝ
๋๊ฐ๋ ์์ด ๋ง๋๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ์ข์ ์ฉ์ต ๊ตฌ์ญ์ด ์ด๋ํ๋ฉฐ, ๋งค์ฐ ๋ฎ์ ์ฐ์ ํจ๋๊ณผ ๋์ ์ ํญ๋ฅ ์ ์์ฑํฉ๋๋ค.
ํ์๊ด ๋ค๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ
์ญ์ฌ์ ์ผ๋ก ๋ง์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ํฌํจํ๋ ๋ธ๋ก์ผ๋ก ์ฃผ์กฐ๋์์ต๋๋ค. ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๊ฒฝ๊ณ์ ๋ถ์๋ฌผ์ ์๋ํ ๋ฐ ์ ์คํ ์ ์ค๊ณ๊ฐ ํ์ํฉ๋๋ค.
๊ฐ๊ณต๋ ๋ค์ด
ํธ๋์ง์คํฐ, ์ผ์, ์ํธ ์ฐ๊ฒฐ, ๊ดํ ๊ตฌ์กฐ ๋๋ ํ ์คํธ ํจํด์ ํฌํจํ๋ ์ ๋จ๋ ์จ์ดํผ ์กฐ๊ฐ์ ๋๋ค. ๋ณด์ด๋ ์์์ ์ฃผ๋ก ํ๋ฉด ํ๋ฆ์ ์ํฉ๋๋ค.
์ญ์ฌ์ ์จ์ดํผ
์๋ณ ๊ฐ๋ฅํ ์ฐ๊ตฌ ํ๋ก๊ทธ๋จ, ์ ์กฐ ๋ผ์ธ, ์ฅ์น ์ธ๋ ๋๋ ๊ธฐ๊ด์์ ๋ฌธ์ํ๋ ์จ์ดํผ๋ ์ฌ๋ฃ์ ๊ฐ์น ์ด์์ ๊ธฐ์ ์ ์ค์์ฑ์ ๊ฐ์ง ์ ์์ต๋๋ค.
ํฌ๊ท ์ฒ์ฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ
์์ฐ์ ์ธ ์์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ฏธ์ธํ ํฌ๊ธฐ๋ก, ๋ถ์์ ์ผ๋ก ํ์ธ๋๋ฉฐ, ํฐ ๋์จํ ๊ฒฐ์ ์ผ๋ก ํ๋งค๋๊ธฐ๋ณด๋ค๋ ์ด์์ด๋ ํน์ดํ ์ง์ ๋งคํธ๋ฆญ์ค์ ๋ดํฌ๋์ด ์์ต๋๋ค.
ํ๋ฉด ํํ, ๋ฐ๋ง ์์ ๋ฐ ์ ์ธ์ ๋น
๋งจ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์ฐ์ค๋ฝ๊ฒ ๋ฐ์ ํ๋์, ๋ณด๋ผ์ ๋๋ ๊ธ์์ด ์๋๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์์์ ๋ณดํต ์๊ณ ํฌ๋ช ํ ๋ง์ ์ํ ๊ฒฝ๊ณ์์ ๋น์ด ๋ฐ์ฌ๋ ๋ ๋ฐ์ํฉ๋๋ค. ์ฐํ๋ฌผ ๋๋ ์งํ๋ฌผ ๋๊ป์ ์์ ๋ณํ๊ฐ ๊ฐ์ญ ์์์ ๊ทน์ ์ผ๋ก ๋ฐ๊ฟ๋๋ค.
์์ฐ ์ฐํ๋ฌผ
๊ณต๊ธฐ ๋ ธ์ถ์ ํ๋ฉด์ ํํ์ ์ผ๋ก ํจ์๋ฒ ์ดํธํ๋ ๋งค์ฐ ์์ ์ฐํ์ธต์ ์์ฑํ์ง๋ง ์ ๋ช ํ ๊ฐ์ ์์์ ๋ง๋ค๊ธฐ์๋ ๋๋ฌด ์์ ์ ์์ต๋๋ค.
์ด ์ฐํ๋ฌผ
์ ์ด๋ ์ฐํ๋ ๋๊ป๋ฅผ ๊ดํ์ ์ผ๋ก ์ธก์ ํ๊ณ ์ ์ฐ, ๋ง์คํน ๋ฐ ํ๋ฉด ์ ์ด๋ฅผ ์ํด ์ค๊ณํ ์ ์๋ ์กฐ๋ฐํ SiOโ ์ธต์ ๋ง๋ญ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ ์งํ๋ฌผ
SiโNโ ์ฝํ ์ ํจ์๋ฒ ์ด์ , ์๋ ฅ ์ ์ด, ๋ง์คํน ๋ฐ ๋ฐ์ฌ ๋ฐฉ์ง์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ค์ ๊ฐ์ญ ์์์ ์ฐํ๋ฌผ ์์๊ณผ ์ ์ฌํ๊ฑฐ๋ ๋ ๊ฐํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ๋ฐ ๊ณต์ ํ๋ฆ
์ ๊ธฐ ๋ ์ง์คํธ, ๊ธ์, ์ ์ ์ฒด ๋ฐ ๋ค์ธต ์ ์ธต์ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ณธ์ฒด ์์์ ๋ํ๋ด์ง ์๋ ์ถ๊ฐ ์์์ ๋ํฉ๋๋ค.
์ ์ธ์ ํฌ๋ช ์ฑ
ํก์ ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ์๋์์ ์ถฉ๋ถํ ์์ํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ์ธ์ ์คํํธ๋ผ ์ผ๋ถ๋ฅผ ํฌ๊ณผํ๋ฉฐ ๋์ ๊ตด์ ๋ฅ ์ ๊ฐ์ง๋๋ค.
์์ ์บ๋ฆฌ์ด ํก์
๊ณผ๋ํ ๋ํ์ ์ ์ธ์ ํก์ํ๋ ์ด๋ ์บ๋ฆฌ์ด๋ฅผ ๋์ ํ์ฌ ์ ์ฉํ ๊ดํ ์ฐฝ์ ์ขํ๋๋ค.
| ๊ด์ฐฐ๋ ํน์ง | ๊ฐ๋ฅํ ์์ธ | ํด์ ์ ์ฃผ์ |
|---|---|---|
| ๊ท ์ผํ ๊ฐ์ฒ ํ์ ํ๊ดด๋ฉด | ์ฅ์์ฉ ํ๋ฉด๋ง์ด ๊ฑฐ์ ์๋ ์ ์ ํ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ | ๊ธ์ ๋ถ์๋ฌผ์ด ํ๋ฉด์ ์ด๋ก๊ฒ ํ๊ฑฐ๋ ์ผ๋ฃฉ์ง๊ฒ ํ ์ ์์ต๋๋ค. |
| ํ๋์, ๋ณด๋ผ์, ์ฅ๋ฏธ์ ๋๋ ํธ๋ฐ์ ์จ์ดํผ | ์ฐํ๋ฌผ, ์งํ๋ฌผ, ๋ ์ง์คํธ ๋๋ ๋ค์ธต ๊ณต์ ์์ ๋ฐ์ํ๋ ๋ฐ๋ง ๊ฐ์ญ | ์์๋ง์ผ๋ก ๋ํํธ ์ข ๋ฅ, ์๋ ๋๋ ์ฅ์น ๊ธฐ๋ฅ์ ์ ์ ์์ต๋๋ค. |
| ๊ฑฐ์ธ์ฒ๋ผ ๊ฒ์ ์ฐ๋ง๋ฉด | ๊ฐ์ ํก์์ ๋งค์ฐ ํํํ ๋ฐ์ฌ๋ฉด์ ๊ฒฐํฉ | ์ด๋์ด ์ธ๊ด์ด ์ฌ๋ฃ๊ฐ ๋น์ ์ง์ด๊ฑฐ๋ ๋ถ์๋ฌผ์ด ์ ๋ค๋ ๋ป์ ์๋๋๋ค. |
| ์๋ฆฌ ๋ ๋ค๊ฒฐ์ ํ๋ฉด | ๋ง์ ์์ ๋ฉด, ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ๊ณ, ์ฆ์ฐฉ๋ ๊ฒฐ์ ๋๋ ํํ์ ์์นญ | ์ง๊ฐ์ ์์ฐ ๊ฒฐ์ ํ๊ฐ ์๋๋ผ ์ ์กฐ ๊ณผ์ ์์ ๋ฐ์ํ ์ ์์ต๋๋ค. |
| ์จ์ดํผ์ ๋ฐฉ์ฌํ ๋๋ ์์ฉ๋์ด ์๊ตญ | ์ฐ๋ง, ์ธ์ฒ, ์ฆ์ฐฉ ๋ถ๊ท ์ผ, ๊ฒฐ์ ์ฑ์ฅ ์ค๋ฌด๋ฌ ๋๋ ๊ณต์ ์๋ฅ๋ฌผ | ์ ์กฐ ์ด๋ ฅ์ ์์๊ณผ ๊ตฌ๋ถํ๋ ค๋ฉด ์ ๋ฌธ ํ๋ฏธ๊ฒฝ ๊ฒ์ฌ๊ฐ ํ์ํ ์ ์์ต๋๋ค. |
| ๊ท์น์ ์ธ ๋ ธ์น ๋๋ ํ๋ซ | ์ ์กฐ๋ ๋ฐฉํฅ๊ณผ ์ทจ๊ธ ํน์ง์ ๋๋ค. | ์์ฐ์ ์ธ ์ ๋จ ์์์ด ์๋๋๋ค. |
์์ฉ: ์์ ํ์ฑ ํํ์์ ํ๋ก๊ทธ๋๋จธ๋ธ ํ๋ฉด๊น์ง
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ํฅ๋ ฅ์ ์ปดํจํฐ ํ๋ก์ธ์๋ฅผ ํจ์ฌ ๋์ด์ญ๋๋ค. ๊ทธ ํํฉ๋ฌผ์ ์ง์งํ์ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ง๋ฐฐํ๋ฉฐ, ์ ์ ๋ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์๋์ง ๋ณํ, ๊ฐ์ง, ๊ธฐ๊ณ, ๊ดํ, ํํ ๋ฐ ์ ๋ฐ ์ธก์ ์ ์ง์ํฉ๋๋ค.
์ ๋ฆฌ ๋ฐ ์ธ๋ผ๋ฏน
์ค๋ฆฌ์นด์ ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๋ ์ฐฝ๋ฌธ, ์ฌ์ , ๊ดํ ์ ๋ฆฌ, ์๊ธฐ, ๋ดํ๋ฌผ, ์ ์ฝ, ์คํ์ค ๊ธฐ๊ตฌ ๋ฐ ๊ธฐ์ ์ธ๋ผ๋ฏน์ ํ์ฑํฉ๋๋ค.
์๋ฉํธ ๋ฐ ์ฝํฌ๋ฆฌํธ
์นผ์ ์ค๋ฆฌ์ผ์ดํธ๋ ํฌํ๋๋ ์๋ฉํธ ์ํ์ ์ฝํฌ๋ฆฌํธ ๊ฐ๋ ๋ฐ๋ฌ์ ๋๋ถ๋ถ์ ์ ์ดํฉ๋๋ค.
์ง์ ํ๋ก
์ค๋ฆฌ์ฝ ์จ์ดํผ๋ ๋ ผ๋ฆฌ, ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ, ์๋ ๋ก๊ทธ ์ ์, ์ ๋ ฅ ์ ์ด, ํต์ ๋ฐ ํผํฉ ์ ํธ ์์คํ ์ ๋ด๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํ์๊ด ๋ฐ์
๊ฒฐ์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํ๋น์ ํก์ํ๊ณ ์ ํฉ๋ถ์์ ๊ด์์ฑ ์ด๋ฐ์ฒด๋ฅผ ๋ถ๋ฆฌํ๋ฉฐ ๋๋ถ๋ถ์ ๊ธฐ์กด ํ์๊ด ๋ชจ๋์ ๊ธฐ๋ฐ์ ์ ์งํฉ๋๋ค.
MEMS ๋ฐ ์ผ์
๋ฏธ์ธ ๊ฐ๊ณต๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฐ์๋๊ณ, ์๋ ฅ ์ผ์, ๋ง์ดํฌ๋กํฐ, ์์ด๋ก์ค์ฝํ, ์ ์ฒด ์์คํ ๋ฐ ๊ณต์ง ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ์ฑํฉ๋๋ค.
์ ์ธ์ ๋ฐ ๊ด์ํ
๋์ ๊ตด์ ๋ฅ ๊ณผ ์ ์ธ์ ํฌ๊ณผ์ฑ์ ๋ํ๊ด, ๋ณ์กฐ๊ธฐ, ๊ฒ์ถ๊ธฐ, ๋ ์ฆ ๋ฐ ์ง์ ๊ดํ๋ก๋ฅผ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
์ผ๊ธ ํฉ๊ธ
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ฃผ์กฐ์ฑ์ ๊ฐ์ ํ๊ณ ๊ฐ์ฒ ์ ํ์ฐ์ ๋๊ณ ์๋ฃจ๋ฏธ๋ ํฉ๊ธ์ ํน์ฑ์ ๋ณํ์ํค๋ฉฐ ๋ด์ด์ฑ ์ค๋ฆฌ์ฌ์ด๋์ ์ฐธ์ฌํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฌ๋ฃ
์ฐ์ ์ฉ ์ค๋ฆฌ์ฝ ํํ์ ๊ถ๊ทน์ ์ผ๋ก ์ค๋ํธ, ์๋ผ์คํ ๋จธ, ์คํ์ , ์บก์ํ์ , ์๋ฃ์ฉ ์ฌ๋ฃ ๋ฐ ๋ด์ด์ฑ ํด๋ฆฌ๋จธ๋ฅผ ๊ณต๊ธํฉ๋๋ค.
์ ๋ฐ ๊ณ์ธก
ํนํ ์์ํ๊ณ ๋์์์๊ฐ ์ ์ด๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ฒฐ์ ๊ณผ ๊ตฌ์ฒด๋ ์น์ ์ธก์ ๋ฐ ๊ธฐ๋ณธ ์์ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ง์ํฉ๋๋ค.
์์ ์ฅ์น
๋์์์ ์ ์ ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์คํ ๊ธฐ๋ฐ ์์ ์ํ ์ฃผ๋ณ์ ์๊ธฐ ์ก์์ ์ค์ด๊ณ ์ฑ์ํ ์ ์กฐ ํ๋ซํผ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
์๋ณ ๋ฐ ํํ ์ ์ฌํ
๋ฒํฌ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ธ์์ฑ ์ธ๊ด์ ๋นํด ๋ฎ์ ๋ฐ๋, ๋ถ์์ง๊ธฐ ์ฌ์ด ์กฐ๊ฐ๊ป์ง ๋ชจ์ ํ์, ์ง์ ํ์, ๋จ๋จํ ํ๋ฉด, ๊ธ์์ฑ ์ฐ์ฑ ๋ถ์ฌ, ์ฐ์ ์ ์ถ์ฒ์ ์กฐํฉ์ผ๋ก ๊ฐ์ฅ ์ ๋ขฐ์ฑ ์๊ฒ ์ธ์๋ฉ๋๋ค. ์์ฑ๋ ์จ์ดํผ๋ ํ์ฅ ๊ฒ์ฌ๋ณด๋ค ๊ธฐํํ์ ํํ, ๋ ธ์น, ์ฐ๋ง ๋ฐ ๊ฐ๊ณต์ธต์ผ๋ก ๋ ์ฝ๊ฒ ์๋ณ๋ฉ๋๋ค.
๋นํ๊ดด ๊ฒ์ฌ ์์
๋ฐ์ ๋ฉด ํ๋๋ฅผ ๊ฒ์ฌํ๊ธฐ ์ ์ ์ ์ฒด ๋ฌผ์ฒด๋ฅผ ๊ด์ฐฐํ์ธ์. ์ฐ์ ์ฉ ์ฌ๋ฃ์ ๊ฒฝ์ฐ ํฌ์ฅ, ๋ผ๋ฒจ, ๊ณต์ ํ์, ๋ฐฉํฅ ํ์, ๊ด๋ จ ํ๋์จ์ด๊ฐ ํ์๋ฉด ์์ฒด๋ณด๋ค ๋ ๋ง์ ์ ๋ณด๋ฅผ ์ ๊ณตํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ๋ฌผ์ฒด ์ข ๋ฅ ์๋ณํ๊ธฐ์ ๋ จ์ฉ ์ค๋ฆฌ์ฝ, ๋ค๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ, ๋จ๊ฒฐ์ , ์จ์ดํผ, ๋ค์ด, ์ฝํ ๋ ๊ธฐํ, ํฉ๊ธ ๋๋ ๋ชจ์กฐํ์ ๊ตฌ๋ถํฉ๋๋ค.
- ๋ฐ๋๋ฅผ ์ ์ฑ์ ์ผ๋ก ํ๊ฐํ๊ธฐ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋น์ทํ ํฌ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ ๋, ์ ์ฒ ์, ๊ฐ์ฒ ๋๋ ํํ๊ท์์ ๋นํด ์์์ธ๋ก ๊ฐ๋ณ๊ฒ ๋๊ปด์ง๋๋ค.
- ํ์ ๊ธฐํํ์ ๊ฒ์ฌํ์ธ์๊ป์ง ๋ชจ์ ๊ณก์ , ๋ ์นด๋ก์ด ๋ชจ์๋ฆฌ, ๋ฐ์ฌ๋ฉด, ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๊ฒฝ๊ณ ๋ณํ๋ฅผ ์ฐพ์๋ณด์ธ์.
- ํ๋ฉด ์ ์ธต์ ๊ฒ์ฌํ์ธ์์์์ด ์ฐํ๋ฌผ, ์งํ๋ฌผ, ๊ธ์, ๋ ์ง์คํธ, ์ค์ผ ๋๋ ์ฅ์ ์ฝํ ์์ ์ค๋์ง ํ์ธํ์ธ์.
- ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ฐพ์๋ณด์ธ์๋ค๊ฒฐ์ ์ฌ๋ฃ๋ ๋ฉด, ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ, ๋ถ๋ฆฌ๋ ๋ถ์๋ฌผ, ๋ถ๊ท์นํ ํ์ ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ๋๋ฌ๋ผ ์ ์์ต๋๋ค.
- ์์ฑ์ ํ์ธํ์ธ์์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฐ์์ฑ์ด ์๋๋ฉฐ, ๊ฐํ ๋ฐ์์ ํ๋ก์ค๋ฆฌ์ฝ, ๋ถ์ฐฉ๋ ๊ธ์ ๋๋ ์ค์ผ์ ์์ฌํฉ๋๋ค.
- ์จ์ดํผ ๊ธ๊ธฐ ํ ์คํธ๋ฅผ ํผํ์ธ์๊ฒฝ๋ ํ ์คํธ๋ ์ฐ๋ง๋ ํ๋ฉด์ ํ๊ดดํ๊ณ ๋ชจ์๋ฆฌ์์ ๊ท ์ด์ ์ ๋ฐํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ํ์ํ ๋ ๋ถ์์ ์ฌ์ฉํ์ธ์๋ผ๋ง ๋ถ๊ด๋ฒ, X์ ํ์ , ์ ํญ๋ฅ , ์ ์ธ์ ํฌ๊ณผ, ์กฐ์ฑ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์ฌ๋ฃ์ ๊ณต์ ์ํ๋ฅผ ํ์ธํ ์ ์์ต๋๋ค.
| ์ฌ๋ฃ | ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ๋น์ทํ ์ ์๋์ง | ์ ์ฉํ ๊ตฌ๋ถ์ |
|---|---|---|
| ์์ ๋๋ ์ค๋ฆฌ์นด ์ ๋ฆฌ | ์ ์ฌํ ๊ฒฝ๋, ์กฐ๊ฐ๊ป์ง ๋ชจ์ ํ์, ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ํ๋ถํ ํํ ์กฐ์ฑ. | ์์๊ณผ ์ ๋ฆฌ๋ SiOโ๋ก ๋ณดํต ํฌ๋ช ํ๊ฑฐ๋ ๋ฐํฌ๋ช ํ๋ฉฐ ๋น๊ธ์์ฑ์ ๋๋ค; ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฐ์๊ด์ ์์ ์ด๋ก๊ณ ๋ถํฌ๋ช ํฉ๋๋ค. |
| ์ค๋ฆฌ์ฝ ์นด๋ฐ์ด๋ | ๊ธ์์ฑ ๋๋ ๋ฌด์ง๊ฐ ๋น ํ๋ฉด์ ๊ฐ์ง ์ด๋์ด ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ ๋ฌผ์ง. | SiC๋ ํจ์ฌ ๋ ๋จ๋จํ๊ณ ๋ฐ๋๊ฐ ๋์ผ๋ฉฐ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ ๊ฐํ ์ธ๊ณต ๋ฌด์ง๊ฐ ๋น๊น์ด๋ ๊ฒฐ์ ์ง ํ์์ฒด๋ฅผ ๋ณด์ ๋๋ค. |
| ๊ฐ๋ ๋ | ๋ฉ ํ์ ๊ธ์ ์ธ๊ด๊ณผ ๊นจ์ง๊ธฐ ์ฌ์ด ์ฑ์ง. | ๊ฐ๋ ๋๋ ํจ์ฌ ๋ฌด๊ฒ๊ณ ๋ถ๋๋ฌ์ฐ๋ฉฐ ์๋ฒฝํ ์ ๋ฐฉ ๊ฒฐ์ ๋ฉด์ ๋ณด์ ๋๋ค. |
| ํค๋งํ์ดํธ | ๊ฐ์ฒ ํ์ ๊ธ์์ฑ ๋๋ ์ค๊ธ์ ํ๋ฉด. | ํค๋งํ์ดํธ๋ ๋ ๋ฐ๋๊ฐ ๋๊ณ ์ ๊ฐ์ ์ค๋ฌด๋ฌ๋ฅผ ๋ง๋ญ๋๋ค. |
| ํ์ฐ | ์ด๋์ด ํ์ ์์, ์ค๊ธ์ ๊ดํ, ์ ๊ธฐ ์ ๋์ฑ. | ํ์ฐ์ ๋งค์ฐ ๋ถ๋๋ฝ๊ณ ๊ธฐ๋ฆ์ง๋ฉฐ ์ด๋์ด ์๊ตญ์ ๋จ๊ธฐ๊ณ ์ ์ฐํ ์กฐ๊ฐ์ผ๋ก ์ชผ๊ฐ์ง๋๋ค. |
| ํ๋ก์ค๋ฆฌ์ฝ | ํ๋ถํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํฌํจํ ์ฐ์ ์ฉ ์ด๋์ด ๊ธ์ ๋ฉ์ด๋ฆฌ. | ๋ ๋์ ๋ฐ๋, ๊ฐ๋ฅํ ์์ฑ, ๊ธ์ ํฉ๊ธ ์, ์๋นํ ์ฒ ํจ์ ํํ ์กฐ์ฑ. |
| ๊ธ์ ์ ๋ฆฌ ๋๋ ์ฌ๋๊ทธ | ์ด๋์ด ๋ฐ์ฌ ํ์๊ณผ ๋ถ๊ท์นํ ์ฐ์ ํํ. | ๊ธฐํฌ, ํ๋ฆ ๋ฌด๋ฌ, ๋ฐ๋ ๋ณํ, ํผํฉ ์กฐ์ฑ, ๊ฒฐ์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ ํน์ฑ ๋ถ์ฌ. |
| ์ฝํ ๋ ์ ๋ฆฌ ์จ์ดํผ | ๋ค์ฑ๋ก์ด ๋ฐ๋ง์ด ์๋ ํํํ ์ํ ๊ธฐํ. | ๋ชจ์๋ฆฌ ํฌ๊ณผ, ๋ฎ์ ๋ฐ๋, ํ์ ๊ฑฐ๋, ๊ดํ ํ ์คํธ๋ก ์ ๋ฆฌ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ตฌ๋ถํฉ๋๋ค. |
๋ถ๋ฆฌ, ๋ฐ๋์ฒด ๊ณผํ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ค๋ฆฌ์ฝ ํ๋ซํผ์ ๋ถ์
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ญ์ฌ๋ ๊ด๋ฌผ ๋ถ์์์ ํํ์ ๋ถ๋ฆฌ, ๊นจ์ง๊ธฐ ์ฌ์ด ์คํ์ค ์ฌ๋ฃ์์ ์ด์์ ๊ฒฐ์ ์ฒด๋ก, ๊ฐ๋ณ ์ ๋ฅ๊ธฐ์์ ์ง์ ์์คํ ์ผ๋ก ์ด๋ํด ์์ต๋๋ค. ๊ฒฐ์ ์ ์ธ ์ ํ์ ์ ๋จ์ํ ์์๋ฅผ ๋ฐ๊ฒฌํ ๊ฒ์ด ์๋๋ผ ๊ทธ ์๋, ํ๋ฉด, ๊ฒฐ์ ๊ฒฐํจ ๋ฐ ๊ณ๋ฉด์ ์ ์ดํ๋ ๋ฒ์ ๋ฐฐ์ฐ๋ ๊ฒ์ด์์ต๋๋ค.
๊ท์๋ ๋ฏธ์ง์ ์์ ์ฐํ๋ฌผ๋ก ์ธ์๋ฉ๋๋ค.
ํํ์๋ค์ ์์๊ณผ ๊ด๋ จ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ์ผ๋ฐ ํ์์ ์ ํญํ๋ ์ฑ๋ถ์ ํฌํจํ๋ค๋ ๊ฒ์ ์ดํดํ์ง๋ง, ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ฐ์์ ๊ฐํ๊ฒ ๊ฒฐํฉํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋ถ๋ฆฌ๋ ์ด๋ ค์ ์ต๋๋ค.
๋ถ์๋ฌผ์ด ํฌํจ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ค๋น๋๊ณ ์์ด ์ด๋ฆ์ด ๋ฐ์ ํฉ๋๋ค.
์ด๊ธฐ ํ์ ์คํ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ํจ์ ๋ฌผ์ง์ด ์์ฑ๋์๊ณ , โ์ค๋ฆฌ์ฝโ์ด๋ผ๋ ์ด๋ฆ์ด ๊ธ์ ์์ ์ด๋ฆ์ ๋ ์ง์ ์ ์ผ๋ก ๋ชจ๋ธ๋ก ํ ํํ๋ฅผ ๋์ฒดํ์ต๋๋ค.
์์ค ์ผ์ฝฅ ๋ฒ ๋ฅด์ฒผ๋ฆฌ์ฐ์ค๊ฐ ๋น์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ถ๋ฆฌํฉ๋๋ค.
๋ฒ ๋ฅด์ฒผ๋ฆฌ์ฐ์ค๋ ์๋นํ ์์ํ ์์ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์์ฐํ๊ณ ์ค๋ช ํ์ฌ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํํ์ ์ ์ฒด์ฑ์ ๊ธฐ์ด๋ฅผ ํ๋ฆฝํ์ต๋๋ค.
๊ฒฐ์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ค๋น๋ฉ๋๋ค.
์๋ฆฌ ์ํธํด๋ ์ด ๋๋น์ด ๊ฒฐ์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ป์ด ๊ทธ ๊ดํ, ์ทจ์ฑ ๋ฐ ๊ตฌ์กฐ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ฉ์ดํ๊ฒ ํ์ต๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ ์ ๊ฒ์ถ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ๋ฉ๋๋ค.
์ ์ ์ด ์ฅ์น์ ๊ฒฐ์ ๊ฒ์ถ๊ธฐ๋ ๊ณ ์๋ ๊ฒฐ์ ์ฑ์ฅ์ด ํ๋ ๋ฐ๋์ฒด ๊ณตํ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํ๊ธฐ ์ ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ์์ฐํ์ต๋๋ค.
๊ณ ์๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํธ๋์ง์คํฐ์ ์ค์ฉ์ ์ธ ํ์์ ์ง๋ฅผ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
์ ์ , ๋ํํธ ์ ์ด, ์ ํฉ ํ์ฑ ๋ฐ ๊ฒฐ์ ์ฑ์ฅ์ผ๋ก ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ๋ํ ์ ์ ๋ ์ค์ฉ์ ์ธ ๋์์ด ๋์์ต๋๋ค.
ํ๋ฉด ์๋ํ, ํ๋ฉด ์ฒ๋ฆฌ ๋ฐ MOS ์ฅ์น๊ฐ ์ ์กฐ ๋ฐฉ์์ ํ์ ํฉ๋๋ค.
์ ์ด๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ-์ฐํ๋ฌผ ๊ณ๋ฉด ๋๋ถ์ ํ๋ฉด ๋ณดํธ, ๊ดํ์ ์ฅ์น ์ ์ ๋ฐ ๊ณ ๋ฐ๋ ์ง์ ํ๋ก ์ ์์ด ๊ฐ๋ฅํด์ก์ต๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํ์๊ด, MEMS, ๊ด์ํ, ๊ณ์ธกํ ๋ฐ ์์ ์ฐ๊ตฌ๋ก ํ์ฅ๋ฉ๋๋ค.
๋์ผํ ์ ์กฐ ํ๋ซํผ์ด ํ์ฌ ์๋์ง ๋ณํ, ๊ธฐ๊ณ ์ผ์, ๊ดํ ํ๋ก, ๋์์์ ์ ์ด ๊ฒฐ์ ๋ฐ ๋๋ ธ์ค์ผ์ผ ์ฅ์น๋ฅผ ์ง์ํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ๊ธฐ์ด ์ฌ๋ฃ๊ฐ ๋ ๊ฒ์ ์์ฐ ์ํ์์ ํนํ ์ ๋์ฑ์ด ์ข์์๊ฐ ์๋๋๋ค. ์ ๋์ฑ, ํ๋ฉด, ๊ธฐํํ์ ๊ตฌ์กฐ ๋ฐ ๊ณ๋ฉด์ ๋งค์ฐ ์ ๋ฐํ๊ฒ ์ ์ดํ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๋๋ค.
ํ๊ฐ, ์ถ์ฒ ๋ฐ ์๋์ ์ค์์ฑ
์ค๋ฆฌ์ฝ์๋ ๋ณดํธ์ ์ธ ์์ง ๋ฑ๊ธ ์ฒด๊ณ๊ฐ ์์ต๋๋ค. ๊ฑฐ์น ์ ๋ จ ๋ฉ์ด๋ฆฌ, ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ง๋, ๊ณผํ์ฉ ๋จ๊ฒฐ์ , ์์ฐ์ฉ ์จ์ดํผ, ํจํดํ๋ ๋ค์ด, ์ด๊ธฐ ํ์์ ์ง, ์ญ์ฌ์ ์ง์ ํ๋ก, ํฌ๊ท ์ฒ์ฐ ๊ฒฐ์ ์ ๊ฐ๊ฐ ๋ค๋ฅธ ์ฐ์ ์์๋ฅผ ํ์๋ก ํฉ๋๋ค.
์ฌ๋ฃ ์ ์ฒด์ฑ
๋์์ด ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ธ์ง, ํฉ๊ธ์ธ์ง, ํํ๊ท์์ธ์ง, ์ฝํ ๋ ์ ๋ฆฌ์ธ์ง, ๊ฐ๊ณต๋ ๋ฐ๋์ฒด์ธ์ง, ๋๋ ๋ค๋ฅธ ์ฐ์ ์ฉ ์ฌ๋ฃ์ธ์ง ํ์ธํฉ๋๋ค.
๊ฒฐ์ ํํ
๋จ๊ฒฐ์ , ๋ค๊ฒฐ์ , ์์ง์, ๋น์ ์ง ํ๋ฆ, ๋ค๊ณต์ฑ, ํ์, ์ ๋จ, ์ฐ๋ง ๋๋ ์ฆ์ฐฉ ํํ๋ฅผ ๊ธฐ๋กํฉ๋๋ค.
ํ๋ฉด ๋ฌด๊ฒฐ์ฑ
๋ชจ์๋ฆฌ ์นฉ, ๊ท ์ด, ๊ธํ, ํ๋ฆผ, ์ง๋ฌธ, ์ฐํ ์์, ๋ฐ๋ฆฌ, ๋ถ์ ๋ฐ ๊ธ์ํ ํ์์ ๊ฒ์ฌํฉ๋๋ค.
๊ณต์ ์ถ์ฒ
์ ์กฐ์ ์ฒด, ์ฑ์ฅ ๋ฐฉ๋ฒ, ์์ค, ์จ์ดํผ ๋ฐฉํฅ, ๋ํํธ, ์ ํญ๋ฅ , ์ง๊ฒฝ, ๋ ์ง ๋ฐ ์๋๋ ์ฉ๋๊ฐ ์๊ฐ์ ์๋ฒฝ์ฑ๋ณด๋ค ๋ ์ค์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ญ์ฌ์ ๋งฅ๋ฝ
์ฐ๊ตฌ ๋ผ๋ฒจ, ์ ์ ์ธ๋, ๊ธฐ๊ด, ์ฅ์น ์ ํ, ํฌ์ฅ ๋ฐ ๋ฌธ์๋ ๊ธฐ์ ์ ์ค์์ฑ์ ์ ์ฆํ ์ ์์ต๋๋ค.
์์ฐ ์ถ์ฒ
์์ฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฃผ์ฅ์ ์์น, ๋ชจ์ฌ, ๋ถ์ ์ฆ๊ฑฐ ๋ฐ ์๋ ๋งคํธ๋ฆญ์ค ๋ณด์กด์ด ํ์ํฉ๋๋ค.
| ๋ฌผ์ฒด ์ ํ | ์ฐ์ ์์ ๊ธฐ๋ฅ | ๊ฒ์ฌํ ์ |
|---|---|---|
| ์ผ๊ธ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ฉ์ด๋ฆฌ | ๋ํ์ ์ธ ํ์, ์ฐ์ ์ถ์ฒ, ๋ถ์๋ฌผ ์ง๊ฐ, ํฌ๊ธฐ ๋ฐ ์์ ๋ ํ๋ฉด. | ํ๋ก์ค๋ฆฌ์ฝ ๋์ฒด, ์ฌ๋๊ทธ, ์ฝํ , ์ฐํ, ๋ ์นด๋ก์ด ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ๋ฐ ๋ฌธ์ํ๋์ง ์์ ์ถ์ฒ. |
| ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ง๋ ๋๋ ๊ณผ๋ฆฝ | ์ฆ์ฐฉ ํํ, ์๋ ๋ฌธ์, ์์ฐ ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฐ ์จ์ ํ ๊ตฌ์กฐ. | ์ค์ผ, ์ทจ๊ธ ์์ฌ๋ฌผ, ํ์๋ ํ๋ผ๋ฉํธ, ์ฝํ ๋ฐ ์คํด์ ์์ง๊ฐ ์๋ ์์ฐ ๊ฒฐ์ ์ฃผ์ฅ. |
| ๋จ๊ฒฐ์ ์จ์ดํผ | ์ง๊ฒฝ, ๋ฐฉํฅ, ๋ ธ์น, ๋๊ป, ์ฐ๋ง, ๋ํํธ, ์ ํญ๋ฅ ๋ฐ ์ฑ์ฅ ๋ฐฉ๋ฒ. | ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ์นฉ, ๋ฏธ์ธ ๊ท ์ด, ํจ, ๊ธํ, ์ค์ผ, ์ฝํ ๋ฐ ์๋ ค์ง์ง ์์ ๊ณต์ ์ด๋ ฅ. |
| ํจํด ์จ์ดํผ | ์ฅ์น ๋๋ ํ ์คํธ ํจํด, ์ ์ ๋งฅ๋ฝ, ๋ ์ง, ๋ค์ด ๋ฐฐ์น, ๋ฌธ์ ๋ฐ ํ๋ฉด ๋ณด์กด. | ๋ถ์๋ ๊ธ์, ๋ฐ๋ฆฌ๋ ํ๋ฆ, ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ์์ฌ๋ฌผ, ๊นจ์ง ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ๋ฐ ๋ถ์์ ํ ์ถ์ฒ. |
| ์ญ์ฌ์ ๋ค์ด ๋๋ ํ๋ก | ์๋ณ ๊ฐ๋ฅํ ๊ธฐ๋ฅ, ์ ์กฐ์ ์ฒด, ๋ ์ง, ํฌ์ฅ, ๊ธฐ๊ด ๋ฐ ๊ธฐ์ ์ ๋งฅ๋ฝ. | ์ฌํฌ์ฅ, ์ ๊ฑฐ๋ ๋ผ๋ฒจ, ์์กฐ ํ์, ๋์ด์ง ๊ฒฐํฉ ๋ฐ ๋๋ฝ๋ ๋ฌธ์. |
| ์์ฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ ํ๋ณธ | ์์ฐ ๋งคํธ๋ฆญ์ค, ์ ํํ ์์น, ๋ถ์์ ํ์ธ, ๊ท๋ชจ ๋ฐ ์ถํ ์ด๋ ฅ. | ์ฐ์ ์ค์ผ, ์ ๋ จ์ ์ฌ๋ฃ, ์ถฉ๊ฒฉ ํํธ, ์ธ๊ณต ๋งค๋ฆฝ ๋ฐ ๊ทผ๊ฑฐ ์๋ ๊ท์. |
์ทจ๊ธ, ๋ณด๊ด, ์ ์ ๋ฐ ์์ ์ฅ ์์
๋ฒํฌ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ผ๋ฐ ์ค๋ด ์กฐ๊ฑด์์ ํํ์ ์ผ๋ก ์์ ์ ์ด์ง๋ง, ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ๋ ๋ถ์์ง๊ธฐ ์ฝ๊ณ ๊ฐ๊ณต๋ ํ๋ฉด์๋ ์ฌ์ธํ ์ฐํ๋ฌผ, ์งํ๋ฌผ, ๊ธ์, ๊ณ ๋ถ์ ๋๋ ์ฅ์น ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ์์ ์ ์์ต๋๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ธฐํ๋ง์ด ์๋๋ผ ์ ์ฒด ๋ฌผ์ฒด๋ฅผ ์ฃผ์ ๊น๊ฒ ๋ค๋ฃจ์ด์ผ ํฉ๋๋ค.
๋ฒํฌ ๋ฉ์ด๋ฆฌ
๋ถ๊ท์นํ ์กฐ๊ฐ์ ์์ถฉ ๋ง์ดํธ์ ์ง์งํ๊ณ ๋จ์ด๋จ๋ฆฌ์ง ์๋๋ก ํ๋ฉฐ, ๋ ์นด๋ก์ด ํ์ ๊ฐ์ฅ์๊ฐ ์ด์ ์๋ฃ๋ ์์ ๋ฟ์ง ์๋๋ก ํ์ญ์์ค.
๋ฒ๊ฑฐ๋ฒ์ ์จ์ดํผ
๊นจ๋ํ ์ฅ๊ฐ์ด๋ ์ ์ ํ ์จ์ดํผ ๋๊ตฌ๋ก ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ก์ผ์ญ์์ค. ํจ, ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ์๋ ฅ, ๋ถ๋ฆฌ๊ธฐ ์์ด ์๊ธฐ, ๋ชจ๋์์ ์ ์ด์ ํผํ์ญ์์ค.
์ฝํ ๋ ์จ์ดํผ
์์์ด ์๋ ํ๋ฉด์ด ๋ฌผ, ์์ฝ์ฌ, ์ฉ์ , ์ธ์ ๋๋ ๋ฆ๊ธฐ์ ๊ฒฌ๋๋ค๊ณ ๊ฐ์ ํ์ง ๋ง์ญ์์ค. ๋ณด์ด๋ ๋ง์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ๋ ๋ถ๋๋ฝ๊ณ ๋ถ์์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ฒ๋ฆฌ๋ ์ฅ์น
๊ธ์ ๋ผ์ธ, ๋ณธ๋ ํจ๋, ํด๋ฆฌ๋จธ ๋ฐ ํจํค์ง ํ๋ก๋ ๋ถ์๋๊ฑฐ๋ ๋ฐ๋ฆฌ๋ ์ ์์ต๋๋ค. ํ์ฑ ์ ์ ์ฅ์น๋ ๋ํ ์ ์ ๊ธฐ ๋ฐฉ์ ์๋ฐฉ ์กฐ์น๊ฐ ํ์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๋จผ์ง ์ ์ด
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ฌด์ฌ์ฝ ๊ฑด์ ์ฐ์ญ, ์๋ฉ, ๋๋ฆด๋ง ๋๋ ๋ถ์ํ์ง ๋ง์ญ์์ค. ์ ์ ํ ์ต์ ๋ฐฉ๋ฒ ๋๋ ๊ตญ์ ๋ฐฐ๊ธฐ์ ์ ์ ํ ๋ ๋ฐ ํธํก ๋ณดํธ๊ตฌ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ญ์์ค.
๋ฏธํ์ธ ์ฐ์ ์คํฌ๋ฉ
๊ฐ๊ณต๋ ์ฌ๋ฃ๋ ๊ธ์ ํ๋ฆ, ๋ํํธ, ์๋ฅ๋ฌผ, ๋ฉ๋, ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ๋๋ ์๋ฉด์์ ๋ณด์ด์ง ์๋ ์ค์ผ๋ฌผ์ ํฌํจํ ์ ์์ต๋๋ค.
| ์ํ | ๊ฐ๋ฅํ ์ํฅ | ์๋ฐฉ์ ์ ๊ทผ |
|---|---|---|
| ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ์ถฉ๊ฒฉ | ์กฐ๊ฐ, ๋ฐฉ์ฌํ ๊ท ์ด, ์ ๋ฆฌ ์ ํ ๋ฐ ๋ ์นด๋ก์ด ํํธ. | ํจ๋ฉ๋ ์ง์ง๋, ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ์ฌ์ ์ฅ์ฐฉ ๋ฐ ๋ณ๋ ๋ณด๊ด์ ์ฌ์ฉํ์ญ์์ค. |
| ์จ์ดํผ ๊ตด๊ณก | ์์ ๊ตฝํ์ด๋ ๊ธฐ์กด ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ๊ฒฐํจ์์ ๊ฐ์์ค๋ฌ์ด ์์ ํ์. | ๊ณ ๋ฅด๊ฒ ์ง์งํ์ฌ ๋ค์ด ์ฌ๋ฆฌ๊ณ ์จ์ดํผ๋ฅผ ๊ฝ ๋ผ๋ ํ๋์ ์ต์ง๋ก ๋ฃ์ง ๋ง์ญ์์ค. |
| ์ฐ๋ง ๋จผ์ง | ์๊ตฌ์ ์ธ ๊ธํ, ํ๋ฆผ, ๊ดํ ์์ค ๋ฐ ๋ฐ๋ง ์์. | ๋ฆ๊ธฐ ์ ์ ๊นจ๋ํ ๊ณต๊ธฐ ๋ฒ๋ธ ๋๋ ๋น์ ์ด ์ ์ด ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ๋์จํ ์ ์๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ์ญ์์ค. |
| ๊ฐ์ ์ฉ ์ฉ์ ๋๋ ์ธ์ ์ | ๋ ์ง์คํธ ํฝ์ฐฝ, ์ฝํ ์์ค, ๊ธ์ ๋ถ์, ์๋ฅ๋ฌผ ๋ฐ ๋ณํ๋ ๊ฐ์ญ ์์ ๋ฐฉ์ง. | ๊ฐ๊ณต๋ ํ๋ฉด์ ์ฆ์ ํํ ์ธ์ฒ์ ์ฌ์ฉํ์ง ๋ง์ญ์์ค. |
| ์ด ๊ตฌ๋ฐฐ | ์๋ ฅ ๊ท ์ด, ํ๋ฆ ๋ฐ๋ฆฌ ๋ฐ ๊ธ์ํ ์คํจ. | ํ์ผ, ์ฆ๊ธฐ, ๋จ๊ฑฐ์ด ํ, ๊ฐํ ๋จํ ๋ฐ ๊ฐ์์ค๋ฌ์ด ์จ๋ ๋ณํ๋ฅผ ํผํ์ญ์์ค. |
| ์ ์ ๊ธฐ ๋ฐฉ์ | ๊ธฐ๋ฅ์ ๋๋ ์ญ์ฌ์ ์ผ๋ก ์ค์ํ ํ์ฑ ํ๋ก ์์. | ์ฅ์น๊ฐ ์ ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ํ์ฑ ์ํ์ด๊ฑฐ๋ ๋ณดํธ๋์ง ์์ ๊ฒฝ์ฐ ์ ์ ๊ธฐ ๋ฐฉ์ง ์ทจ๊ธ์ ์ฌ์ฉํ์ญ์์ค. |
| ๊ฑด์ ์ ๋จ ๋๋ ์ฐ์ญ | ๋ ์นด๋ก์ด ๊ณต๊ธฐ ์ค ์ ์ ๋ฐ ์ ์ฌ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์ฐ์ฑ ๋ฏธ์ธ ๋ถ๋ง. | ์ ๋ฌธ์ ์ผ๋ก ์ ์ ํ ๋จผ์ง ์ ์ด๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๊ณ ๋ฏธํ์ธ ์ฝํ ์คํฌ๋ฉ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํผํ์ญ์์ค. |
| ๋ถ์์ ํ ์ฅ์ฐฉ | ์จ์ดํผ ๋ฏธ๋๋ฌ์ง, ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ์๋ ฅ, ํ์ ๋ฐ ๋จ๋จํ ํด๋ฆฝ๊ณผ์ ๋ง๋ชจ. | ์ ํ์ค์ด ์๋ ๋์ ๋นํ์ฑ ์ง์ง๋๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ญ์์ค. |
๋ฌธ์ํ ๋ฐ ์ฑ ์ ์๋ ์ค๋ช
๊ฐ๋ ฅํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ธฐ๋ก์ ์์ ์กฐ์ฑ, ์๋ ๋ฑ๊ธ, ๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ, ์ฐ์ ํํ, ๊ณต์ ์ด๋ ฅ, ์ฝํ , ์ฅ์น ์ํ, ์์ฐ ์ถ์ฒ ๋ฐ ์ํ๋ฅผ ๊ตฌ๋ถํฉ๋๋ค. โ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ฒฐ์ โ๋ง์ผ๋ก๋ ํ๋ณธ์ ์๋ฏธ ์๊ฒ ๋ง๋๋ ๋๋ถ๋ถ์ ์ ๋ณด๋ฅผ ์จ๊ธธ ์ ์์ต๋๋ค.
์ฌ๋ฃ ์ ์ฒด์ฑ
์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ, ํ๋ก์ค๋ฆฌ์ฝ, ์ค๋ฆฌ์ฝ ์นด๋ฐ์ด๋, ์ฝํ ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ, ์ ๋ฆฌ ๊ธฐํ, ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋๋ ๋ค๋ฅธ ํ์ธ๋ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ์ญ์์ค.
๊ฒฐ์ ์ฑ
๋จ๊ฒฐ์ , ๋ค๊ฒฐ์ , ๋ค๊ฒฐ์ ์ง, ๋น์ ์ง, ๋ค๊ณต์ฑ, ์์ง์ ๋๋ ๋ฏธํ์ธ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ฌธ์ํํ์ญ์์ค.
์ฑ์ฅ ๋ฐ ์ ์ ๋ฐฉ๋ฒ
์๋ ค์ง ๊ฒฝ์ฐ ๊ธ์ ์ ๋ จ, ์ง๋ฉ์ค ์ฆ์ฐฉ, ์ ๋์ธต ๊ณผ๋ฆฝ, ์ดํฌ๋์คํค ์ฑ์ฅ, ํ๋กํธ ์กด ์ฑ์ฅ, ์ฃผ์กฐ ๋๋ ํ๋ฆ ์ฆ์ฐฉ์ ๊ธฐ๋กํ์ญ์์ค.
์ ์ ์ฌ์
๋ฐฉํฅ, ๋ํํธ, ์ ๋์ฑ ์ ํ, ์ ํญ๋ฅ , ์ง๊ฒฝ, ๋๊ป, ํํ๋, ์ฐ์ ๋ฑ๊ธ ๋ฐ ์ฅ์น ์ ์ฉ์ ์ ์งํ์ญ์์ค.
ํ๋ฉด ์คํ
๋ ธ์ถ, ์ฐํ, ์งํ, ๊ธ์ํ, ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ์ฝํ , ํจ์๋ฒ ์ด์ , ํจํดํ, ์์นญ, ํฌ์ฅ ์ํ๋ฅผ ์ค๋ช ํ์ธ์.
์ถ์ฒ์ ์ํ
์ ์กฐ์ฌ, ๊ธฐ๊ด, ํ๋ก์ ํธ, ๋ ์ง, ํฌ์ฅ, ์ด์ ์ฌ์ฉ, ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ์นฉ, ๊ธํ, ์ค์ผ, ์๋ฆฌ, ์ฌ์ง์ ์ ์งํ์ธ์.
ํ๋ ์์ง์ฃผ์์ ๋ฐ์์ ์๋ฏธ
ํ๋์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ง ํด์์ ์ค์ ๋ฌผ์ง์ ๊ฑฐ๋์์ ์ง์ ๋์ถํ ์ ์์ต๋๋ค: 4์ค ๊ตฌ์กฐ, ์ ์ด๋ ๋ถ์๋ฌผ, ์ ํ์ ์ ๋, ์ธต์ ์ธํฐํ์ด์ค, ์ ๋ฐ ํจํฐ๋, ํ๋ถํ ๊ด๋ฌผ ์๋ฃ๋ฅผ ์ ํํ ๊ฒฐ์ ํ๋ซํผ์ผ๋ก ๋ณํ. ์ด ์ฃผ์ ๋ค์ ๊ณ ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ ํต์ ๋ํ ์ฃผ์ฅ์ด ์๋๋ผ ํ๋์ ๋ฐ์์ ๋๋ค.
๋ณต์ก์ฑ ์ด์ ์ ๊ตฌ์กฐ
๊ฑฐ๋ํ ์ ์ ์์คํ ์ ๋ฐ๋ณต๋๋ ๊ตญ๋ถ์ ๊ด๊ณ์์ ์์๋ฉ๋๋ค: ๊ฐ ์์๊ฐ ์์ธก ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ๋ค ์ด์๊ณผ ๊ฒฐํฉํฉ๋๋ค.
์์ ์ฒจ๊ฐ, ํฐ ํจ๊ณผ
๋ฏธ์ธํ ๋ํํธ ๋๋๋ ์ ๋๋๋ฅผ ์์ญ ๋ฐฐ ๋ณํ์ํฌ ์ ์์ด, ์ ์คํ๊ฒ ์ ํ๋ ์ ๋ ฅ์ด ๋ฌด์ฐจ๋ณ์ ์ธ ํ๋ถํจ๋ณด๋ค ๋ ์ค์ํจ์ ์์ฌํฉ๋๋ค.
์ธํฐํ์ด์ค๊ฐ ๊ธฐ๋ฅ์ ๋ง๋ญ๋๋ค
์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ์ ์ฐ์ธต ์ฌ์ด์ ๊ฒฝ๊ณ๋ ๋จ์ํ ๊ตฌ๋ถ์ด ์๋๋ผ ์ ์ด ๊ฐ๋ฅํ ์ฑ๋๊ณผ ์ฅ์น๊ฐ ๊ฐ๋ฅํด์ง๋ ๊ณณ์ ๋๋ค.
์ ํ์ผ๋ก์์ ์ ์
์ ์์ ์๋๋ ๋จ ํ ๋ฒ์ ๊ทน์ ์ธ ์ ๊ฑฐ๊ฐ ์๋๋ผ ๋ฐ๋ณต์ ์ธ ๋ถ๋ฆฌ์ ์ธก์ ์ ํตํด ๋ฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค.
ํจํดํ๋ ์ ํ
์ ์ฉํ ํ๋ก๋ ๋ชจ๋ ๊ณณ์์ ์ ๋ํ์ง ์์ต๋๋ค. ์๋๋ ์์ญ, ์ฅ๋ฒฝ, ์ ํฉ์ ํตํด ์์ง์์ ์ ๋ํฉ๋๋ค.
ํ๋ฉด๊ณผ ๋ด๋ถ
์จ์ดํผ ์์์ ๋๋ ธ๋ฏธํฐ ๋๊ป์ ํ๋ฆ์ ์ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ํํ๊ณผ ๊ธฐ๋ณธ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ๊ด๋ จ์ ์์ง๋ง ๋์ผํ์ง ์์์ ์๊ธฐ์์ผ์ค๋๋ค.
์จ์ดํผ-๋ฌธ ๋ฆฌ๋ทฐ
- ๋ชจ๋ ๋ถ๋ถ์ด ๋๋ฑํ๊ฒ ์ ๋์ฑ์ผ๋ก ์ทจ๊ธ๋์ด ๋ณต์กํ๊ฒ ๋๊ปด์ง๋ ์์คํ ํ๋๋ฅผ ์ ํํ์ธ์.
- ์์ ์ ์ผ๋ก ์ ์ง๋์ด์ผ ํ ์ค์ฌ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์๋ณํ์ธ์.
- ์ฆ๊ฐ์ํฌ ์ ๋ ฅ ํ๋, ์ ๊ฑฐํ ๋ถ์๋ฌผ ํ๋, ๊ฐํํ ๊ฒฝ๊ณ ํ๋๋ฅผ ๋ช ๋ช ํ์ธ์.
- ์์ง์์ด ์ฌ์์ผ ํ ๊ณณ๊ณผ ์ ํญ์ด ์ ์ฉํ ๊ณณ์ ์ ์ํ์ธ์.
- ์์คํ ์ ์ฌ๊ตฌ์ฑํ์ง ์๊ณ ๋ณํ๋ฅผ ์ผ์ผํค๋ ํ๋์ ์ธก์ ๊ฐ๋ฅํ ํ๋์ ์ ํํ์ธ์.
- ํ ๋ฒ์ ์์ ํ ์ฃผ๊ธฐ ํ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ฒํ ํ๊ณ ํ ๋ฒ์ ํ๋์ ๋ณ์๋ง ์กฐ์ ํ์ธ์.
์ ๋ฌธ๊ฐ์ฉ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ฐ์ด๋ ๊ณ์ ๋ณด๊ธฐ
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์ ๊ฒฐ์ ํ, ๋ฐ๋์ฒด ๊ดํ, ์ง์งํ, ์ฐ์ ์ ์ , ๋ค๊ฒฐ์ ๊ตฌ์กฐ, ๊ธฐ์ ์ญ์ฌ, ํ๋ ์์ง์ฃผ์, ๋ฐ์์ ์ค์ฒ์ ํตํด ํ๊ตฌํ ์ ์์ต๋๋ค.
์์ฃผ ๋ฌป๋ ์ง๋ฌธ
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ธ์์ธ๊ฐ์?
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ํต์ ์ผ๋ก ์ค๊ธ์์ผ๋ก ๋ถ๋ฅ๋ฉ๋๋ค. ๊ธ์์ฒ๋ผ ๋ณด์ด๋ ํ๋ฉด์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ง๋ง, ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ๋ ๋ฐ๋์ฒด๋ก์ ์ ๋๋๋ ์ผ๋ฐ ๊ธ์๋ณด๋ค ์จ๋์ ๋ํํธ์ ํจ์ฌ ๋ ๋ฏผ๊ฐํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ์ค๋ฆฌ์นด๋ ๊ฐ์ ๊ฑด๊ฐ์?
์๋์. ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์ Si์ ๋๋ค. ์ค๋ฆฌ์นด๋ ์ด์ฐํ๊ท์ SiOโ๋ก, ์์, ํฌ๋ฆฌ์คํ ๋ฐ๋ผ์ดํธ, ํธ๋ฆฌ๋๋ง์ดํธ, ์คํ, ์ค๋ฆฌ์นด ์ ๋ฆฌ, ๊ณ ์ ํํ๋ฅผ ํฌํจํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ณ ๋ฌด๋ ๊ฐ์ ๊ฑด๊ฐ์?
์๋์. ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ-์ฐ์ ๊ณจ๊ฒฉ๊ณผ ์ ๊ธฐ ์ธก์๋ฅผ ๊ฐ์ง ํฉ์ฑ ๊ณ ๋ถ์ ๊ณ์ด์ ๋๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ณ ๋ฌด, ์ค์ผ, ์์ง, ์ค๋ํธ๋ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์๋๋๋ค.
์์ฐ ์ํ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ ๊ทธ๋ ๊ฒ ๋๋ฌธ๊ฐ์?
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ฐ์์ ๊ฐํ๊ฒ ๊ฒฐํฉํ๋ฉฐ ์ค๋ฆฌ์นด์ ๊ท์ฐ์ผ ๊ตฌ์กฐ์ ์ฝ๊ฒ ๋ค์ด๊ฐ๋๋ค. ์์ฐ ์ํ์ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋งค์ฐ ํ์์ ์ธ ์กฐ๊ฑด์ด ํ์ํ๋ฉฐ ๋ณดํต ํ๋ฏธ๊ฒฝ ํฌ๊ธฐ์ ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ ์จ์ดํผ๊ฐ ์ ํ๋์์ด๋ ๋ณด๋ผ์์ผ๋ก ๋ณด์ด๋์?
์์์ ๋ณดํต ์์ ์ฐํ๋ฌผ, ์งํ๋ฌผ, ํฌํ ๋ ์ง์คํธ ๋๋ ๋ค์ธต ํ๋ฆ์ ๊ฐ์ญ์์ ๋์ต๋๋ค. ์ฐ๋ง๋ ๋งจ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์์ฒด๋ ์ง์ ํ์์์ ๊ฑฐ์ ๊ฒ์์์ ๊ฐ๊น์ต๋๋ค.
์ปดํจํฐ ์นฉ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ฌ์ฉ๋๋ ์ด์ ๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ์ฉํ ๋ฐด๋๊ฐญ, ๊ณ ํ์ง์ ์์ฐ ๋ฐ ์ด์ฐํ๋ง, ์ฐ์ํ ํ๋ฉด ์๋ํ, ์ ์ ํ ์ด์ ๋๋, ๊ธฐ๊ณ์ ๊ฐ๋, ํ๋ถํ ์๋ฃ, ์ฑ์ํ ์ ์ ๊ธฐ์ , ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๊ณ ๋๋ก ๋ฐ๋ฌ๋ ์ ์กฐ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ฒฐํฉํฉ๋๋ค.
pํ ์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ nํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ฐจ์ด์ ์ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
pํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ๊ณต์ด ๋ค์ ์บ๋ฆฌ์ด๊ฐ ๋๋๋ก ํ๋ ์์ฉ์ฒด ๋ํํธ๋ฅผ ํฌํจํฉ๋๋ค. nํ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ์๊ฐ ๋ค์ ์บ๋ฆฌ์ด๊ฐ ๋๋๋ก ํ๋ ๊ณต์ฌ์ฒด ๋ํํธ๋ฅผ ํฌํจํฉ๋๋ค.
์ ๊ณต์ด๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
์ ๊ณต์ ๊ฐ์ ์๋์์ ์ ์ ์ํ๊ฐ ๊ฒฐํ๋ ํจ๊ณผ์ ์ธ ์์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด์ ๋๋ค. ๊ฒฐ์ ๋ด์์ ์์ ํ๊ฐ ์ด๋ํ๋ ๊ฒ์ฒ๋ผ ํ๋ํฉ๋๋ค.
ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ณ ์๋ ๋ค๊ฒฐ์ ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋๋ค. ๋ณดํต ๋ง๋, ๋ฉ์ด๋ฆฌ, ๊ณผ๋ฆฝ ํํ๋ก ์ฆ์ฐฉ๋๋ฉฐ ์ดํ ์จ์ดํผ๋ ํ์์ ์ง ์์ฐ์ ์ํด ์ฉํด๋ฉ๋๋ค.
๋ค๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ๋จ๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ฐจ์ด์ ์ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
๋จ๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ์ฉํ ๋ถํผ ์ ์ฒด์ ๊ฑธ์ณ ํ๋์ ๊ฒฐ์ ๋ฐฉํฅ์ ์ ์งํฉ๋๋ค. ๋ค๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ง์ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ด ๊ฒฝ๊ณ๋ก ๊ตฌ๋ถ๋์ด ํ์, ๋ถ์๋ฌผ ๋ถํฌ, ์บ๋ฆฌ์ด ์์ก์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์นฉ๋๋ค.
๋น์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
๋น์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ฅ๊ฑฐ๋ฆฌ ๊ฒฐ์ ์ง์๊ฐ ์์ผ๋ฉฐ ๋ณดํต ๋ฐ๋ง์ผ๋ก ์ฆ์ฐฉ๋ฉ๋๋ค. ์์๊ฐ ํํ ์ฒจ๊ฐ๋์ด ๋ ๋์ด ๊ฒฐํฉ์ ์๋ํํ๊ณ ์ ์์ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ ํฉ๋๋ค.
์ดํฌ๋์คํค ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
์ค๋ฆฌ์นด ๋๊ฐ๋์ ๋ด๊ธด ์ฉ์ต ์ค๋ฆฌ์ฝ์์ ์จ์์ ์ฒ์ฒํ ๋น๊ธฐ๊ณ ํ์ ์์ผ ์ฑ์ฅ์ํจ ๋จ๊ฒฐ์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋๋ค. ๋๋ถ๋ถ์ ๊ธฐ์กด ๋ํ ๋ฐ๋์ฒด ์จ์ดํผ๋ ์ด ๋ฐฉ๋ฒ์์ ์ ๋ํฉ๋๋ค.
ํ๋กํธ ์กด ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
ํ๋กํธ ์กด ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋๊ฐ๋ ์์ด ์ค๋ฆฌ์ฝ ๋ง๋๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ์ข์ ์ฉ์ต ์์ญ์ ์ด๋์ํค๋ฉฐ ์ ์ ๋ฐ ๊ฒฐ์ ํํฉ๋๋ค. ๋งค์ฐ ๋ฎ์ ์ฐ์ ํจ๋๊ณผ ๋์ ์ ํญ๋ฅ ์ ๋ฌ์ฑํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ๊ฐ์๊ด์ ์์๋ ๋ถํฌ๋ช ํ์ง๋ง ์ ์ธ์ ๊ดํ์ ์ ์ฉํ ์ด์ ๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ์?
๊ฐ์๊ด์ ๊ด์๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ์ ์ ์ด๋ฅผ ํตํด ํก์๋ ๋งํผ ์ถฉ๋ถํ ์๋์ง๋ฅผ ๊ฐ์ง๋๋ค. ๋ฎ์ ์๋์ง์ ์ ์ธ์ ๊ด์๋ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๋ฐ๋ผ ์ถฉ๋ถํ ์์ํ ๋ฌผ์ง์ ํต๊ณผํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์ฐ์ ์ผ๋ก ์ ๊ธฐ๋ฅผ ์ ๋ํ๋์?
์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ธ์์ ๋นํด ์์จ์์ ์ ๋์ฑ์ด ์ฝํฉ๋๋ค. ์ด, ๋น, ๊ฒฐํจ, ์๋์ ์ธ ๋ํ์ ์ ๋์ฑ์ ๊ทน์ ์ผ๋ก ์ฆ๊ฐ์ํฌ ์ ์์ต๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฐ์ดํ๋ฉด ์ ๋๋๊ฐ ์ ์ฆ๊ฐํ๋์?
์ด์ ๋ฐด๋๊ฐญ์ ๋์ด ๋ ๋ง์ ์ ์๋ฅผ ์ฌ๊ธฐ์์ผ ์ถ๊ฐ์ ์ธ ์ ์-์ ๊ณต ์์ ์์ฑํฉ๋๋ค. ์ฆ๊ฐํ๋ ์บ๋ฆฌ์ด ์๋ ๊ฒฉ์ ์ง๋์ผ๋ก ์ธํ ์ด๋๋ ๊ฐ์๋ฅผ ์์ํ ์ ์์ต๋๋ค.
์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ ๋ฆฌ๋ฅผ ๊ธ์ ์ ์๋์?
๋ ์นด๋ก์ด ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ๋ ๊ฒฝ๋๊ฐ ๋ชจ์ค ๊ฒฝ๋ 6.5~7 ์ ๋๋ก ๋ง์ ์ผ๋ฐ ์ ๋ฆฌ๋ฅผ ๊ธ์ ์ ์์ต๋๋ค. ์์ฑ๋ ์จ์ดํผ๋ ๋ฌธ์ํ๋ ์๋ฃ๋ฅผ ํ ์คํธํ๋ ๊ฒ์ ๋ถํ์ํ๋ฉฐ ์๊ตฌ์ ์ธ ์์์ ์ด๋ํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ๋จ๋จํ๋ฐ ์ ์ฝ๊ฒ ๊นจ์ง๋์?
๊ฒฝ๋๋ ๊ธํ์ ๋ํ ์ ํญ์ ์ธก์ ํ๋ฉฐ, ํ์์ ๋ํ ์ ํญ์ ์๋ฏธํ์ง ์์ต๋๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ฐฉํฅ์ฑ ๊ณต์ ๊ฒฐํฉ ๊ฒฉ์๋ ๋จ๋จํ์ง๋ง ๊นจ์ง๊ธฐ ์ฌ์ฐ๋ฉฐ, ์์ ์จ์ดํผ๋ ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ๊ฒฐํจ๊ณผ ํจ์ ๋ฏผ๊ฐํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ฌผ๋ก ์ธ์ฒํ ์ ์๋์?
๋ฒํฌ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์งง์ ์๊ฐ ๋์ ๋ฌผ๊ณผ ์ ์ดํด๋ ๊ฒฌ๋์ง๋ง, ๊ฐ๊ณต๋ ์จ์ดํผ๋ ํ๋ฆ, ๊ธ์, ํด๋ฆฌ๋จธ ๋๋ ์๋ฅ๋ฌผ์ ํฌํจํ ์ ์์ด ๊ทธ๋ ์ง ์์ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ฏธํ์ธ ๊ฐ๊ณต ์๋ฃ์๋ ๊ฑด์ ๋น์ ์ด ์ธ์ฒ์ด ๋ ์์ ํ ๊ธฐ๋ณธ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋๋ค.
๊นจ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ ์จ์ดํผ๋ฅผ ์ฐ๋งํ ์ ์๋์?
์ฐ๋ง๋ ๊ธฐ์กด ํ๋ฉด์ ์ ๊ฑฐํ๋ฉฐ ์ฐํ๋ง ์์, ์ฅ์น ์ธต, ์ถ์ฒ, ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ ํ์์ ํ๊ดดํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ํ ๋ฏธ์ธํ ๋จผ์ง๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๋ฏ๋ก ์ ์คํ ์งํํด์ผ ํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ ์นด๋ฐ์ด๋๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํ ํํ์ธ๊ฐ์?
์ค๋ฆฌ์ฝ ์นด๋ฐ์ด๋๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ํฌํจํ์ง๋ง SiC๋ผ๋ ๋ณ๊ฐ์ ํํฉ๋ฌผ์ ๋๋ค. ๋ ๋จ๋จํ๊ณ , ๋ฐ๋๊ฐ ๋์ผ๋ฉฐ, ๋ด์ด์ฑ์ด ๋ฐ์ด๋๊ณ , ์ ์์ ํน์ฑ์ด ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ๋ค๋ฆ ๋๋ค.
์จ์ดํผ์ ๋ ธ์น๋ ๋ฌด์์ ์๋ฏธํ๋์?
๋ ธ์น๋ ์ ์กฐ๋ ๋ฐฉํฅ ๋ฐ ์ทจ๊ธ ํน์ง์ ๋๋ค. ์๋ ์ฅ๋น๊ฐ ์จ์ดํผ๋ฅผ ์ ๋ ฌํ๋ ๋ฐ ๋์์ ์ฃผ๊ณ ๊ฒฐ์ ํ์ ๊ธฐ์ค ๋ฐฉํฅ์ ์๋ณํฉ๋๋ค.
์ฐํ๋ง ์์์ผ๋ก ์ ํํ ๋ฐ๋ง ๋๊ป๋ฅผ ์ ์ ์๋์?
์์์ ์ ์ด๋ ์กฐ๋ช ํ์์ ๋๋ต์ ์ธ ํ์๋ฅผ ์ ๊ณตํ ์ ์์ง๋ง, ์ ํํ ๋๊ป ์ธก์ ์ ๊ฐ๋, ๊ธฐํ, ๊ตด์ ๋ฅ , ์ถ๊ฐ ์ธต์ ๋ฐ๋ผ ์์์ด ๋ฌ๋ผ์ง๋ฏ๋ก ๋ณด์ ๋ ๊ดํ ์ธก์ ์ด ํ์ํฉ๋๋ค.
์๋ฃ ๋ผ๋ฒจ์ ๋ฌด์์ด ํ์๋์ด์ผ ํ๋์?
์์ ์ ์ฒด, ์๋ ๋๋ ๋ฑ๊ธ, ๋จ๊ฒฐ์ ๋๋ ๋ค๊ฒฐ์ ํํ, ์ฑ์ฅ ๋ฐฉ๋ฒ, ์จ์ดํผ ๋ฐฉํฅ, ๋ํํธ ๋ฐ ์ ํญ๋ฅ (์๋ ค์ง ๊ฒฝ์ฐ), ์ฝํ , ์ ์กฐ์ฌ, ๋ ์ง, ์ด์ ์ฌ์ฉ ๋ฐ ์ํ๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ์ธ์.
์ต์ข ๋ฐ์
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฐ๋จํ ์ง์ญ ๊ท์น์์ ์์ํฉ๋๋ค: ๊ฐ ์์๋ ๋ค ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ๊ฒฐํฉ์ ํ์ฑํฉ๋๋ค. ๊ฒฐ์ ๋ด์์ ๋ฐ๋ณต๋๋ฉด, ์ด ๊ท์น์ ์ ๋ฐ ์ฅ์น๋ฅผ ์งํฑํ ๋งํผ ๋จ๋จํ์ง๋ง ์์๋ ๊ฐ์ฅ์๋ฆฌ์์ ๊นจ์ง ๋งํผ ์ทจ์ฝํ ๊ฒฉ์๋ฅผ ๋ง๋ญ๋๋ค. ๊ฐ์ ๊ฒฐํฉ์ ๊ฐ์ ๋ฐด๋๊ฐญ, ์ค๊ฐ ์ ๋์ ์ด์ ๋๋, ๋์ ์ ์ธ์ ๊ตด์ ๋ฅ , ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋งค์ฐ ์ ๋ฐํ๊ฒ ์ ์ด ๊ฐ๋ฅํ ์ฐํ๋ง์ ๊ฐ์ง ํ๋ฉด์ ๋ง๋ค์ด๋ ๋๋ค.
์ง์งํ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฑฐ์ ๋จ๋ ์ผ๋ก ์กด์ฌํ์ง ์์ต๋๋ค. ์ฐ์์ ๊ฒฐํฉํด ์ฌ๋ฉด์ฒด๋ฅผ ๋ง๋ค๊ณ , ์ด ์ฌ๋ฉด์ฒด๋ค์ด ๊ณ ๋ฆฝ๋ ๊ทธ๋ฃน, ๊ณ ๋ฆฌ, ์ฌ์ฌ, ํ, ๊ณจ๊ฒฉ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ํ์ฑํฉ๋๋ค. ์ด๋ฅผ ํตํด ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋งจํ ๊ด๋ฌผ, ํ์ฐ ์ ๋ฆฌ, ํ๊ฐ์, ์ ํ , ํ ์, ๋ชจ๋, ๊ท์กฐ๋ฅ ๊ป์ง, ์ฝํฌ๋ฆฌํธ, ์๊ธฐ, ์ฐฝ๋ฌธ ๋ฑ์ ๋ค์ด๊ฐ๋๋ค.
์ฐํ ๊ฒฝํฅ์ ๊ฑฐ๊พธ๋ก ๋ค์ง๋ ๊ฒ์ด ์ฐ์ ์ ๊ฐ๊ณต์ ๋๋ค. ์์์ ํ์๋๊ณ ํ๋ฐ์ฑ ํํฉ๋ฌผ์ ํตํด ์ ์ ๋๋ฉฐ, ํด๋ฆฌ์ค๋ฆฌ์ฝ์ผ๋ก ์ฆ์ฐฉ๋๊ณ , ์ ์ด๋ ๊ฒฐ์ ์ผ๋ก ์ฑ์ฅํ๋ฉฐ, ์จ์ดํผ๋ก ์ ๋จ๋๊ณ , ๋ฐ๋ณต์ ์ธ ์ฒจ๊ฐ์ ์ ๊ฑฐ ๊ณผ์ ์ ํตํด ํจํดํ๋ฉ๋๋ค. ๋ฏธ์ธํ ๋ํํธ๊ฐ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ์ฌ์กฐ์ ํ๊ณ , ๋๋ ธ๋ฏธํฐ ๊ท๋ชจ์ ๋ฐ๋ง์ด ์์๊ณผ ๊ณ๋ฉด์ ์ฌํ์ฑํ๋ฉฐ, ๋ฏธ์ธํ ๊ฒฐํจ์ด ์ฅ์น์ ์๋ ์ฌ๋ถ๋ฅผ ๊ฒฐ์ ํฉ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋ํ ์์ ํ ์ดํด๋ ๊ด๋ฌผํ, ๊ฒฐ์ ํ, ์ด์ญํ, ๊ณ ์ฒด ๋ฌผ๋ฆฌํ, ๊ดํ, ์ผ๊ธํ, ํํ, ์ ์กฐ, ์ ์๊ณตํ, ์๋์ง, ๋ณด์กด, ๊ธฐ์ ์ฌ์ ์ฐ๊ฒฐ๋ฉ๋๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ์์ ํน์ฑ์ ์์ฐ์ ์ผ๋ก ์ ๋์ฑ์ด ์๊ฑฐ๋ ์๊ฐ์ ์ผ๋ก ํ๋ คํ๋ค๋ ๊ฒ์ด ์๋๋๋ค. ํ๋ถํ ์์ ํ์ฑ ์์๊ฐ ์ ์ ๋๊ณ ๊ตฌ์กฐํ๋๋ฉฐ ํจํดํ๋์ด ๋ฌผ์ง ์์ฒด๊ฐ ํ๋ก๊ทธ๋๋ฐ ๊ฐ๋ฅํด์ง๋ค๋ ์ ์ ๋๋ค.